JPH0465336B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0465336B2 JPH0465336B2 JP57174529A JP17452982A JPH0465336B2 JP H0465336 B2 JPH0465336 B2 JP H0465336B2 JP 57174529 A JP57174529 A JP 57174529A JP 17452982 A JP17452982 A JP 17452982A JP H0465336 B2 JPH0465336 B2 JP H0465336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- sample
- raman
- light
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ光源と、該レーザ光源からの
レーザ光の進路を半透鏡によつて90°曲げ、対物
レンズを経て試料に照射し、かつレーザ光照射に
よつて前記試料から発生したラマン散乱光を前記
対物レンズで集光し、さらに前記半透鏡を経て試
料と対物レンズのなす光軸方向に取り出す光学顕
微鏡と、該光学顕微鏡から取り出されたラマン散
乱光を分光、検出するためのラマン分光光度計と
よりなるレーザ・ラマン・マイクロプローブに関
する。
レーザ光の進路を半透鏡によつて90°曲げ、対物
レンズを経て試料に照射し、かつレーザ光照射に
よつて前記試料から発生したラマン散乱光を前記
対物レンズで集光し、さらに前記半透鏡を経て試
料と対物レンズのなす光軸方向に取り出す光学顕
微鏡と、該光学顕微鏡から取り出されたラマン散
乱光を分光、検出するためのラマン分光光度計と
よりなるレーザ・ラマン・マイクロプローブに関
する。
従来の光学顕微鏡をレーザ光照射、ラマン散乱
光集光に用いるレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブにおいては、レーザ光を半透鏡で90°方向に曲
げ、対物レンズを経て試料に照射し、同じ対物レ
ンズでラマン散乱光を集光し、半透鏡を経てラマ
ン散乱光を取り出す構造のため、試料からのレー
ザ反射光とラマン散乱光は同一光路を通る。この
ため試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモニ
タするには半透鏡を経て取り出されるレーザ反射
光およびラマン散乱光の一部をビーム・スプリツ
タ等で分割して取り出しプロジエクタ、テレビカ
メラなどで顕微鏡像を観察するが、ラマン分光光
度計へ導入するラマン散乱光量がモニタ用に分割
した分だけ減少するため、検出感度が低下する欠
点があつた。またラマン分光光度計へはレーザ反
射光もラマン散乱光と同一光路を通つて同時に導
入されるため、分光光度計内で迷光となり、特に
レーザ波長に近い低波数領域でのラマン散乱光測
定の妨害が著しい欠点があつた。
光集光に用いるレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブにおいては、レーザ光を半透鏡で90°方向に曲
げ、対物レンズを経て試料に照射し、同じ対物レ
ンズでラマン散乱光を集光し、半透鏡を経てラマ
ン散乱光を取り出す構造のため、試料からのレー
ザ反射光とラマン散乱光は同一光路を通る。この
ため試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモニ
タするには半透鏡を経て取り出されるレーザ反射
光およびラマン散乱光の一部をビーム・スプリツ
タ等で分割して取り出しプロジエクタ、テレビカ
メラなどで顕微鏡像を観察するが、ラマン分光光
度計へ導入するラマン散乱光量がモニタ用に分割
した分だけ減少するため、検出感度が低下する欠
点があつた。またラマン分光光度計へはレーザ反
射光もラマン散乱光と同一光路を通つて同時に導
入されるため、分光光度計内で迷光となり、特に
レーザ波長に近い低波数領域でのラマン散乱光測
定の妨害が著しい欠点があつた。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、ラマン散乱光測定時ラマン散乱光の損失が
少ない状態で常時試料状態のモニタができかつ、
レーザ反射光に基づく分光光度計内での迷光を減
少できるレーザ・ラマン・マイクロプローブを提
供することにある。
くし、ラマン散乱光測定時ラマン散乱光の損失が
少ない状態で常時試料状態のモニタができかつ、
レーザ反射光に基づく分光光度計内での迷光を減
少できるレーザ・ラマン・マイクロプローブを提
供することにある。
上記目的を達成するために、本発明による冒頭
に述べた種類のレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブは、試料と対物レンズのなす光軸上の半透鏡後
方に、前記光軸に対し所定の角度をなすように設
けられ、レーザ発振波長のみを透過し、レーザ発
振波長より長波長の光を反射するダイクロイツ
ク・ミラーと、該ダイクロイツク・ミラー後方に
設けられたレーザ波長での顕微鏡像モニタとから
なる試料モニタを備えることを要旨とする。すな
わち、本発明では対物レンズで集光され、半透鏡
を経て取り出したレーザ反射光とラマン散乱光
を、レーザ反射光を透過し、レーザ反射光より長
波長のラマン散乱光を反射するダイクロイツク・
ミラーによつてラマン散乱光の進路を変えること
により分割して別々に取り出し、レーザ反射光光
路上に配置されたレーザ波長での顕微鏡像モニタ
によりラマン散乱光測定中試料状態を観察すると
