JPH0465149A - 基板搬送アーム - Google Patents
基板搬送アームInfo
- Publication number
- JPH0465149A JPH0465149A JP17833090A JP17833090A JPH0465149A JP H0465149 A JPH0465149 A JP H0465149A JP 17833090 A JP17833090 A JP 17833090A JP 17833090 A JP17833090 A JP 17833090A JP H0465149 A JPH0465149 A JP H0465149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- arm
- conveyance arm
- axis
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
「発明の目的」
本発明は、基板搬送アームに関するものである。
通常、ＬＣＤ基板を収納したインデクサからロードロッ
ク室を経てプロセスチャンバ内へ基板を搬送する場合、
アーム機構でインデクサから基板を取りだした後に基板
をプリアライメント機構により予め位置合わせを行なう
。更に、位置合わせをした基板を別のアーム機構により
ロードロック室を経てプロセスチャンバ内に搬入するよ
うにしている。
ク室を経てプロセスチャンバ内へ基板を搬送する場合、
アーム機構でインデクサから基板を取りだした後に基板
をプリアライメント機構により予め位置合わせを行なう
。更に、位置合わせをした基板を別のアーム機構により
ロードロック室を経てプロセスチャンバ内に搬入するよ
うにしている。
しかしながら、上記した従来の搬送アームには次のよう
な問題点がある。 即ち、キャリアから取り出すアームとプロセスチャンバ
に搬入するための別のアームを必要とし、しかもインデ
クサから取りだした後にプリアライメント機構において
予め位置決めをするため、プリアライメント機構とこれ
を駆動するための駆動機構を搬送アームとは別に必要と
しているので、基板搬送アームのスペースを要するばか
りでなく、搬送工程を必要以上に複雑化している等の欠
点があった。 本発明は、上記の実情に鑑みて開発したもので、搬送ア
ームを駆動させることにより同時に搬送アームでプリア
ライメントを可能とすることによりスループットの向上
とスペースの有効利用を図ることを目的としている。 「発明の構成」
な問題点がある。 即ち、キャリアから取り出すアームとプロセスチャンバ
に搬入するための別のアームを必要とし、しかもインデ
クサから取りだした後にプリアライメント機構において
予め位置決めをするため、プリアライメント機構とこれ
を駆動するための駆動機構を搬送アームとは別に必要と
しているので、基板搬送アームのスペースを要するばか
りでなく、搬送工程を必要以上に複雑化している等の欠
点があった。 本発明は、上記の実情に鑑みて開発したもので、搬送ア
ームを駆動させることにより同時に搬送アームでプリア
ライメントを可能とすることによりスループットの向上
とスペースの有効利用を図ることを目的としている。 「発明の構成」
本発明における基板搬送アームは、アーム機構の先端部
に回動自在に設けた基板載置体の回動作用により載置体
に載置した基板を位置決めするようにしたしたので、ア
ーム機構を例えば伸縮させて基板を搬送する際、基板搬
送体が回動し、基板は、基板載置体により自動的に位置
決めがなされ、別にプリアライメントを行なう必要がな
くそのまま搬送工程へ搬送すれば位置決めがなされた状
態で搬送される。 ［実施例］ 以下に本発明における基板搬送アームの一実施例を図面
に基づいて説明する。 インデクサに収納されている適宜のＬＣＤ基板１を伸縮
自在の搬送アームにより取出し、搬送してプロセスチャ
ンバ内に搬入するための一例であって、本例の搬送アー
ムは、駆動源と連結したプーリ２を基端に収納した第１
関節アーム３と、上記プーリ２に巻回したベルト４を、
第１関節アーム３の他端に収納したプーリ５に連結し、
このプーリ５と同軸に連動させたプーリ６を第２関節ア
ーム７に収納し、このプーリ５の回動操作に連動して第
２関節アーム７を回動させるように設け、このプーリ６
にベルト８を巻回し、このベルト８の他端を基板載置体
９のアーム部１０に収納したアームプーリ１１に巻回し
、このアームプーリ１１の回動に連動して基板載置体９
を回動操作できるように設けて多関節アームを構成して
いる。 この基板載置体９には、４個のＯリング等による載置部
１２を設け、先端部に基板係止部１３を設け、更に、基
板載置体９の上方幅方向の位置に位置決め部材１４を連
結部１５を介して進退可能に設け、位置決め部材１４の
中央部に形成した長大１６に、アームプーリ１１に同軸
に設けた連動片１７にローラ１８を設け、このローラ１
８を前記した長穴１６に係止してアームプーリ１１の回
動により位置決め部材１４を進退自在に設けている。 更に、この位置決め部材１４の幅方向の均等位置に基板
１のＹ軸の側面を押圧して基板１のＹ軸における基準面
を決定する押圧部１９をスプリング２０を介して位置決
め部材１４に設け、更に、位置決め部材１４の一端側位
置に、基板１のＹ軸の側面を押圧して基板１のＹ軸にお
ける基準面を決定する略り字形状の抑圧片２１の基部を
回動軸２２を介して下方に位置している基板載置体９の
一端側に軸着すると共に、この押圧片２１の途中に設け
た突起部２３を位置決め部材１４の係止孔２４に嵌入し
、突起部２３の一側を板バネ２５で押圧して位置決め部
