JPH046607A - 垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に用いられ
る垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法に係り、特にプレーナ
型の垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法に関し、 主磁極と薄膜コイルの中心部に設けた中心磁性ヨークと
を直接接触させると共に、磁束のリターンヨークを媒体
対向面に近接、または露出するように構成し、記録・再
生効率を向上させることを目的とし、 軟磁性膜からなる主磁極を間に挟んで、かつ接着して一
体化した２枚の非磁性基板の上面に、該主磁極を中心と
した薄膜コイルと、該薄膜コイルの中心に前記主磁極と
接続する中心磁性ヨークとを形成する工程と、該薄膜コ
イル及び中心磁性ヨーク上に絶縁層を被着した後、該絶
縁層を前記中心磁性ヨークが露出するように平坦化する
工程と、前記薄膜コイルの外周部の絶縁層部位に、直下
の前記非磁性基板内部に通ずる溝を形成した後、該絶縁
層の上面に脚状突出部を有する磁性フェライトからなる
磁束リターン用磁性ヨークを、その脚状突出部を前記溝
内に嵌入した状態で接着する工程と、前記非磁性基板の
下面を、該磁束リターン用磁性ヨークの脚状突出部が露
出する位置まで平坦研磨して媒体対向面を形成する工程
とを含み構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に
用いられる垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法に係り、特に
プレーナ型の垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法に関するも
のである。

近年、磁気ディスク装置にあっては小型化、大容量化が
２、速に進められ、従来の水平磁気記録方式に比べて遥
かに高密度記録が可能な垂直磁気記録方式のプレーナ型
薄膜磁気ヘッドが提案されているが、更に記録・再生効
率の良い垂直薄膜磁気ヘットの製造方法が必要とされて
いる。

〔従来の技術〕

従来のプレーナ型の垂直薄膜磁気ヘッドは、第３図（ａ
）に示すようにＮｉ−Ｚｎ等のフェライトからなる磁性
基板１上に、ＳｉＯ□などからなる眉間絶縁層２を介し
て薄膜コイル３を被着形成し、その薄膜コイル３の中心
部にＮｉ−Ｆｅからなる中心磁性ヨーク４を、前記磁性
基板１と接続するようにマスクめっき法等により形成す
る。

次に第３図（ｂ）に示すように前記層間絶縁層２、薄膜
コイル３及び中心磁性ヨーク４上にＳｉＯ□膜５をスパ
ッタリング法等により被着した後、該ＳｉＯ□膜５を前
記中心磁性ヨーク４が露出する状態に平坦研磨してその
平坦面に、第３図（Ｃ）に示すように予め例えば一方の
Ａｆ２０３・ＴＩＣ％或いはセラミック等からなる非磁
性基板の側面に軟磁性膜からなる主磁極６を被着形成し
、その非磁性基板の側面に対して該主磁極６を挟むよう
に他方の同様な非磁性基板の側面を接着材６ａを介して
接着一体化した非磁性基板７を、前記主磁極６が中心磁
性ヨーク４と磁気的に接続するように低融点ガラス、ま
たはエポキシ樹脂等の接着材８により接着する。

その後、前記非磁性基板７を図中のＣ−Ｃ’　　１点鎖
線で示す位置までの所定厚さを平坦に研磨して、前記主
磁極６が露出する媒体対向面９を形成することによって
ヘッドを作成している。

そしてかかる構成の垂直薄膜磁気ヘッドは、第４図に示
すように図示しないスライダに取付けられ、ディスク基
板１２上に高透磁率な軟磁性層１３を介して垂直記録層
１４が積層された二層膜構造の垂直磁気ディスク１１と
組み合わせて用い、また磁気ヘッド側には磁束のリター
ンヨークを設けることによって記録・再生効率の向上を
図っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで上記した従来の垂直′ＦＲ膜磁気へノドでは、
第４図に示すようにＮｉ−Ｚｎ等のフェライトからなる
磁性基板１が磁束のリターンヨークの働きをしており、
この磁束リターンヨークは対向する二層膜構造の垂直磁
気ディスク１１における高透磁率な軟磁性層１３と接近
している程、記録・再生効率は良好となるが、実際には
磁性基板１からなる磁束リターンヨークは図示のように
垂直磁気ディスク１１の高透磁率な軟磁性層１３とかな
り離間した位置関係となるため、記録・再生効率が悪い
という問題があった。