ともに、レーザ反射光の混入しないラマン散乱光
を効率よく分光光度計に導入する。
に述べた種類のレーザ・ラマン・マイクロプロー
ブは、試料と対物レンズのなす光軸上の半透鏡後
方に、前記光軸に対し所定の角度をなすように設
けられ、レーザ発振波長のみを透過し、レーザ発
振波長より長波長の光を反射するダイクロイツ
ク・ミラーと、該ダイクロイツク・ミラー後方に
設けられたレーザ波長での顕微鏡像モニタとから
なる試料モニタを備えることを要旨とする。すな
わち、本発明では対物レンズで集光され、半透鏡
を経て取り出したレーザ反射光とラマン散乱光
を、レーザ反射光を透過し、レーザ反射光より長
波長のラマン散乱光を反射するダイクロイツク・
ミラーによつてラマン散乱光の進路を変えること
により分割して別々に取り出し、レーザ反射光光
路上に配置されたレーザ波長での顕微鏡像モニタ
によりラマン散乱光測定中試料状態を観察すると
ともに、レーザ反射光の混入しないラマン散乱光
を効率よく分光光度計に導入する。
以下に、附図を参照しながら、実施例を用いて
本発明を一層詳細に説明するが、それらは例示に
過ぎず、本発明の枠を越えることなしにいろいろ
な改良や変形があり得ることは勿論である。
本発明を一層詳細に説明するが、それらは例示に
過ぎず、本発明の枠を越えることなしにいろいろ
な改良や変形があり得ることは勿論である。
第１図において、ラマン散乱光励起用レーザ光
１は集光レンズ２を経て顕微鏡の半透鏡３に入射
する。半透鏡３で入射方向に対し90°曲げられた
レーザ光は対物レンズ４により試料５の上に焦点
を結ぶ。試料５から発生したレーザ反射光６およ
びラマン散乱光７は対物レンズ４によつて集光さ
れ、半透鏡３を経て対物レンズ４と半透鏡３のな
す光軸に対し45°の角をなすように配置されたダ
イクロイツク・ミラー８に入射する。ダイクロイ
ツク・ミラー８の特性によつて、透過したレーザ
反射光は減光フイルタ９、集光レンズ１０を経て
レーザ反射光による顕微鏡像モニタ１１に入射
し、試料状態をモニタする。またダイクロイツ
ク・ミラー８の特性によつて対物レンズ４と半透
鏡３のなす光軸に対し90°方向に曲げられたラマ
ン散乱光は集光レンズ１２を経て分光光度計入射
スリツト１３上に結像する。
１は集光レンズ２を経て顕微鏡の半透鏡３に入射
する。半透鏡３で入射方向に対し90°曲げられた
レーザ光は対物レンズ４により試料５の上に焦点
を結ぶ。試料５から発生したレーザ反射光６およ
びラマン散乱光７は対物レンズ４によつて集光さ
れ、半透鏡３を経て対物レンズ４と半透鏡３のな
す光軸に対し45°の角をなすように配置されたダ
イクロイツク・ミラー８に入射する。ダイクロイ
ツク・ミラー８の特性によつて、透過したレーザ
反射光は減光フイルタ９、集光レンズ１０を経て
レーザ反射光による顕微鏡像モニタ１１に入射
し、試料状態をモニタする。またダイクロイツ
ク・ミラー８の特性によつて対物レンズ４と半透
鏡３のなす光軸に対し90°方向に曲げられたラマ
ン散乱光は集光レンズ１２を経て分光光度計入射
スリツト１３上に結像する。
このように構成することによつて、顕微鏡を用
いたレーザ・ラマン・マイクロプローブにおい
て、ラマン散乱光測定時の試料状態の同時モニタ
をする場合でも、ラマン散乱光の損失を少なくで
き、また同時に分光光度計内で迷光の原因となる
レーザ反射光を除去できる効果がある。
いたレーザ・ラマン・マイクロプローブにおい
て、ラマン散乱光測定時の試料状態の同時モニタ
をする場合でも、ラマン散乱光の損失を少なくで
き、また同時に分光光度計内で迷光の原因となる
レーザ反射光を除去できる効果がある。
以上説明した通り、本発明によれば、試料の検
出感度を損なうことなく測定中の試料状態のモニ
タが可能となり、試料の状態変化、照射点のずれ
などを迅速に知ることができ、また特にレーザ波
長に近い低波数領域でのラマン散乱光の測定が感
度良く、容易に行なえるという利点が得られる。
出感度を損なうことなく測定中の試料状態のモニ
タが可能となり、試料の状態変化、照射点のずれ
などを迅速に知ることができ、また特にレーザ波
長に近い低波数領域でのラマン散乱光の測定が感
度良く、容易に行なえるという利点が得られる。
図は本発明によるレーザ・ラマン・マイクロプ
ローブを模式的に示す構成図である。 １……ラマン散乱光励起用レーザ光、２……集
光レンズ、３……半透鏡、４……対物レンズ、５
……試料、６……レーザ反射光、７……ラマン散
乱光、８……ダイクロイツク・ミラー、９……減
光フイルタ、１０……集光レンズ、１１……レー
ザ反射光による顕微鏡像モニタ、１２……集光レ
ンズ、１３……分光光度計入射スリツト。
ローブを模式的に示す構成図である。 １……ラマン散乱光励起用レーザ光、２……集
光レンズ、３……半透鏡、４……対物レンズ、５
……試料、６……レーザ反射光、７……ラマン散
乱光、８……ダイクロイツク・ミラー、９……減
光フイルタ、１０……集光レンズ、１１……レー
ザ反射光による顕微鏡像モニタ、１２……集光レ
ンズ、１３……分光光度計入射スリツト。
Claims (1)
- １ レーザ光源と、該レーザ光源を出たレーザ光
の進路を半透鏡によつて90°曲げ、対物レンズを
経て試料に照射し、かつレーザ光照射によつて前
記試料から発生したラマン散乱光を前記対物レン
ズで集光し、さらに前記半透鏡を経て試料と対物
レンズのなす光軸方向に取り出す光学顕微鏡と、
該光学顕微鏡から取り出されたラマン散乱光を分
光、検出するためのラマン分光光度計とよりなる
レーザ・ラマン・マイクロプローブにおいて、試
料と対物レンズのなす光軸上の半透鏡後方に、前
記光軸に対し所定の角度をなすように設けられ、
