JPH0463186A - 超純水輸送配管システム - Google Patents
超純水輸送配管システムInfo
- Publication number
- JPH0463186A JPH0463186A JP17322690A JP17322690A JPH0463186A JP H0463186 A JPH0463186 A JP H0463186A JP 17322690 A JP17322690 A JP 17322690A JP 17322690 A JP17322690 A JP 17322690A JP H0463186 A JPH0463186 A JP H0463186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- water
- weight
- piping
- piping system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は半導体製造分野で好適に適用される超純水輸送
配管システムに関するものである。
配管システムに関するものである。
（従来の技術）
従来半導体製造工程に使用される超純水は、原水を逆浸
透膜装筺、イオン交換装置、紫外線殺菌器、非再生型殺
菌器、端末濾過装置または最終ｐ過装置等を介して順次
不純物を除去しながら高純度化することによって製造す
る。上記の各種装置間は超純水輸送配管材料によって連
結されており、これらの配管材料としてポリ塩化ビニル
製配管材料、塩素化ポリ塩化ビニル製配管材料、ポリ７
フ化ビニリデン製配管材料などが広く用いられていた。
透膜装筺、イオン交換装置、紫外線殺菌器、非再生型殺
菌器、端末濾過装置または最終ｐ過装置等を介して順次
不純物を除去しながら高純度化することによって製造す
る。上記の各種装置間は超純水輸送配管材料によって連
結されており、これらの配管材料としてポリ塩化ビニル
製配管材料、塩素化ポリ塩化ビニル製配管材料、ポリ７
フ化ビニリデン製配管材料などが広く用いられていた。
最近半導体は高集積化が進み、半導体の洗浄に使用され
る超純水についても極めて高い純度が要求されるように
なってきており、例えば、特に電気伝導度が５μＳ ／
ｔ！ｍ以下、全有機物炭素量（Ｔｏｔａｌ Ｏｒｇ
ａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ）がａｏｏｐｐｂ以下である
ような非常に純度の高い水が要求されている。
る超純水についても極めて高い純度が要求されるように
なってきており、例えば、特に電気伝導度が５μＳ ／
ｔ！ｍ以下、全有機物炭素量（Ｔｏｔａｌ Ｏｒｇ
ａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ）がａｏｏｐｐｂ以下である
ような非常に純度の高い水が要求されている。
反面このように純度の高い水を使用するため、前述した
従来の配管材料ではイオン性物質、有機物質などが配管
材料から溶出して上記のような高純度の水の純度が低下
するといった問題がある。イオン性物質、有機物質など
の不純物が配管材料から溶出すれば、直接半導体製品の
歩留りが低下したり、性能が低下するといった弊害が生
じ、一方これらの汚染物質のために細菌が繁殖して更に
水の純度が低下する危険性がある。
従来の配管材料ではイオン性物質、有機物質などが配管
材料から溶出して上記のような高純度の水の純度が低下
するといった問題がある。イオン性物質、有機物質など
の不純物が配管材料から溶出すれば、直接半導体製品の
歩留りが低下したり、性能が低下するといった弊害が生
じ、一方これらの汚染物質のために細菌が繁殖して更に
水の純度が低下する危険性がある。
従ってこの危険性を回避するために最近では、超純水を
定期的に８０″Ｃ＃後に加熱して殺菌するといった試み
がなされ始めた。
定期的に８０″Ｃ＃後に加熱して殺菌するといった試み
がなされ始めた。
ところがこの加熱殺菌に関しても従来の配管材料では耐
熱性、耐熱水性などが不足しており、配管材料がｆ形し
たり、熱水劣化によって更に不純物の溶出が激しくなる
