JPH0464763U - - Google Patents

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JPH0464763U
JPH0464763U JP10778090U JP10778090U JPH0464763U JP H0464763 U JPH0464763 U JP H0464763U JP 10778090 U JP10778090 U JP 10778090U JP 10778090 U JP10778090 U JP 10778090U JP H0464763 U JPH0464763 U JP H0464763U
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は
本実施例の要部の動作の説明図、第３図、第４図
は本実施例による位置合せ動作の説明図、第５図
は投光器と被検査体の位置合せがなされていない
状態を示す図、第６図は受光器と被検査体の位置
合せがなされていない状態を示す図、第７図は径
のことなる被検査体の傷検査をする時の投光器お
よび受光器の位置再調整を示す図、第８図、第９
図は、それぞれ、従来の投光器および受光器の位
置調整装置の一例の斜視図である。 １……受光器、２……ラインセンサ、３……縮
小光学系、４，５……ゴニオステージ、６……回
転ステージ、７……Ｚステージ、８……Ｙステー
ジ、９……Ｘステージ、１０……被検査体、１１
……スリツト光、１２……散乱光。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 投光器から投射されたライン状光によつて、被
    検査体の表面上に存在する欠陥から散乱された光
    を受光するラインセンサを備えた傷検査用光学装
    置の位置調整装置であつて、 前記被検査体の表面に照射された前記ライン状
    光と平行な第１の軸の回りに回動可能な第１のス
    テージと、 前記ライン状光と前記第１の軸を含む面に垂直
    でかつ該第１の軸を含む面内にあり、該第１の軸
    と直交する第２の軸の回りに回動可能な第２のス
    テージと、 前記第１および第２の軸に、同一点で直交する
    第３の軸の回りに回動可能な第３のステージとを
    有し、 前記ラインセンサの中心と、前記第１〜３の軸
    の交点が一致するようにしたことを特徴とする傷
    検査用光学装置の位置調整装置。
JP1990107780U 1990-10-15 1990-10-15 傷検査用光学装置の位置調整装置 Expired - Lifetime JP2574720Y2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2010197240A (ja) * 2009-02-25 2010-09-09 Fuji Electric Systems Co Ltd 粉粒体異物検査装置、異物検査方法

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