レーザ発振波長のみを透過し、レーザ発振波長よ
り長波長の光を前記ラマン分光光度計方向に反射
するダイクロイツク・ミラーと、光軸上の前記ダ
イクロイツク・ミラー後方に設けられたレーザ波
長での顕微鏡像モニタとからなる試料モニタを備
えることを特徴とするレーザ・ラマン・マイクロ
プローブ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17452982A JPS5965242A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
| US06/510,912 US4586819A (en) | 1982-07-09 | 1983-07-05 | Laser Raman microprobe |
| FR8311469A FR2530024B1 (fr) | 1982-07-09 | 1983-07-08 | Microsonde a effet raman a laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17452982A JPS5965242A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965242A JPS5965242A (ja) | 1984-04-13 |
| JPH0465336B2 true JPH0465336B2 (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=15980118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17452982A Granted JPS5965242A (ja) | 1982-07-09 | 1982-10-06 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965242A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2253410A5 (ja) * | 1973-12-03 | 1975-06-27 | Inst Nat Sante Rech Med | |
| JPS53135660A (en) * | 1977-04-30 | 1978-11-27 | Olympus Optical Co Ltd | Fluorescent photometric microscope using laser light |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17452982A patent/JPS5965242A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5965242A (ja) | 1984-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0127361B2 (ja) | ||
| JP2010117226A (ja) | ラマン分光測定装置および測定法 | |
| JP6381779B2 (ja) | テラヘルツ波測定装置 | |
| JPH0465335B2 (ja) | ||
| US11016023B1 (en) | Far-infrared spectroscopic device and far-infrared spectroscopic method | |
| JPS62121335A (ja) | フイルムまたはコ−テイングの厚さ、含水量、その他のパラメ−タの測定装置 | |
| CN112840188A (zh) | 气象观测用激光雷达 | |
| JP7486178B2 (ja) | 分光分析装置 | |
| JPH0465336B2 (ja) | ||
| JPH01188816A (ja) | 分光型走査顕微鏡 | |
| CN105758842B (zh) | 一种激光诱导击穿光谱分析仪的滤波系统 | |
| JP3667397B2 (ja) | ラマン分光装置 | |
| US10082456B2 (en) | Photothermal conversion spectroscopic analyzer | |
| CN117109462A (zh) | 基于光谱成像技术的光谱共聚焦面形快速测量装置 | |
| JP2004257909A (ja) | 粒径分布測定装置 | |
| JPS63308543A (ja) | 散乱光測光装置 | |
| JPS59107243A (ja) | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ | |
| KR920006391B1 (ko) | 레이저 가공기에서 레이저와 가공물체간의 상호작용 상태에 대한 실시간(real time)감시 장치 | |
| JPH02304332A (ja) | 粒子計測装置 | |
| JPH1090114A (ja) | レンズ評価装置 | |
| JPS62197751A (ja) | 物体の欠陥検査装置 | |
| JPS59220634A (ja) | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用レ−ザ光照射装置 | |
| JP2023071069A (ja) | 光干渉光学系および光干渉測定システム | |
| JP2000321200A (ja) | 共焦点顕微分光装置 | |
| JPS62245942A (ja) | 粒子解析装置 |