などして、使用できなくなったり、あるいは配管材料の
寿命が短くなるなどの問題点がある。
熱性、耐熱水性などが不足しており、配管材料がｆ形し
たり、熱水劣化によって更に不純物の溶出が激しくなる
などして、使用できなくなったり、あるいは配管材料の
寿命が短くなるなどの問題点がある。
（発明が解決しようとする課題）
前項で述べた問題点に鑑み、未発明の目的は、半導体製
造分野において、配管材料からイオン性物質や有機物質
などが溶出することが殆んどなく、かつ耐熱性、耐熱水
性などが十分で８０℃前後の熱水を通水する加熱殺菌な
苑すことが可能な配管材料を用いた、超純水輸送配管シ
ステムを提供することにある。
造分野において、配管材料からイオン性物質や有機物質
などが溶出することが殆んどなく、かつ耐熱性、耐熱水
性などが十分で８０℃前後の熱水を通水する加熱殺菌な
苑すことが可能な配管材料を用いた、超純水輸送配管シ
ステムを提供することにある。
（ａ題を解決するための手段）
式（１）で表わされる構造単位を有する高分子ハ、一般
にポリフェニレンオキシドと称される無定形の熱可塑性
高分子であり、酸化第一銅とピリジンを触媒として従来
より行われている酸化合成法により合成することができ
る。
にポリフェニレンオキシドと称される無定形の熱可塑性
高分子であり、酸化第一銅とピリジンを触媒として従来
より行われている酸化合成法により合成することができ
る。
本発明者は上記ポリフェニレンオキシド°はイオン性物
質、有機物質などの不純物の溶出量が従来まで使用され
てきた配管材料、即ちポリ塩化ビニル、塩素化ポリ塩化
ビニル、ポリ７フ化ビニリデン等と較べて飛躍的に少な
く超純水輸送配管材料に適する素材であることを発見し
た。
質、有機物質などの不純物の溶出量が従来まで使用され
てきた配管材料、即ちポリ塩化ビニル、塩素化ポリ塩化
ビニル、ポリ７フ化ビニリデン等と較べて飛躍的に少な
く超純水輸送配管材料に適する素材であることを発見し
た。
またポリフェニレンオキシドは荷重２６４ｐｓｉでの熱
変形温度が１’９０＆＃後、ガラス転移温度が２０５度
前後のきわめて耐熱性、熱機械的安定性に優れた樹脂で
あり、かつ２５度で７日間水中に浸漬する静的浸漬試験
に於いてもその重量増加はα１０％未満であり耐熱水性
にも優れていることをｆｌ！駆した。
変形温度が１’９０＆＃後、ガラス転移温度が２０５度
前後のきわめて耐熱性、熱機械的安定性に優れた樹脂で
あり、かつ２５度で７日間水中に浸漬する静的浸漬試験
に於いてもその重量増加はα１０％未満であり耐熱水性
にも優れていることをｆｌ！駆した。
又、その分子量は、成形加工の容易性や成形後の耐衝撃
性等の機械的強度の面から、一般に、重量平均分子量で
２０．０００〜５０．０００程度、好＊ Ｌ ＜ ハ２
５． ＯＯＯ〜３５．０００８度のもの力；用いられる
。
性等の機械的強度の面から、一般に、重量平均分子量で
２０．０００〜５０．０００程度、好＊ Ｌ ＜ ハ２
５． ＯＯＯ〜３５．０００８度のもの力；用いられる
。
一方、ポリフェニレンオキシドは熱的安定性が不充分で
１２０℃以上の温度では表面酸化か次第に進み徐々に架
橋構造となる。例えばポリフェニレンオキシドを２５０
度にて９０分間加熱すれば炭化してその初期重量の４６
％の重量減少が生じる結果となる。このようなことから
ポリフェニレンオキシド単体では押出成形や射出成形な
どの従来から行われている成形性によっては配管材料を
成形することは困難であるという欠点を有している。
１２０℃以上の温度では表面酸化か次第に進み徐々に架
橋構造となる。例えばポリフェニレンオキシドを２５０
度にて９０分間加熱すれば炭化してその初期重量の４６
％の重量減少が生じる結果となる。このようなことから
ポリフェニレンオキシド単体では押出成形や射出成形な
どの従来から行われている成形性によっては配管材料を
成形することは困難であるという欠点を有している。
ソコテボリフェニレンオキシドのイオン性物質及び有機
物質などの不純物の低溶出性能、８０℃以上の熱水にも
耐えうる耐熱性、耐熱水性などを実使用の範囲内で全く
問題がない程度に保持しつつ、かつ無定型ポリフェニレ
