JPH0463460A - Ｌｓｉレイアウトパターンデータ検証装置 - Google Patents
Ｌｓｉレイアウトパターンデータ検証装置Info
- Publication number
- JPH0463460A JPH0463460A JP2178008A JP17800890A JPH0463460A JP H0463460 A JPH0463460 A JP H0463460A JP 2178008 A JP2178008 A JP 2178008A JP 17800890 A JP17800890 A JP 17800890A JP H0463460 A JPH0463460 A JP H0463460A
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- JP
- Japan
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- layout pattern
- pattern data
- data
- drc
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はＬＳＩ設計技術に関するものであり、特にそ
の中でも設計されたＬｓニレイアウドパターンデータの
品質を効果的に向上させる手段に関するものである。
の中でも設計されたＬｓニレイアウドパターンデータの
品質を効果的に向上させる手段に関するものである。
第４図は従来のＬＳＩレイアウトパターンデータ検証装
置のハードウェア構成を示すブロック図である。図にお
いて、（４０１）はレイアウトパターンデータを入力す
る入力装置、（４０２）はＣＰＵ等の中央演算装置、（
４０３）はＤＲＣエラーデータやレイアウトパターンデ
ータを表示する表示装置、（４０４）はレイアウトパタ
ーンデータやＤＲＯエラーデータを偉存する磁気ディス
ク装置である。
置のハードウェア構成を示すブロック図である。図にお
いて、（４０１）はレイアウトパターンデータを入力す
る入力装置、（４０２）はＣＰＵ等の中央演算装置、（
４０３）はＤＲＣエラーデータやレイアウトパターンデ
ータを表示する表示装置、（４０４）はレイアウトパタ
ーンデータやＤＲＯエラーデータを偉存する磁気ディス
ク装置である。
第５図は従来のＬＳＩレイアウトパターンデータ検証装
置の処理のブロック図の一例である。図において、（１
０１）はレイアウトパターンデータのチェック内容を定
義記述したＤＲＯルールファイル、（１０２）はデザイ
ンルールチェック処理（以下ＤＲＯ処理という）の対象
となるレイアウトパターンデータ、（１０３）はＤＲＣ
ルールファイル（１０１）、レイアウトパターンデータ
（１０２）を読み込み処理する読み込み部、（１０４）
は読み込んだＤＲＣルールファイル（１０１） 、レイ
アウトパターンデータ（１０２）によりＤＲＯ処理を行
うＤＲＣ処理部、（１０５）はＤＲＣ処理の結果、チェ
ック内容に対して違反している箇所を示すＤＲＯ処理に
より発生したエラーデータ（以下ＤＲＣエラーデータと
いう）、（１０９）はＤＲＣｉエラーデータ（１０５）
、レイアウトパターンデータ（１０２）を画面上に表
示する表示部である。
置の処理のブロック図の一例である。図において、（１
０１）はレイアウトパターンデータのチェック内容を定
義記述したＤＲＯルールファイル、（１０２）はデザイ
ンルールチェック処理（以下ＤＲＯ処理という）の対象
となるレイアウトパターンデータ、（１０３）はＤＲＣ
ルールファイル（１０１）、レイアウトパターンデータ
（１０２）を読み込み処理する読み込み部、（１０４）
は読み込んだＤＲＣルールファイル（１０１） 、レイ
アウトパターンデータ（１０２）によりＤＲＯ処理を行
うＤＲＣ処理部、（１０５）はＤＲＣ処理の結果、チェ
ック内容に対して違反している箇所を示すＤＲＯ処理に
より発生したエラーデータ（以下ＤＲＣエラーデータと
いう）、（１０９）はＤＲＣｉエラーデータ（１０５）
、レイアウトパターンデータ（１０２）を画面上に表
示する表示部である。
また、第６図にＤＲＣルールファイル（１０１）のチェ
ック内容の定義記述例を示す０図において、（５０１）
はファイルに記述されたチェック項目（以後ルール項目
と呼ぶ）を示す番号（以後ルール番号と呼ぶ）％ （
