JPS5995205U - レ−ザ−干渉計 - Google Patents

レ−ザ−干渉計

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Publication number
JPS5995205U
JPS5995205U JP19009882U JP19009882U JPS5995205U JP S5995205 U JPS5995205 U JP S5995205U JP 19009882 U JP19009882 U JP 19009882U JP 19009882 U JP19009882 U JP 19009882U JP S5995205 U JPS5995205 U JP S5995205U
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JP
Japan
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lens
wavefront
optical axis
light source
test
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Application number
JP19009882U
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JPS6342324Y2 (ja
Inventor
大野　政博
Original Assignee
旭光学工業株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１′図は従来のフィゾー型干渉計の光学系図、第２図
は本考案に用いたフィゾー型干渉計の光学系図、第３図
は曲率半径のずれ量を検出する手段を説明するための図
である。 １・・・・・・レーザー発振器、集光レンズ、３・四・
半透鏡、４・・・・・・集光レンズ、５・・・・・・干
渉計の原器レンズ、５ａ・・・・・・原器面、６・・・
・・・被検レンズ、６ａ・・・・・・被検面、７・・・
・・・５を射出した光束の集光点、８・・・・・・７の
干渉計の光軸上での位置、９・・・・・・５ａを射出し
た光線が６ａに垂直に入射する位置、１０・・・・・・
送り装置、１１・・・・・・観測系、１２・・・・・・
第２の光源、１３・・・・・・集光レンズ、１４・・・
・・・照射レンズ、１５・・・・・・基準レンズ、１５
ａ・曲・基準面、１６・・・・・・結像レンズ、１７・
・曲光電位置検出手段、１８・・・・・・微動送り装置
、１９・・曲干渉計原器面透過後の巻線が基準面１５ａ
に入射する位置、１５１．１５２・・・・・・被検レン
ズ、２ｏ・・曲干渉計の光軸、２１・・・・・・照射レ
ンズの光軸、２２・・曲検像レンズの光軸、２３・・・
・・・基準面、２４・・曲被検面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 反射参照波面と透過収束球面検査波面を形成しうる第１
    のレンズ系により第１の光源からの光を収束させ、その
    収束点を曲率とした被検面からの反射被検波面と前記反
    射参照波面とを干渉させ被検面を検査するフィゾー型干
    渉計において、前記第１のレンズ系の光軸とは異なる方
    向から照射する第２の光源と、該第２の光源の像を被検
    面に投射し被検面に光点を形成させる照射レンズと、前
    記第１のレンズ系の光軸に対して照射レンズの光軸と対
    称な方向に前記光点の像を結像させる結像レンズと、該
    結像レンズの結像面に設けた光電位置検出手段とを有す
    る事を特徴とするレーザー干渉計。
JP19009882U 1982-12-16 1982-12-16 レ−ザ−干渉計 Granted JPS5995205U (ja)

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JP19009882U JPS5995205U (ja) 1982-12-16 1982-12-16 レ−ザ−干渉計

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JP19009882U JPS5995205U (ja) 1982-12-16 1982-12-16 レ−ザ−干渉計

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Publication Number Publication Date
JPS5995205U true JPS5995205U (ja) 1984-06-28
JPS6342324Y2 JPS6342324Y2 (ja) 1988-11-07

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ID=30409680

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