ンオキシドの酸化防止剤として作用してその熱的安定性
を改良する材料につき更に検討を重ねた結果、（２）式
の構造単位を有する結晶性ポリフェニレンオキシドと同
程度にイオン性物質、有機物質等の溶出量が少ないこと
を発見し、かつこれらの添加によって無定型ポリフェニ
レンオキシドの成形性が著しく改善されることを８１認
した。
物質などの不純物の低溶出性能、８０℃以上の熱水にも
耐えうる耐熱性、耐熱水性などを実使用の範囲内で全く
問題がない程度に保持しつつ、かつ無定型ポリフェニレ
ンオキシドの酸化防止剤として作用してその熱的安定性
を改良する材料につき更に検討を重ねた結果、（２）式
の構造単位を有する結晶性ポリフェニレンオキシドと同
程度にイオン性物質、有機物質等の溶出量が少ないこと
を発見し、かつこれらの添加によって無定型ポリフェニ
レンオキシドの成形性が著しく改善されることを８１認
した。
これらの樹脂のブレンドには任意の方法が採用されてよ
く、例えば双方または一方の樹脂を粉体に粉砕してこれ
らを混合（トライブレンド）してから成形に供してもよ
く、またはベレットの状態で双方を溶融して一度混練し
、これを粉砕して成形に供してもよく、さらにベレット
の状態のまま成形に供し成形過程で双方を溶融混練する
こともできる。
く、例えば双方または一方の樹脂を粉体に粉砕してこれ
らを混合（トライブレンド）してから成形に供してもよ
く、またはベレットの状態で双方を溶融して一度混練し
、これを粉砕して成形に供してもよく、さらにベレット
の状態のまま成形に供し成形過程で双方を溶融混練する
こともできる。
尚前述の配合物はその目的を損なわない範囲で、安定剤
、酸化防止剤、過酸化物分解剤、相乗剤、金属不活性化
剤、紫外線吸収剤、架橋剤、架橋助剤、滑剤、加工助剤
、着色剤、可塑剤、補強剤、充填材、発泡剤などの添加
剤を添加して用いてもさしつかえない。
、酸化防止剤、過酸化物分解剤、相乗剤、金属不活性化
剤、紫外線吸収剤、架橋剤、架橋助剤、滑剤、加工助剤
、着色剤、可塑剤、補強剤、充填材、発泡剤などの添加
剤を添加して用いてもさしつかえない。
本発明は以上のような無定形ポリフェニレンオキシド１
００重量部に対し、結晶性ポリエーテルケトンまたは結
晶性ポリエーテルエーテルケトンの内の少なくとも１種
類の高分子なｃＬ。
００重量部に対し、結晶性ポリエーテルケトンまたは結
晶性ポリエーテルエーテルケトンの内の少なくとも１種
類の高分子なｃＬ。
．０１〜１０重量部ブレンドしてなる配合物を、超純水
輸送配管材料からの不純物の溶出が最も問題となり易い
、端末濾過装置または最終濾過装置以降に必須配管材料
として使用するものである。このような配管システムを
構成すれば、原水から端末濾過装置または最終濾過装置
にいたる配管システムには従来より使用されているポリ
塩化ビニル製配管材料、塩素〜化ポリ塩化ビニル製配管
材料、ポリ７ン化ビニリデン製配管材料等を使用し、か
つ加熱殺菌を端末濾過装置または最終濾過装置以降のみ
にしか行わなかったとしても製造される超純水の純度低
下及び細菌の繁殖は夾使用上殆んど問題とならない。
輸送配管材料からの不純物の溶出が最も問題となり易い
、端末濾過装置または最終濾過装置以降に必須配管材料
として使用するものである。このような配管システムを
構成すれば、原水から端末濾過装置または最終濾過装置
にいたる配管システムには従来より使用されているポリ
塩化ビニル製配管材料、塩素〜化ポリ塩化ビニル製配管
材料、ポリ７ン化ビニリデン製配管材料等を使用し、か
つ加熱殺菌を端末濾過装置または最終濾過装置以降のみ
にしか行わなかったとしても製造される超純水の純度低
下及び細菌の繁殖は夾使用上殆んど問題とならない。
尚より好ましくは２次純水タンク以降の配管システム、
即ち２次純水タンクと紫外線殺菌器の間、非再生型純水
器と端末濾過装置または最終濾過装置の間、及び端末濾
過装置または最終濾過装置以降の配管システム全てに前
述の配合物を配管材料として使用することである。
即ち２次純水タンクと紫外線殺菌器の間、非再生型純水
器と端末濾過装置または最終濾過装置の間、及び端末濾