６０２）はＤＲＯ処理のチェックする内容を示す命令（
以後ＤＲＯ命令と呼ぶ）、 （６０３）と（６０４）は
ＤＲＣ命令（４５０２）の対象となるレイアウトパター
ンのデータ名で、それぞれ対象データ１、および対象デ
ータ２である。（６０５）はレイアウトパターンデータ
名（６０３）と（６０４）のレイアウトパターンデータ
のチェックする最低距離であるＤＲＣチェック値である
（区側では単位はミクロン）。これらのＤＲＣのチェッ
ク内容は第５図のＤＲＣ処理部（１０４）で行なわれる
処理を記述したものである。なおりＲＣエラーデータ（
１０５）はルール項目別に独立して発生し、本例では特
定のＤＲＣエラーデータを示すために１番目のＤＲＯエ
ラーデータという呼び方をする（１はルール番号（６０
１）である）。
ック内容の定義記述例を示す０図において、（５０１）
はファイルに記述されたチェック項目（以後ルール項目
と呼ぶ）を示す番号（以後ルール番号と呼ぶ）％ （
６０２）はＤＲＯ処理のチェックする内容を示す命令（
以後ＤＲＯ命令と呼ぶ）、 （６０３）と（６０４）は
ＤＲＣ命令（４５０２）の対象となるレイアウトパター
ンのデータ名で、それぞれ対象データ１、および対象デ
ータ２である。（６０５）はレイアウトパターンデータ
名（６０３）と（６０４）のレイアウトパターンデータ
のチェックする最低距離であるＤＲＣチェック値である
（区側では単位はミクロン）。これらのＤＲＣのチェッ
ク内容は第５図のＤＲＣ処理部（１０４）で行なわれる
処理を記述したものである。なおりＲＣエラーデータ（
１０５）はルール項目別に独立して発生し、本例では特
定のＤＲＣエラーデータを示すために１番目のＤＲＯエ
ラーデータという呼び方をする（１はルール番号（６０
１）である）。
次にＤＲＣエラーデータの表示結果について説明する。
第５図に示す表示部（’１０９ ）はレイアウトパター
ンデータ（１０２）の全部とＤＲＣエラーデータ（１０
５）を重ねて表示する。その表示結果の一例を第７図に
示す。第７図は１つのルール項目（ＡデータとＢデータ
の間隔チェック）についてＤＲＣ処理を行なった結果、
ＤＲＯエラーデータ（１０５）をレイアウトパターンデ
ータ（１０２）と共に表示したものである。（７ｏ１）
、（７ｏ２）、（７０３Ｌ（７０４）はそれぞれＡ−Ｄ
で示されるレイアウトパターンデータであり、（７０５
）はＤＲＯ処理の結果発生するＤＲｅエラーデータであ
る。
ンデータ（１０２）の全部とＤＲＣエラーデータ（１０
５）を重ねて表示する。その表示結果の一例を第７図に
示す。第７図は１つのルール項目（ＡデータとＢデータ
の間隔チェック）についてＤＲＣ処理を行なった結果、
ＤＲＯエラーデータ（１０５）をレイアウトパターンデ
ータ（１０２）と共に表示したものである。（７ｏ１）
、（７ｏ２）、（７０３Ｌ（７０４）はそれぞれＡ−Ｄ
で示されるレイアウトパターンデータであり、（７０５
）はＤＲＯ処理の結果発生するＤＲｅエラーデータであ
る。
従来のＬＳＩレイアウトパターンデータ検証装置は以上
のように構成されているので、ＤＲＣエラーデータの表
示処理では、レイアウトパターンデータが全て表示され
ており、ＤＲＣ！エラーデータとは直接関係のないレイ
アウトパターンも常に表示されているだめ表示画面が煩
雑になりＤＲＯエラーデータが確認しにくい又は、レイ
アウトパターンデータの修正がしにくいなどの問題点が
あった。
のように構成されているので、ＤＲＣエラーデータの表
示処理では、レイアウトパターンデータが全て表示され
ており、ＤＲＣ！エラーデータとは直接関係のないレイ
アウトパターンも常に表示されているだめ表示画面が煩
雑になりＤＲＯエラーデータが確認しにくい又は、レイ
アウトパターンデータの修正がしにくいなどの問題点が
あった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、レイアウトパターンデータのＤＲＣ処理後の
ＤＲＣエラーデータの確認が容易になると共にレイアウ
トパターンデータの修正も容易にできるような表示機能
を有するＬＳＩ用レイアウトパターンデータ検証装置を
得ることを目的とする。
たもので、レイアウトパターンデータのＤＲＣ処理後の
ＤＲＣエラーデータの確認が容易になると共にレイアウ
トパターンデータの修正も容易にできるような表示機能