材１４の進出により押圧片２１を基板１の側面に押圧さ
せて基板１の外形上の誤差を吸収するようにしている。 他方、基板１のＹ軸の他の側面を押圧して基板１のＹ軸
における基準面を決定する押圧片２６の基部を基板載置
体９の他端側に軸着２７する。 次に、上記実施例の作用を説明する。 多関節の搬送アームを伸長させると、第１図においてア
ームプーリ１１は反時計回りに回動して位置決め部材１
４を後退させることにより押圧片２１は開放するので、
インデクサ等に収納されてＬＣＤ基板１は、基板載置体
９に載置されるととともに基板係止部１３に係止されて
引き出され１次いで、多関節アームを伸縮させるように
基板載置体９を第１図において時計回り方向に回動させ
ると、突起部１８が長穴１６に係止して位置決め部材１
４を基板１方向に進出させ、更に板バネ２５が突起部２
３を押圧するので、押圧片２１を第１図において時計回
り方向に回動させて基板１のＹ軸の基準面を押圧し、他
方の押圧片２６と共に基板１のＹ軸の基準面を決定する
。 一方、基板１のＹ軸の基準面は、基板１が基板載置体９
に載置されたときに位置決め部材１４に設けた２つの押
圧部１９が基板１のＹ軸の側面を押圧してＹ軸の基準面
が決定されて位置決めされる。 依って、ＬＣＤ基板１を搬送アームで取りだして、アー
ムの伸縮作用により、別にプリアライメントを行なうこ
となく基板１が基板載置体９に載置されるのみで、基板
１は自動的にプリアライメントされ、そのまま搬送アー
ムにより搬送されてロードロック室よりプロセスチャン
バ内へ基板１を搬入することができる。 なお、上記の実施例は、ＬＣＤ基板のアーム機構による
搬送の例を示したが、この例に限ることなく、アーム機
構の伸縮作用に連動して搬送するすることができるその
他の搬送物、例えば半導体ウェハにも広く適用できる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると次のよ
うな優れた効果を有する 即ち、搬送アームを駆動させることにより同時に搬送ア
ームで搬送しながらプリアライメントをすることができ
るため、スループットの向上を図るができると共に、搬
送スペースの有効利用を図ることができる等の効果があ
る。
に回動自在に設けた基板載置体の回動作用により載置体
に載置した基板を位置決めするようにしたしたので、ア
ーム機構を例えば伸縮させて基板を搬送する際、基板搬
送体が回動し、基板は、基板載置体により自動的に位置
決めがなされ、別にプリアライメントを行なう必要がな
くそのまま搬送工程へ搬送すれば位置決めがなされた状
態で搬送される。 ［実施例］ 以下に本発明における基板搬送アームの一実施例を図面
に基づいて説明する。 インデクサに収納されている適宜のＬＣＤ基板１を伸縮
自在の搬送アームにより取出し、搬送してプロセスチャ
ンバ内に搬入するための一例であって、本例の搬送アー
ムは、駆動源と連結したプーリ２を基端に収納した第１
関節アーム３と、上記プーリ２に巻回したベルト４を、
第１関節アーム３の他端に収納したプーリ５に連結し、
このプーリ５と同軸に連動させたプーリ６を第２関節ア
ーム７に収納し、このプーリ５の回動操作に連動して第
２関節アーム７を回動させるように設け、このプーリ６
にベルト８を巻回し、このベルト８の他端を基板載置体
９のアーム部１０に収納したアームプーリ１１に巻回し
、このアームプーリ１１の回動に連動して基板載置体９
を回動操作できるように設けて多関節アームを構成して
いる。 この基板載置体９には、４個のＯリング等による載置部
１２を設け、先端部に基板係止部１３を設け、更に、基
板載置体９の上方幅方向の位置に位置決め部材１４を連
結部１５を介して進退可能に設け、位置決め部材１４の
中央部に形成した長大１６に、アームプーリ１１に同軸
に設けた連動片１７にローラ１８を設け、このローラ１
８を前記した長穴１６に係止してアームプーリ１１の回
動により位置決め部材１４を進退自在に設けている。 更に、この位置決め部材１４の幅方向の均等位置に基板
１のＹ軸の側面を押圧して基板１のＹ軸における基準面
を決定する押圧部１９をスプリング２０を介して位置決
め部材１４に設け、更に、位置決め部材１４の一端側位
置に、基板１のＹ軸の側面を押圧して基板１のＹ軸にお
ける基準面を決定する略り字形状の抑圧片２１の基部を
回動軸２２を介して下方に位置している基板載置体９の
一端側に軸着すると共に、この押圧片２１の途中に設け
た突起部２３を位置決め部材１４の係止孔２４に嵌入し
、突起部２３の一側を板バネ２５で押圧して位置決め部
材１４の進出により押圧片２１を基板１の側面に押圧さ
せて基板１の外形上の誤差を吸収するようにしている。 他方、基板１のＹ軸の他の側面を押圧して基板１のＹ軸
における基準面を決定する押圧片２６の基部を基板載置
体９の他端側に軸着２７する。 次に、上記実施例の作用を説明する。 多関節の搬送アームを伸長させると、第１図においてア
ームプーリ１１は反時計回りに回動して位置決め部材１
４を後退させることにより押圧片２１は開放するので、
インデクサ等に収納されてＬＣＤ基板１は、基板載置体
９に載置されるととともに基板係止部１３に係止されて
引き出され１次いで、多関節アームを伸縮させるように
基板載置体９を第１図において時計回り方向に回動させ
ると、突起部１８が長穴１６に係止して位置決め部材１
４を基板１方向に進出させ、更に板バネ２５が突起部２
３を押圧するので、押圧片２１を第１図において時計回
り方向に回動させて基板１のＹ軸の基準面を押圧し、他
方の押圧片２６と共に基板１のＹ軸の基準面を決定する
