JPH081156A - イオン交換装置 - Google Patents
イオン交換装置Info
- Publication number
- JPH081156A JPH081156A JP6138725A JP13872594A JPH081156A JP H081156 A JPH081156 A JP H081156A JP 6138725 A JP6138725 A JP 6138725A JP 13872594 A JP13872594 A JP 13872594A JP H081156 A JPH081156 A JP H081156A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion exchange
- water
- treated
- toc
- heat exchanger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 イオン交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出を確
実に防止して、ＴＯＣ濃度の低い純水や超純水を得る。 【構成】 被処理液を冷却する熱交換器１と、該熱交換
器１によって冷却された被処理液が通液されるイオン交
換塔２とを備えてなるイオン交換装置。 【効果】 原水水温を低下させることによって、イオン
交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出量を低減することがで
きる。原水の水温を低下させても、得られる処理水の水
質の低下は殆どない。熱交換器で冷却した水をイオン交
換塔に通液するため、この低温通液によりイオン交換樹
脂からのＴＯＣ成分の溶出を確実に防止して、高純度純
水を得ることができる。
実に防止して、ＴＯＣ濃度の低い純水や超純水を得る。 【構成】 被処理液を冷却する熱交換器１と、該熱交換
器１によって冷却された被処理液が通液されるイオン交
換塔２とを備えてなるイオン交換装置。 【効果】 原水水温を低下させることによって、イオン
交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出量を低減することがで
きる。原水の水温を低下させても、得られる処理水の水
質の低下は殆どない。熱交換器で冷却した水をイオン交
換塔に通液するため、この低温通液によりイオン交換樹
脂からのＴＯＣ成分の溶出を確実に防止して、高純度純
水を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイオン交換装置に係り、
特に、イオン交換樹脂からのＴＯＣ成分（全有機炭素成
分）の溶出を防止してＴＯＣ濃度の低い純水や超純水を
得ることができるイオン交換装置に関する。
特に、イオン交換樹脂からのＴＯＣ成分（全有機炭素成
分）の溶出を防止してＴＯＣ濃度の低い純水や超純水を
得ることができるイオン交換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造用、発電所用及び医薬、食品
用に用いられる純水は、工業用水、井水、河川水等を逆
浸透膜分離装置等の前処理装置で処理して粒子成分、塩
類、有機汚染成分を一部除去した水を原水とし、これを
更にイオン交換装置で脱塩処理することにより製造され
ている。
用に用いられる純水は、工業用水、井水、河川水等を逆
浸透膜分離装置等の前処理装置で処理して粒子成分、塩
類、有機汚染成分を一部除去した水を原水とし、これを
更にイオン交換装置で脱塩処理することにより製造され
ている。
【０００３】従来、このような純水製造に限らず、一般
にイオン交換装置に導入される原水は、特に温度調節を
行わず、外気温又は前処理装置の出口温度のもの、即
ち、一般には常温（２０〜４０℃）のものをそのまま通
液処理している。
にイオン交換装置に導入される原水は、特に温度調節を
行わず、外気温又は前処理装置の出口温度のもの、即
ち、一般には常温（２０〜４０℃）のものをそのまま通
液処理している。
【０００４】ところで、イオン交換装置において、イオ
ン交換塔に充填されるイオン交換樹脂からは、その通液
処理時において、ＴＯＣ成分が処理水中に溶出する。即
ち、イオン交換樹脂に導入されているアミン基やスルホ
ン基等の官能基が処理水中に溶出したり、イオン交換樹
脂の母材であるスチレン樹脂やジビニルベンゼン等の結
合が一部切れて処理水中に溶出したりする。これらのＴ
ＯＣ成分が溶出した処理水を半導体洗浄用純水等として
用いた場合、装置トラブル、製品不良等の様々な障害を
引き起こす。
ン交換塔に充填されるイオン交換樹脂からは、その通液
処理時において、ＴＯＣ成分が処理水中に溶出する。即
ち、イオン交換樹脂に導入されているアミン基やスルホ
ン基等の官能基が処理水中に溶出したり、イオン交換樹
脂の母材であるスチレン樹脂やジビニルベンゼン等の結
合が一部切れて処理水中に溶出したりする。これらのＴ
ＯＣ成分が溶出した処理水を半導体洗浄用純水等として
用いた場合、装置トラブル、製品不良等の様々な障害を
引き起こす。
【０００５】従来、このようなイオン交換樹脂からのＴ
ＯＣ成分の溶出を防止するために、 イオン交換樹脂をイオン交換塔に充填する前に酸又
はアルカリ処理後洗浄して調整する。 通液初期において、原水を加温して通液することに
より、イオン交換樹脂から予めＴＯＣ成分を溶出させて
しまう。 といった効果が講じられている。
ＯＣ成分の溶出を防止するために、 イオン交換樹脂をイオン交換塔に充填する前に酸又