を有するＬＳＩ用レイアウトパターンデータ検証装置を
得ることを目的とする。
この発明に係るＬＳＩ用レイアウトパターンデータ検証
装置は、ＤＲＣルールファイルを読み込んで前もってＤ
ＲＣルール番号とそのルール項目に対応するチェック対
象レイアウトパターンデータ名を格納する内部テーブル
を作成しておき、ＤＲＣ処理後に発生したＤＲＯエラー
データとそのＤＲＣエラーデータに対応するレイアウト
パターンデータそ表示できる手段を有したものである。
装置は、ＤＲＣルールファイルを読み込んで前もってＤ
ＲＣルール番号とそのルール項目に対応するチェック対
象レイアウトパターンデータ名を格納する内部テーブル
を作成しておき、ＤＲＣ処理後に発生したＤＲＯエラー
データとそのＤＲＣエラーデータに対応するレイアウト
パターンデータそ表示できる手段を有したものである。
この発明におけるＬＳＩ用レイアウトパターンデータ検
証装置はＤＲＣ処理後に発生するＤＲＯエラーデータと
そのＤＲＯ項目でチェック対象となるレイアウトパター
ンデータのみを表示する。
証装置はＤＲＣ処理後に発生するＤＲＯエラーデータと
そのＤＲＯ項目でチェック対象となるレイアウトパター
ンデータのみを表示する。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はＬＳＩレイアウトパターンデータ検証装置の処理の
ブロック図である。図において、（１０１）〜（１０５
）、（１０９）は第５図の従来例に示したものと同等で
おるので説明を省略する。（１０６）はＤＲＯルールフ
ァイル（ｌｏｇ）とレイアウトパターンデータ（１０２
）を読み込みルール項目のチェック対象のレイアウトパ
ターンのみ抽出するＤＲＣＮ析部、（１０７）はＤＲＯ
解析部（１０６）で抽出された特定のレイアウトパター
ンデータ、（１０８）はルール番号とレイアウトパター
ン名を対応付ける内部テーブルである。表示ｍ （１０
９）はＤＲＣエラーデータ（１０５）、特定のレイアウ
トパターンデータ（１０７）を画面表示する。第２図は
第１図に示すＤＲＯルール解析部（１０６）、および表
示部（１０９）の処理を示すフローチャートである。ダ
において、（２０１）〜（２０Ｂ）はステップである。
図はＬＳＩレイアウトパターンデータ検証装置の処理の
ブロック図である。図において、（１０１）〜（１０５
）、（１０９）は第５図の従来例に示したものと同等で
おるので説明を省略する。（１０６）はＤＲＯルールフ
ァイル（ｌｏｇ）とレイアウトパターンデータ（１０２
）を読み込みルール項目のチェック対象のレイアウトパ
ターンのみ抽出するＤＲＣＮ析部、（１０７）はＤＲＯ
解析部（１０６）で抽出された特定のレイアウトパター
ンデータ、（１０８）はルール番号とレイアウトパター
ン名を対応付ける内部テーブルである。表示ｍ （１０
９）はＤＲＣエラーデータ（１０５）、特定のレイアウ
トパターンデータ（１０７）を画面表示する。第２図は
第１図に示すＤＲＯルール解析部（１０６）、および表
示部（１０９）の処理を示すフローチャートである。ダ
において、（２０１）〜（２０Ｂ）はステップである。
次に動作について説明する。ステップ（２０１’）はＤ
ＲＣルールファイル（１０１）を読み込み各ルール項目
のチェック対象レイアウトパターンデータ名を格納する
内部テーブルを下表のごとく作成する。
ＲＣルールファイル（１０１）を読み込み各ルール項目
のチェック対象レイアウトパターンデータ名を格納する
内部テーブルを下表のごとく作成する。
内部テーブルはルール番号とレイアウトパターンデータ
名を対応づけるためのもので、ルール毎にレイアウトパ
ターンデータ名が２つ格納できる配列構造となっている
。ステップ（２０２）は変数１に１を格納する。ステッ
プ（２０３）は１番目のルール項目のＤＲＣエラーデー
タが存在するかどうか判定する。Ｙｅｓの場合はステッ
プ（２０４）に、Ｎｏの場合はステップ（２０７）に処
理が移る。ステップ（２０４）は１番目のＤＲＣエラー
データを画面表示する。ステップ（２０５）では内部テ
ーブルで格納されているルール番号が１に対応するレイ
アウトパターンデータ（１０２）を画面表示する。ステ
ップ（２０６）は次のＤＲＣエラーデータの表示を行う
かどうかユーザーの選択で判定される。Ｙｅｓの場合は
ステップ（２０７）に、Ｎｏの場合はステップ（２０６