過装置または最終濾過装置以降の配管システム全てに前
述の配合物を配管材料として使用することである。
本発明に於て配管材料とは管、管継手、パルプ等をさし
、管継手にはエルボ、ティー クロス、４５°Ｙ、Ｙピ
ース、アクトレット、レジニーす− 異径カップリング
、７ランジ、ユニオン、カンプリング、キャップ、メク
ラフランジなどがあり、パルプにはポール、バタフライ
、ポールチャツキ、ダイヤフラム等がある。
、管継手にはエルボ、ティー クロス、４５°Ｙ、Ｙピ
ース、アクトレット、レジニーす− 異径カップリング
、７ランジ、ユニオン、カンプリング、キャップ、メク
ラフランジなどがあり、パルプにはポール、バタフライ
、ポールチャツキ、ダイヤフラム等がある。
本発明の超純水輸送配管システムは、例えば、電気伝導
度が２μＳ ／ ｘ以下、全有機物炭素量が２００ｐｐ
ｂ以下の超純水に対して好適に適用される。
度が２μＳ ／ ｘ以下、全有機物炭素量が２００ｐｐ
ｂ以下の超純水に対して好適に適用される。
（以下余白）
（実施例）
以下実施例によって本発明を説明する。但し以下の実施
例によって本発明は限定されるものではない。尚以下の
実施例に使用したポリフェニレンオキシドは次に示す酸
化合成法により合成した。
例によって本発明は限定されるものではない。尚以下の
実施例に使用したポリフェニレンオキシドは次に示す酸
化合成法により合成した。
合成方法：２．６−シメチルフエノール５＃、塩化第一
銅１＃とピリジン１００１からなる反応混合物中に酸素
を１ｏ分間通人した７、反応過程中水は除去せず、生成
物は反応混合物を５゜Ｏの希塩酸中に注入させて沈澱さ
せついでろ別した。
銅１＃とピリジン１００１からなる反応混合物中に酸素
を１ｏ分間通人した７、反応過程中水は除去せず、生成
物は反応混合物を５゜Ｏの希塩酸中に注入させて沈澱さ
せついでろ別した。
上記のような酸化合成方法により重量平均分子量１００
００から７００００におよぶポリフェニレンオキシドを
得ることができた。尚重量平均分子量の測定は光散乱法
によって行った。
００から７００００におよぶポリフェニレンオキシドを
得ることができた。尚重量平均分子量の測定は光散乱法
によって行った。
更に以下の実施例で使用した超純水製造システムは原水
を凝集槽、二層ろ過器、濾過水槽、逆浸透膜装置、１次
純水タンク、脱気器、イオン交換装置、２次純水タンク
、紫外線殺菌器、非再生型純水器、端末ｐ過装置のＩｉ
ｇＩこ介して実際に超純水を使用する箇所（ユースポイ
ント）まで配管材料によって連結した。端末ｐ過装置以
降の配管形式は供給／返送組合せ配管方式（リバースリ
ターン方式）と呼ばれる公知の方法にしたがった。また
原水には水道水を使用したが、この水道水の電気伝導度
は約２６０μｓ／国であり、全有機物炭素量は約３ｓｏ
ｐｐｂであった。
を凝集槽、二層ろ過器、濾過水槽、逆浸透膜装置、１次
純水タンク、脱気器、イオン交換装置、２次純水タンク
、紫外線殺菌器、非再生型純水器、端末ｐ過装置のＩｉ
ｇＩこ介して実際に超純水を使用する箇所（ユースポイ
ント）まで配管材料によって連結した。端末ｐ過装置以
降の配管形式は供給／返送組合せ配管方式（リバースリ
ターン方式）と呼ばれる公知の方法にしたがった。また
原水には水道水を使用したが、この水道水の電気伝導度
は約２６０μｓ／国であり、全有機物炭素量は約３ｓｏ
ｐｐｂであった。
実施例１
重量平均分子量３００００のポリフェニレンオキシド１
００重量部に対してポリエーテルエーテルケトンとして
アイシーアイジャ１＋ン社製［ピクトレックスＰＥＥＫ
４５０ＧＪの２重量部をブレンドした配合物から単軸押
出成形機及び射出成形機を使用して管及び管継手を成形
した。
００重量部に対してポリエーテルエーテルケトンとして
アイシーアイジャ１＋ン社製［ピクトレックスＰＥＥＫ
４５０ＧＪの２重量部をブレンドした配合物から単軸押
出成形機及び射出成形機を使用して管及び管継手を成形
した。
原水から端末濾過装置までの配管材料としてポリフッ化
ビニリデン製管及び管継手を使用し、端末ｐ過装置以降
に上記配合物からなる管及び管継手を使用して各樺超純