はアルカリ処理後洗浄して調整する。 通液初期において、原水を加温して通液することに
より、イオン交換樹脂から予めＴＯＣ成分を溶出させて
しまう。 といった効果が講じられている。
【０００６】また、ＴＯＣ成分の溶出の少ないイオン交
換樹脂を開発する試みもなされている。
換樹脂を開発する試みもなされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のＴＯＣ成分
の溶出防止手段では、処理水中へのＴＯＣ成分の溶出を
十分に低減することはできず、このため、半導体製造用
等として用いる純水や超純水として、十分に満足し得る
水質の処理水が得られない。
の溶出防止手段では、処理水中へのＴＯＣ成分の溶出を
十分に低減することはできず、このため、半導体製造用
等として用いる純水や超純水として、十分に満足し得る
水質の処理水が得られない。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決し、イオ
ン交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出を確実に防止して、
ＴＯＣ濃度の低い純水や超純水を得ることができるイオ
ン交換装置を提供することを目的とする。
ン交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出を確実に防止して、
ＴＯＣ濃度の低い純水や超純水を得ることができるイオ
ン交換装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のイオン交換装置
は、被処理液を冷却する熱交換器と、該熱交換器によっ
て冷却された被処理液が通液されるイオン交換塔とを備
えてなることを特徴とする。
は、被処理液を冷却する熱交換器と、該熱交換器によっ
て冷却された被処理液が通液されるイオン交換塔とを備
えてなることを特徴とする。
【００１０】
【作用】イオン交換塔に流入する原水の水温と、イオン
交換樹脂から処理水中に溶出するＴＯＣ成分の溶出量と
の関係は、図２に示す如く、比例関係にあり、原水水温
を低下させることによって、ＴＯＣ成分の溶出量を低減
することができる。
交換樹脂から処理水中に溶出するＴＯＣ成分の溶出量と
の関係は、図２に示す如く、比例関係にあり、原水水温
を低下させることによって、ＴＯＣ成分の溶出量を低減
することができる。
【００１１】一方、原水の水温とイオン交換処理水の水
質（電気伝導度）との関係は図２に示す通りであり、原
水の水温を低下させても、イオン交換樹脂のイオン交換
能の低下、即ち、得られる処理水の水質の低下は殆どな
い。
質（電気伝導度）との関係は図２に示す通りであり、原
水の水温を低下させても、イオン交換樹脂のイオン交換
能の低下、即ち、得られる処理水の水質の低下は殆どな
い。
【００１２】本発明においては、熱交換器で冷却した水
をイオン交換塔に通液するため、この低温通液によりイ
オン交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出を確実に防止し
て、高純度純水を得ることができる。
をイオン交換塔に通液するため、この低温通液によりイ
オン交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出を確実に防止し
て、高純度純水を得ることができる。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して本発明のイオン交換装
置を詳細に説明する。
置を詳細に説明する。
【００１４】図１は本発明のイオン交換装置の一実施例
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【００１５】図１に示すイオン交換装置は、工業用水、
井水、河川水等から逆浸透膜分離装置等の前処理装置
（一次純水装置）で粒子成分、塩類、有機汚染成分を一
部除いた水等の、通常は水温２０〜４０℃の水を原水
（被処理液）とし、この原水を配管１１より熱交換器１
に導入して冷却する。この冷却温度は通常の場合１〜５
℃とするのが好ましい。
井水、河川水等から逆浸透膜分離装置等の前処理装置
（一次純水装置）で粒子成分、塩類、有機汚染成分を一
部除いた水等の、通常は水温２０〜４０℃の水を原水
（被処理液）とし、この原水を配管１１より熱交換器１
に導入して冷却する。この冷却温度は通常の場合１〜５
℃とするのが好ましい。
【００１６】熱交換器１で冷却された原水は、配管１２
よりイオン交換塔２に導入され、イオン交換処理され
る。このイオン交換に当り、原水の水温が低いため、イ
オン交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出は防止され、ＴＯ
Ｃ濃度の低い高水質イオン交換水が得られる。イオン交
換水（処理水）は、配管１３より、熱交換器３に導入さ
れ、原水水温と同程度、即ち２０〜４０℃程度に戻さ
れ、その後、配管１４より次工程へ送給される。
よりイオン交換塔２に導入され、イオン交換処理され
る。このイオン交換に当り、原水の水温が低いため、イ
オン交換樹脂からのＴＯＣ成分の溶出は防止され、ＴＯ
Ｃ濃度の低い高水質イオン交換水が得られる。イオン交
換水（処理水）は、配管１３より、熱交換器３に導入さ
れ、原水水温と同程度、即ち２０〜４０℃程度に戻さ
れ、その後、配管１４より次工程へ送給される。
【００１７】本実施例においては、熱交換器１，３とし
てヒートポンプ４を設けたヒートポンプ方式のものを採