）に処理が移る。ステップ（２０７）はルール番号が３
Ｊ在の１の値で最後かどうか判定する。Ｙｅｓの場合は
処理が終了するが、ＮＯの場合はステップ（２０８）へ
処理が移る。ステップ（２０Ｂ）は変数１に１を加算す
るＯ 第３図にＤＲＣエラーデータ（１０５）の表示例を示す
。図において、（３０１）、（３０２）はレイアウトパ
ターンデータ、（３０３）はＤＲＣエラーデータである
。この同側は第７図の従来例と同じように１つのルール
項目（ＡデータとＢデータの間隔のチェック）について
ＤＲＣエラーが存在する場合について表示を示したもの
である。レイアウトパターンデータ（３０１）はＡデー
タを示し、レイアウトパターンデータ（３０２）はＢデ
ータを示す。
名を対応づけるためのもので、ルール毎にレイアウトパ
ターンデータ名が２つ格納できる配列構造となっている
。ステップ（２０２）は変数１に１を格納する。ステッ
プ（２０３）は１番目のルール項目のＤＲＣエラーデー
タが存在するかどうか判定する。Ｙｅｓの場合はステッ
プ（２０４）に、Ｎｏの場合はステップ（２０７）に処
理が移る。ステップ（２０４）は１番目のＤＲＣエラー
データを画面表示する。ステップ（２０５）では内部テ
ーブルで格納されているルール番号が１に対応するレイ
アウトパターンデータ（１０２）を画面表示する。ステ
ップ（２０６）は次のＤＲＣエラーデータの表示を行う
かどうかユーザーの選択で判定される。Ｙｅｓの場合は
ステップ（２０７）に、Ｎｏの場合はステップ（２０６
）に処理が移る。ステップ（２０７）はルール番号が３
Ｊ在の１の値で最後かどうか判定する。Ｙｅｓの場合は
処理が終了するが、ＮＯの場合はステップ（２０８）へ
処理が移る。ステップ（２０Ｂ）は変数１に１を加算す
るＯ 第３図にＤＲＣエラーデータ（１０５）の表示例を示す
。図において、（３０１）、（３０２）はレイアウトパ
ターンデータ、（３０３）はＤＲＣエラーデータである
。この同側は第７図の従来例と同じように１つのルール
項目（ＡデータとＢデータの間隔のチェック）について
ＤＲＣエラーが存在する場合について表示を示したもの
である。レイアウトパターンデータ（３０１）はＡデー
タを示し、レイアウトパターンデータ（３０２）はＢデ
ータを示す。
なお、上記実施例ではルール項目の対象レイアウトパタ
ーンデータとＤＲＣエラーデータのみ表示しているが選
択式で他のレイアワドパターンデータを表示する処理を
設けてもよい。
ーンデータとＤＲＣエラーデータのみ表示しているが選
択式で他のレイアワドパターンデータを表示する処理を
設けてもよい。
以上のように、この発明によれば、ＬＳＩのレイアウト
パターン設計時においてＤＲＯ処理によυエラーとして
検出されたレイアウトパターンデータの修正作業の効率
向上が得られる効果がある。
パターン設計時においてＤＲＯ処理によυエラーとして
検出されたレイアウトパターンデータの修正作業の効率
向上が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるＬＳＩレイアウトパ
ターンデータ検証装置の処理のブロック図、第２図は第
１図に示すＤＲＣルール解析部および表示部の処理を示
すフローチャート、第３図は第１図の装置におけるＤＲ
Ｃエラーデータの表示例を示す図、第４図は従来のＬＳ
Ｉレイアウトパターンデータ検証装置のハードウェア構
成を示すブロック図、第５図は従来のＬＳＩレイアウト
パターンデータ検証装置の処理のブロック図、第６図は
第５図に示すＤＲＯルールファイルのチェック内容の定
義記述例を示す図、第７図は第５図に示すＤＲＯデータ
をレイアウトパターンデータと共に表示したＤＲＣエラ
ーデータの表示結果例である。 図において、（ｌｏｇ）はＤＲＯルール７アイル、（１
０２）はレイアウトパターンデータ、（１０３）は読み
込み部、（１０４）はＤＲＯ処理部、（１０５）はＤＲ
Ｃエラーデータ、（１０６）はＤＲＯルール解析部、（
１０７）は特定のレイアウトパターンデータ、（１０８
）は内部テーブル、（１０９）は表示部、（２０１）〜
（２０８）はステップ、（３０１Ｌ （３０２）はレイ
アウトパタ−ンデータ、（３０３）はＤＲＣエラーデー
タである。 なお、図中、同一符号は同一 又は相当部分を示す。
ターンデータ検証装置の処理のブロック図、第２図は第