また、主磁極６の断面積も小さいため、該主磁極６と薄
膜コイル３の中心部に設けたＮｉ−Ｆｅからなる中心磁
性ヨーク４との間に接着材の層が介在すると、更に前記
効率が低下する欠点があった。

本発明は上記した従来の問題点に鑑み、主磁極と薄膜コ
イルの中心部に設けた中心磁性ヨークとを直接接触させ
ると共に、磁束リターンヨークを媒体対向面に近接、ま
たは露出させるように構成し、記録・再生効率の向上を
図った新規な垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記した目的を達成するため、軟磁性膜からな
る主磁極を間に挟んで、かつ接着して一体化した２枚の
非磁性基板の上面に、該主磁極を中心とした薄膜コイル
と、該薄膜コイルの中心に前記主磁極と接続する中心磁
性ヨークとを形成する工程と、該薄膜コイル及び中心磁
性ヨーク上に絶縁層を被着した後、該絶縁層を前記中心
磁性ヨークが露出するように平坦化する工程と、前記薄
膜コイルの外周部の絶縁層部位に、直下の前記非磁性基
板内部に通ずる溝を形成した後、該絶縁層の上面に脚状
突出部を有する磁性フェライトからなる磁束リターン用
磁性ヨークを、その脚状突出部を前記溝内に嵌入した状
態で接着する工程と、前記非磁性基板の下面を、該磁束
リターン用磁性ヨークの脚状突出部が露出する位置まで
平坦研磨して媒体対向面を形成する工程とを含み構成す
る。

〔作　用〕

本発明の製造方法では、主磁極上に中心磁性ヨークを直
接接触した状態に配設できると共に、磁束リターンヨー
クもその脚状突出部等を媒体対向面に露出、または近接
させて設けることができるので、記録・再生効率を向上
させることができる。

〔実施例〕

以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。

第１図（ａ）〜（ｅ）は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッ
ドの製造方法の一実施例を示す要部断面図である。

先ず第１図（ａ）に示すように例えば所定のトラック幅
で０．３μｍの膜厚のセンダスト（Ａ　１２−５ｉ−Ｆ
ｅ）等の軟磁性膜からなる主磁極２１を従来と同様に、
例えばＡｊ２ｚ（ｈ・ＴｉＣ、或いはセラミック等から
なる２枚の非磁性基板間に挟んでガラス、または硬化性
樹脂等からなる接着材層２１ａにより接着し、体化した
非磁性基板２２の上面に、ＳｉＯ□からなる眉間絶縁層
２３を介して該主磁極２１を中心としたＣｕめっき膜か
らなる薄膜コイル２４をマスクめっき法により形成した
後、該薄膜コイル２４の中心に１０μｍの膜厚のＮｉ−
Ｆｅ膜からなる中心磁性ヨーク２５を前記主磁極２１と
直接接触した状態にマスクめっき法等により形成する。

次に第１図（ｂ）に示すように前記薄膜コイル２４を含
む眉間絶縁層２３及び中心磁性ヨーク２５上に１５μｍ
の膜厚の１２０３からなる無機絶縁層２６をスパッタリ
ング法により被着した後、該無機絶縁層２６を前記中心
磁性ヨーク２５が露出する状態に平坦研磨する。

次に第１図（Ｃ）示すように前記薄膜コイル２４の外周
部の無機絶縁層２６の所定部位に、直下の非磁性基板２
２内部に通ずる溝２７を機械加工により該基板２２の厚
さの約８０％程度に相当する深さに形成した後、第１図
（ｄ）に示すように前記中心磁性ヨーク２５が露出する
無機絶縁層２６上に、脚状突出部２８ａを有するＮｉ−
Ｚｎ、　Ｍｎ−Ｚｎ等の磁性フェライトからなる磁束リ
ターン用磁性ヨーク２８を、その脚状突出部２８ａを前
記溝２７内に嵌入した状態でガラス、またはエポキシ樹
脂等の接着材２９により接着固定する。

その後、前記非磁性基板２２の下面を、該磁束すターン
用磁性ヨーク２８の脚状突出部２８ａが露出する図中の
Ａ−Ａ’　　１点鎖線で示す位置まで平坦に研磨して、
第１図（ｅ）に示すように該磁束リターン用磁性ヨーク
２８の脚状突出部２８ａと共に、前記主磁極２１が露出
する媒体対向面３０を形成する。