用し、冷却用熱交換器１で得た熱量を加温用熱交換器３
での昇温用エネルギーとして用いて熱回収することによ
り、エネルギーコストの低減を図っている。
てヒートポンプ４を設けたヒートポンプ方式のものを採
用し、冷却用熱交換器１で得た熱量を加温用熱交換器３
での昇温用エネルギーとして用いて熱回収することによ
り、エネルギーコストの低減を図っている。
【００１８】この熱交換器としては、プレート式、チュ
ーブ式等の他の型式のものを採用することもできる。ま
た、イオン交換塔の型式にも特に制限はなく、混床式、
多塔式等各種のものを採用することができる。
ーブ式等の他の型式のものを採用することもできる。ま
た、イオン交換塔の型式にも特に制限はなく、混床式、
多塔式等各種のものを採用することができる。
【００１９】本発明のイオン交換装置は、半導体製造
用、発電所用及び医薬、食品用純水製造装置あるいは超
純水製造装置としてのイオン交換装置に極めて有用であ
り、ＴＯＣ成分の少ない純水あるいは超純水を得ること
により、半導体洗浄等での製品不良、食品製造時の有害
物質混入等のトラブルを防止することができる。
用、発電所用及び医薬、食品用純水製造装置あるいは超
純水製造装置としてのイオン交換装置に極めて有用であ
り、ＴＯＣ成分の少ない純水あるいは超純水を得ること
により、半導体洗浄等での製品不良、食品製造時の有害
物質混入等のトラブルを防止することができる。
【００２０】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げ
て、本発明をより詳細に説明する。
て、本発明をより詳細に説明する。
【００２１】実施例１ 図１に示すイオン交換装置を用いて、水温２５℃，ＴＯ
Ｃ５００〜１５００ｐｐｂの原水の処理を行った。
Ｃ５００〜１５００ｐｐｂの原水の処理を行った。
【００２２】なお、イオン交換塔２はダイヤイオンＰＫ
２２８及びダイヤイオンＰＡ３１２（共に三菱化成
（株）製）を充填した混床式イオン交換塔であり、熱交
換器１により原水の水温を１℃に冷却した後イオン交換
塔に通液し、その後熱交換器３により水温を２５℃に戻
した。
２２８及びダイヤイオンＰＡ３１２（共に三菱化成
（株）製）を充填した混床式イオン交換塔であり、熱交
換器１により原水の水温を１℃に冷却した後イオン交換
塔に通液し、その後熱交換器３により水温を２５℃に戻
した。
【００２３】得られた処理水のＴＯＣ濃度は表１に示す
通りであった。
通りであった。
【００２４】比較例１ 原水を冷却することなくそのままイオン交換塔に通液し
たこと以外は、実施例１と同様に行った。
たこと以外は、実施例１と同様に行った。
【００２５】得られた処理水のＴＯＣ濃度は表１に示す
通りであった。
通りであった。
【００２６】
【表１】
【００２７】表１より明らかなように、原水を冷却する
ことなくそのまま通液した比較例１では、処理水のＴＯ
Ｃが２０〜５０ｐｐｂであるのに対し、原水を冷却して
通液した実施例１では、処理水のＴＯＣは１０ｐｐｂ以
下と、ＴＯＣ濃度はほぼ半分以下に低減された。
ことなくそのまま通液した比較例１では、処理水のＴＯ
Ｃが２０〜５０ｐｐｂであるのに対し、原水を冷却して
通液した実施例１では、処理水のＴＯＣは１０ｐｐｂ以
下と、ＴＯＣ濃度はほぼ半分以下に低減された。
【００２８】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のイオン交換
装置によれば、熱交換器で冷却した水をイオン交換塔に
通液することにより、イオン交換樹脂からのＴＯＣ成分
の溶出を確実に防止して、ＴＯＣ成分濃度の低い高純度
純水を得ることができる。
装置によれば、熱交換器で冷却した水をイオン交換塔に
通液することにより、イオン交換樹脂からのＴＯＣ成分
の溶出を確実に防止して、ＴＯＣ成分濃度の低い高純度
純水を得ることができる。
【図１】本発明のイオン交換装置の一実施例を示す系統
図である。
図である。
【図２】イオン交換塔に流入する原水の水温と、イオン
交換樹脂から処理水中に溶出するＴＯＣ成分の溶出量と
の関係を示すグラフである。
交換樹脂から処理水中に溶出するＴＯＣ成分の溶出量と
の関係を示すグラフである。
【図３】原水の水温とイオン交換処理水の水質（電気伝
導度）との関係を示すグラフである。
導度）との関係を示すグラフである。
１，３ 熱交換器 ２ イオン交換塔 ４ ヒートポンプ
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理液を冷却する熱交換器と、該熱交
換器によって冷却された被処理液が通液されるイオン交
換塔とを備えてなるイオン交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6138725A JPH081156A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | イオン交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6138725A JPH081156A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | イオン交換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH081156A true JPH081156A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15228700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6138725A