水製造装置を連結した。原水として水道水を使用して端
末濾過装置以降の系統を８０度で運転して毎時５００１
の超純水を製造した。このようにして７日間連続操業し
得られた超純水の分析値及び端末ｐ過装置以降の配管材
料の外観変化（内面変化）を表１に示した。
ビニリデン製管及び管継手を使用し、端末ｐ過装置以降
に上記配合物からなる管及び管継手を使用して各樺超純
水製造装置を連結した。原水として水道水を使用して端
末濾過装置以降の系統を８０度で運転して毎時５００１
の超純水を製造した。このようにして７日間連続操業し
得られた超純水の分析値及び端末ｐ過装置以降の配管材
料の外観変化（内面変化）を表１に示した。
実施例２
重量平均分子量３００００のポリフェニレンオキシド１
００重量部に対してポリエーテルケトンとしてアイシー
アイジャ／ｆン社！＋！！［ピクトレックスＰＥＫ２２
０ＧＪの２重量部をブレンドした配合物から単軸押出成
形機及び射出成形機を使用して管及び管継手を成形した
。
００重量部に対してポリエーテルケトンとしてアイシー
アイジャ／ｆン社！＋！！［ピクトレックスＰＥＫ２２
０ＧＪの２重量部をブレンドした配合物から単軸押出成
形機及び射出成形機を使用して管及び管継手を成形した
。
原水から端末濾過装置までの配管材料としてポリフッ化
ビニリデン製管及び管継手を使用し、端末濾過装置以降
に上記配合物からなる管及び管継手を使用して各種超純
水製造装置を連結した。実施例１の場合と同様に超純水
を製造して分析した。結果を表ＩＩこ示した。
ビニリデン製管及び管継手を使用し、端末濾過装置以降
に上記配合物からなる管及び管継手を使用して各種超純
水製造装置を連結した。実施例１の場合と同様に超純水
を製造して分析した。結果を表ＩＩこ示した。
実施例３
重量平均分子量３００００のポリフェニレンオキシド１
００重量部に対してポリエーテルエーテルケトンとして
アイシーアイジャパン社製「ピクトレックスＰＥＥＫ４
５０ＧＪの２重量部をブレンドした配合物から単軸押出
成形機及び射出成形機を使用して管及び管継手を成形し
た。
００重量部に対してポリエーテルエーテルケトンとして
アイシーアイジャパン社製「ピクトレックスＰＥＥＫ４
５０ＧＪの２重量部をブレンドした配合物から単軸押出
成形機及び射出成形機を使用して管及び管継手を成形し
た。
原水から端末濾過装置までの配管材料として塩素化ポリ
塩化ビニル製管及び管継手を使用し、端末濾過装置以降
に上記配合物からなる管及び管継手を使用して各種超純
水製造装置を連結した。実施例１の場合と同様に超純水
を製造して分析した。結果を表１に整理する。
塩化ビニル製管及び管継手を使用し、端末濾過装置以降
に上記配合物からなる管及び管継手を使用して各種超純
水製造装置を連結した。実施例１の場合と同様に超純水
を製造して分析した。結果を表１に整理する。
実施例４
重量平均分子量３００００のポリフェニレンオキシド１
００重量部に対してポリエーテルエーテルケトンとして
アイソ−アイジャパン社製「ピクトレックスＰ Ｅ Ｅ
Ｋ ４５０ ’Ｇ Ｊの２重量部をブレンドした配合
物から単軸押出成形機及び射出成形機を使用して管及び
管継手を成形した。
００重量部に対してポリエーテルエーテルケトンとして
アイソ−アイジャパン社製「ピクトレックスＰ Ｅ Ｅ
Ｋ ４５０ ’Ｇ Ｊの２重量部をブレンドした配合
物から単軸押出成形機及び射出成形機を使用して管及び
管継手を成形した。
原水から端末ｐ過装置までの配管材料としてポリ塩化ビ
ニル製管及び管継手を使用し、端末ｐ過装置以降に上記
配合物からなる管及び管継手を使用して各種超純水製造
装置を連結した。
ニル製管及び管継手を使用し、端末ｐ過装置以降に上記
配合物からなる管及び管継手を使用して各種超純水製造
装置を連結した。
実施例１の場合と同様に超純水を製造して分析した。結
果を表１に示した。
果を表１に示した。
比較例１
原水からユースポイントにいたる全ての配管材料にポリ
フッ化ビニリデン製管及び管継手を使用して各種純水及
び超純水製造装置を連結した。
フッ化ビニリデン製管及び管継手を使用して各種純水及
び超純水製造装置を連結した。
