JPH0464891A - 位置調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野］ 本発明は位置調整装置に関する。

［従来の技術］ 従来から円筒状の半導体装置の縦型熱処理装置等を水平
基板に対して精密に垂直になるよう固定するのには、第
２図に示すように縦型熱処理装置１の中心におもり２を
懸架して、このおもり２を懸架した線が垂直になるよう
熱処理装置１を動かし、熱処理装置１の口枠金具４の数
箇所に設けられたナツトが螺入されたボルト５の高さを
調整して固定していた。

［発明が解決すべき課題］ このような口枠金具４に設けられたボルト５を貫通する
貫通孔６の径は、ボルト５の外径より大きく、縦型熱処
理装置１の位置の微調整が行えるようになっている。即
ち、人間が熱処理装置１を押しながら縦型熱処理装置の
位置を僅かに動かして行うものである。しかし、熱処理
装置１はかなりな重量物で移動困難であると共に、無理
に移動させるため口枠金具４と水平板３が摩擦し、パー
ティクルの発生の原因にもなり、汚染源となってしまっ
た。

また、固定金具４はベースプレートにボルト５を介して
接続されるため、熱処理装置１が高温になると熱処理装
置１の絶縁材の絶縁抵抗に起因する漏洩電流がアースに
流れアース雑音電流により他の機器に対し悪影響を及は
してしまった。

本発明は上記の欠点を解消するためになされたものであ
って、熱処理装置のような重量物であっても簡単に移動
させて精密に垂直設置できるよう微調整可能であって、
さらに絶縁性がよく、熱処理装置からアースへの漏洩電
流を防止することができる位置調整装置を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため本発明の位置調整装置は、被
調整物体を載置台の予め定められた位置に調整して固定
する位置調整装置であって、前記載置台に前記被調整物
体を支持して複数箇所に遊嵌して設けられた枢支部材及
び前記被調整物体に装着され前記枢支部材に当接する調
整ボルトを備えた位置調整手段と、前記被調整物体と前
記載置台とを固定する固定手段とから成るものである。

［作用］ 重量物体の被調整物体を水平板に垂直に固定させるため
に、水平板に絶縁体を介して遊１茨される枢支部材を設
ける。この枢支部材に四部を設け、この四部にテーパ部
を有する調整ボルトが載置するように物体を直立させる
。この調整ボルトのテーパ部を凹部上で回転させること
により大きな力を加えなくてもボルトは摺動可能であり
、重量物体であっても簡単に垂直軸の調整を行うことが
できる。また、絶縁体と枢支部材は円滑に水平摺動でき
るので、重量物体の位置調整を簡単に行なうことができ
る。そして位置調整後、ボルト等の固定手段で被調整物
体と水平板を確実に固定させる。

この時、被調整物体と水平板を固定するボルト（固定手
段）は被調整物体に設けた貫通孔に絶縁体から成る環を
介して被調整物体と直接接触しないようにすることで被
調整物体と水平板を絶縁することができる。

［実施例コ 本発明を半導体ウェハの縦型熱処理装置に適用した一実
施例を図面を参照して説明する。

第１図に示す被調整物体である縦型熱処理装置１は図示
しない円筒状反応管と、反応管を囲繞して設けられるコ
イルヒータと、コイルヒータを包囲する断熱月等とから
構成され、反応管底部に設けられる開口部で環状の口枠
金具４により一体化されて、反応管内を５００〜１２０
００Ｃ内に加熱し半導体ウェハの熱処理を行うものであ
る。

このような縦型熱処理装置１を載置台である水平板３」
−に精密に垂直に設置する本発明の位置調整装置Ｔは、
位置調整手段７及び固定手段８とから成る。位置調整手
段７は水平板３に穿孔された孔９に嵌合される環状で例
えばポリフッ化エチレン系等から成る絶縁性樹脂で形成
された絶縁体１０」二に載設される枢支部材１１と、こ
の枢支部材１１の貫通孔１２の周縁に支持され先端にテ
ーバ部１３を設けた調整ボルト１４とを備えている。

枢支部材１１は絶縁体１０に遊嵌され、さらに調整ボル
ト１４は先端がテーバ部１３を有し、外径は貫通孔１２
の径より大きくなっている。ここで枢支部材１１の貫通
孔１２は単に凹部であってもよい。