。 一方、基板１のＹ軸の基準面は、基板１が基板載置体９
に載置されたときに位置決め部材１４に設けた２つの押
圧部１９が基板１のＹ軸の側面を押圧してＹ軸の基準面
が決定されて位置決めされる。 依って、ＬＣＤ基板１を搬送アームで取りだして、アー
ムの伸縮作用により、別にプリアライメントを行なうこ
となく基板１が基板載置体９に載置されるのみで、基板
１は自動的にプリアライメントされ、そのまま搬送アー
ムにより搬送されてロードロック室よりプロセスチャン
バ内へ基板１を搬入することができる。 なお、上記の実施例は、ＬＣＤ基板のアーム機構による
搬送の例を示したが、この例に限ることなく、アーム機
構の伸縮作用に連動して搬送するすることができるその
他の搬送物、例えば半導体ウェハにも広く適用できる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると次のよ
うな優れた効果を有する 即ち、搬送アームを駆動させることにより同時に搬送ア
ームで搬送しながらプリアライメントをすることができ
るため、スループットの向上を図るができると共に、搬
送スペースの有効利用を図ることができる等の効果があ
る。
図面は本発明における基板搬送アームの一実施例を示し
たもので、第１図は基板載置体部分を示した平面図、第
２図は同上の横断面正面図、第３図は多関節アームの一
部切り欠き平面図、第４図は第３図におけるアームの断
面図である。
たもので、第１図は基板載置体部分を示した平面図、第
２図は同上の横断面正面図、第３図は多関節アームの一
部切り欠き平面図、第４図は第３図におけるアームの断
面図である。
Claims (1)
- （１）複数関節よりなるアーム機構の先端部に基板載置
体を回動自在に設け、この回動作用により載置体に載置
した基板を位置決めするようにしたことを特徴とする基
板搬送アーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17833090A JP2881483B2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 基板搬送アーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17833090A JP2881483B2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 基板搬送アーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0465149A true JPH0465149A (ja) | 1992-03-02 |
| JP2881483B2 JP2881483B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=16046608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17833090A Expired - Lifetime JP2881483B2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 基板搬送アーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2881483B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5957651A (en) * | 1995-06-08 | 1999-09-28 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Substrate carrying apparatus |
| JP2006006831A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Yuuko Kimura | マッサージ器具 |
| JP2009099845A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Yaskawa Electric Corp | 基板アライメント機構を備えた搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP17833090A patent/JP2881483B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5957651A (en) * | 1995-06-08 | 1999-09-28 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Substrate carrying apparatus |
| JP2006006831A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Yuuko Kimura | マッサージ器具 |
| JP2009099845A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Yaskawa Electric Corp | 基板アライメント機構を備えた搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2881483B2 (ja) | 1999-04-12 |
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