１図に示すＤＲＣルール解析部および表示部の処理を示
すフローチャート、第３図は第１図の装置におけるＤＲ
Ｃエラーデータの表示例を示す図、第４図は従来のＬＳ
Ｉレイアウトパターンデータ検証装置のハードウェア構
成を示すブロック図、第５図は従来のＬＳＩレイアウト
パターンデータ検証装置の処理のブロック図、第６図は
第５図に示すＤＲＯルールファイルのチェック内容の定
義記述例を示す図、第７図は第５図に示すＤＲＯデータ
をレイアウトパターンデータと共に表示したＤＲＣエラ
ーデータの表示結果例である。 図において、（ｌｏｇ）はＤＲＯルール７アイル、（１
０２）はレイアウトパターンデータ、（１０３）は読み
込み部、（１０４）はＤＲＯ処理部、（１０５）はＤＲ
Ｃエラーデータ、（１０６）はＤＲＯルール解析部、（
１０７）は特定のレイアウトパターンデータ、（１０８
）は内部テーブル、（１０９）は表示部、（２０１）〜
（２０８）はステップ、（３０１Ｌ （３０２）はレイ
アウトパタ−ンデータ、（３０３）はＤＲＣエラーデー
タである。 なお、図中、同一符号は同一 又は相当部分を示す。
Claims (1)
- ＬＳＩ用のレイアウトパターンデータの入力又は読み
込み手段と、レイアウトパターンデータの各種の図形デ
ータの間隔や幅などの寸法を測定して規定値以下の場合
はエラー箇所にエラーデータを発生する処理を行う処理
部と上記エラー箇所にエラーデータを発生する処理によ
り発生したエラーデータとレイアウトパターンデータを
表示する表示部を有するＬＳＩ用のレイアウトパターン
データ検証装置であり、表示部で上記エラー箇所にエラ
ーデータを発生する処理のチェック対象となるレイアウ
トパターンデータと上記エラーデータを同時に表示する
ことを特徴とするＬＳＩ用レイアウトパターンデータ検
証装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2178008A JPH0463460A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | Ｌｓｉレイアウトパターンデータ検証装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2178008A JPH0463460A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | Ｌｓｉレイアウトパターンデータ検証装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463460A true JPH0463460A (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=16040948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2178008A Pending JPH0463460A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | Ｌｓｉレイアウトパターンデータ検証装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463460A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0928012A3 (en) * | 1997-12-12 | 1999-07-14 | Lsi Logic Corporation | Optical proximity correction method and apparatus |
-
1990
- 1990-07-03 JP JP2178008A patent/JPH0463460A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0928012A3 (en) * | 1997-12-12 | 1999-07-14 | Lsi Logic Corporation | Optical proximity correction method and apparatus |
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