さらに枢支部材１１の材質は、金属例えばステンレスス
チールで形成され、絶縁体１０との摩擦が小さく絶縁体
１０の遊嵌範囲で水平に摺動可能となっている。

位置調整手段７により、反応管が垂直に配置されるよう
位置微調整された後、熱処理装置１と水平板３を固定す
る固定手段８は、口枠金具４に穿孔された孔１５に環状
のポリフッ化エチレン製等の絶縁体６を嵌合し、絶縁体
６を貫通して口枠金具４と水平板３を固定するボルト５
から成っている。

このような位置調整装置Ｔは、熱処理装置１の口枠金具
４に、複数例えば９０°毎に４カ所設けられる。また、
３カ所設けてもよいし、１カ所のみで、他の位置は固定
してあってもよい。

以」−のような構成の位置調整装置Ｔの動作を説明する
。

熱処理装置１の口枠金具４に固定された複数の調整ボル
ト１４のテーバ部１３がそれぞれ水平板３上に載設され
た枢支部材１１の貫通孔１２上に載置される。調整ボル
ト１４の先端のテーパ部１３と貫通孔１２とは人間が大
きな力を加えなくとも簡単に回転、摺動可能であり、水
平板３に対し＝　６− て口枠金具４の水平設置角度を調整でき、さらに枢支部
材１１は環状絶縁体１０に遊嵌されているため、円滑に
水平移動させて位置の調整を行うことができる。この調
整を行う際には簡単に移動され、摩擦によるパーティク
ル発生も防止できる。

この動作をそれぞれの位置調整装置Ｔについて行い、水
平板３に対して熱処理装置１が精密に垂直に配置され、
かつ水平位置調整された後、固定手段８のボルト５を水
平板３に締結し、熱処理装置１を水平板３に固定する。

また、位置調整手段７の調整ボルト１４及び固定手段８
のボルト５はそれぞれ絶縁体１０及び６を介して水平板
３及び熱処理装置１に固定されるため、熱処理装置１の
加熱により断熱材の絶縁抵抗の低下に起因する漏洩電流
がアースに流れることを防止することができる。

以」二の説明は本発明による一実施例の説明であって、
本発明は熱処理装置に限定されず、半導体製造装置に限
らず他の装置の絶縁性を必要とする垂直及び水平位置調
整にも適用できることは言うまでもないことである。特
に重量物に対して非常に好適に採用することができる。

また、固定手段もボルトとは限定されず、公知の固定手
段を適用できる。

［発明の効果］ 以」−の説明からも明らかなように位置調整装置は、位
置調整手段と固定手段とを設け、位置調整手段は垂直に
固定されるべき物体に固定された調整ボルトの先端をテ
ーバ部とし、このテーパ部を枢支部材に設けられた四部
で受けるようにしたため、調整ボルトは容易に回転、摺
動可能で、水平板に対して簡単に角度の調整を行うこと
ができる。

また、水平方向は枢支部材か水平板に絶縁体を介して遊
嵌されて載置されるため、水平方向に簡単に移動を行え
、重量体であっても人間が大きな力を加えずに簡単に位
置の調整を行うことができ、しかもパーティクルの発生
なく、クリーンな状態を維持することができる。

また、これらの位置調整装置の調整ボルトは、絶縁体を
介して水平板に設置されるため、熱処理が行われること
によりアースに漏洩電流が流れることを防止することが
でき他の機器に悪影響を及ぼすことがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用した一実施例を示す断面図、第２
図は従来例を示す構成図である。 １・・・・・・縦型熱処理装置（被調整物体）３・・・
・・・水平板（載置台） ７・・・・・・位置調整手段 ８・・・・・・固定手段 １０・・・・・・絶縁体 １１・・・・・・枢支部材 １４・・・・・・調整ボルト Ｔ・・・・・・・・位置調整装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　被調整物体を載置台の予め定められた位置に調整して
   固定する位置調整装置であって、前記載置台に前記被調
   整物体を支持して複数箇所に遊嵌して設けられた枢支部
   材及び前記被調整物体に装着され前記枢支部材に当接す
   る調整ボルトを備えた位置調整手段と、前記被調整物体
   と前記載置台とを固定する固定手段とから成ることを特
   徴とする位置調整装置。