Pending JPH081156A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | イオン交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081156A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5954965A (en) * | 1996-03-29 | 1999-09-21 | Mitsubishi Chemical Corporation | Process for producing pure water |
| US7845681B2 (en) | 2006-02-03 | 2010-12-07 | Takata Corporation | Airbag and airbag apparatus |
| US7931297B2 (en) | 2007-02-19 | 2011-04-26 | Takata Corporation | Airbag and airbag device |
| US8353532B2 (en) | 2006-08-22 | 2013-01-15 | Takata Corporation | Airbag and airbag apparatus |
-
1994
- 1994-06-21 JP JP6138725A patent/JPH081156A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5954965A (en) * | 1996-03-29 | 1999-09-21 | Mitsubishi Chemical Corporation | Process for producing pure water |
| US7845681B2 (en) | 2006-02-03 | 2010-12-07 | Takata Corporation | Airbag and airbag apparatus |
| US8353532B2 (en) | 2006-08-22 | 2013-01-15 | Takata Corporation | Airbag and airbag apparatus |
| US7931297B2 (en) | 2007-02-19 | 2011-04-26 | Takata Corporation | Airbag and airbag device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4595498A (en) | Water-polishing loop | |
| US5484512A (en) | Methods and apparatuses for producing high purity oxygen and hydrogen | |
| EP0634364B1 (en) | Pure water manufacturing method | |
| JPH0790219B2 (ja) | 純水製造装置及び製造方法 | |
| JPH09192661A (ja) | 超純水製造装置 | |
| JPH09278418A (ja) | 過酸化水素水の精製方法 | |
| JPS6124548A (ja) | 塩基性アミノ酸分離法におけるイオン交換樹脂操作法 | |
| JPS6082106A (ja) | 電気透析膜汚染防止法 | |
| JPH03262585A (ja) | 超純水製造装置および方法 | |
| CN1163418C (zh) | 高温超高纯水生产设备 | |
| JPH081156A (ja) | イオン交換装置 | |
| JP2001017866A (ja) | ホウ素選択吸着樹脂の調整方法 | |
| JPS60261585A (ja) | 超純水の製造方法 | |
| JPH0638953B2 (ja) | 高純度水の製造装置 | |
| JP3906684B2 (ja) | 超純水供給装置 | |
| CN1120753C (zh) | 在酸性pH下不稳定的物质的去离子的方法 | |
| JP2002018431A (ja) | 紫外線照射装置および超純水製造装置 | |
| JP4552483B2 (ja) | 水処理ユニットの熱水通水処理方法および純水製造装置の組立方法 | |
| JPS6397284A (ja) | 超純水中の微量有機物の除去方法 | |
| JPH0639366A (ja) | 超純水製造方法、及びその装置 | |
| JP3482594B2 (ja) | 蒸留法純水製造装置 | |
| JPS6359388A (ja) | 純水の製造方法 | |
| JPH04108587A (ja) | 超純水の製造法 | |
| JP3092203B2 (ja) | 活性炭破過予測方法 | |
| JPH04293586A (ja) | 純水製造用イオン交換装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050111 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050225 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050830 |