実施例１の場合と同様に超純水を製造して分析した。結
果を表１に示した。
果を表１に示した。
比較例２
原水からユースポイントにいたる全ての配管材料に塩素
化ポリ塩化ビニル管及び管継手を使用して各種純水及び
超純水製造装置を連結した。
化ポリ塩化ビニル管及び管継手を使用して各種純水及び
超純水製造装置を連結した。
実施例１の場合と同様に超純水を製造して分析した。結
果をｆｉｌに示した。
果をｆｉｌに示した。
比較例１
原水からユースポイントにいたる全ての配管材料にポリ
塩化ビニル製管及び管継手を使用して各種純水及び超純
水製造装置を連結した。
塩化ビニル製管及び管継手を使用して各種純水及び超純
水製造装置を連結した。
実施例１の場合と同様に超純水を製造して分析した。結
果を表１に示した。
果を表１に示した。
表１
（発明の効果）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電気伝導度５μＳ／ｃｍ以下、全有機物炭素量３００
ｐｐｂ以下の超純水の輸送配管システムに於て、少なく
とも端末ろ過装置または最終ろ過装置以降に、下記（１
）式で表わされる構造単位を有する高分子１００重量部
に対して；（２）式または（３）式で表わされる構造単
位を有する少なくとも１種類の高分子を０．０１〜１０
重量部ブレンドしてなる配合物を主体として構成される
配管材料を使用することを特徴とする超純水輸送配管シ
ステム。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（１） ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（２） ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（３）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17322690A JPH0463186A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 超純水輸送配管システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17322690A JPH0463186A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 超純水輸送配管システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463186A true JPH0463186A (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=15956483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17322690A Pending JPH0463186A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 超純水輸送配管システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463186A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0562959A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 洗浄槽 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP17322690A patent/JPH0463186A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0562959A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 洗浄槽 |
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