かくすれば、該媒体対向面３０に露出する主磁極２１は
前記中心磁性ヨーク２５と直接接続され、また磁束リタ
ーン用磁性ヨーク２８の脚状突出部２８ａが媒体対向面
３０に露出しているため、記録・再生時の二層膜構造の
垂直磁気ディスクに対して極めて近接する位置関係とな
り、記録・再生効率が著しく向上する。

更に第２図（ａ）〜（ｄ）は本発明に係る垂直薄膜磁気
ヘッドの製造方法の他の実施例を示す要部断面図である
。

本実施例では先ず第２図（ａ）に示すように、例えば所
定のトラック幅で０．３μｍの膜厚のセンダスト（Ａ　
１２−５ｉ−Ｆｅ）等の軟磁性膜からなる主磁極２１を
従来と同様に、例えばＡｆ２０３・ＴｉＣ、或いはセラ
ミック等からなる２枚の非磁性基板間に挟んでガラス、
または硬化性樹脂等からなる接着材層２１ａにより接着
し、一体化した非磁性基板２２の上面に、ＳｉＯ□から
なる層間絶縁層２３を介して該主磁極２１を中心とした
Ｃｕめっき膜からなる薄膜コイル２４をマスクめっき法
により形成した後、その薄膜コイル２４の中心に主磁極
２１と直接接続する１０μｍの膜厚のＮｉ−Ｆｅ膜から
なる中心磁性ヨーク２５と、同しく薄膜コイル２４の外
周部にＮｉ−Ｆｅ膜からなるサイト磁性ヨーク３１をマ
スクめっき法等により形成する。

次に第２図（ｂ）に示すように前記薄膜コイル２４を含
む層間絶縁層２３、中心磁性ヨーク２５及びサイド磁性
ヨーク３１上に、１５μｍの膜厚のＡ　１２０３からな
る無機絶縁層３２をスパッタリング法により被着した後
、該無機絶縁層３２を前記中心磁性ヨーク２５及びサイ
ド磁性ヨーク３１が露出するように平坦研磨する。

次に第２図（Ｃ）に示すように該中心磁性ヨーク２５及
びサイド磁性ヨーク３１が露出した無機絶縁層３２上に
、Ｎｉ−Ｚｎ、　Ｍｎ−Ｚｎ等の磁性フェライトからな
る磁束す、ターン用磁性ヨーク３３を、ガラス、または
硬化性樹脂等の接着材３４により接着した後、前記非磁
性基板２２の下面を、図中のＢ−Ｂ’　　１点鎖線で示
す位置まで平坦に研磨して第２図（ｄ）に示すように薄
層化し、前記主磁極２１が露出する媒体対向面３５を形
成する。

かくすれば、該媒体対向面３５に露出する主磁極２１は
前記中心磁性ヨーク２５と直接接続され、また前記磁束
リターン用磁性ヨーク３３と磁気的に接続されたサイド
磁性ヨーク３１が媒体対向面３５に近接配置された構成
となるため、記録・再生時の二層膜構造の垂直磁気ディ
スクに対して前記磁束リターン用磁性ヨーク３３は近接
する位置関係となり、記録・再生効率が向上する。

〔発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明に係る垂直薄膜
磁気ヘッドの製造方法によれば、媒体対向面に露出する
主磁極が中心磁性ヨークと直接接続されると共に、その
主磁極からの磁束を対向する二層膜構造の垂直磁気ディ
スクの軟磁性層を通して再び主磁極へ還流させる磁束リ
ターン用磁性ヨークを媒体対向面に露出、或いは近接し
た状態に配置することが可能となり、記録・再生効率が
著しく向上する等、実用上優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｅ）は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッ
ドの製造方法の一実施例を示す要部断 面図、 第２図（ａ）〜（ｄ）は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッ
ドの製造方法の他の実施例を示す要部 断面図、 第３図（ａ）〜（ｄ）は従来の垂直薄膜磁気へノドの製
造方法の一例を示す要部断面図、 第４図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドの問題点を説明する
ための要部断面図である。 第１図（ａ）　〜（ｅ）及び第２図（ａ）　〜（ｄ）に
おいて、２１は主磁極、２２は非磁性基板、２３は層間
絶縁層、２４は薄膜コイル、２５は中心磁性ヨーク、２
６は無機絶縁層、２７は溝、２８゜３３は磁束リターン
用磁性ヨーク、２８ａ　は脚状突出部、３０．３５は媒
体対向面、３１はサイド磁性ヨーク、３２は無機絶縁層
をそれぞれ示す。 ンｆｆｉ’９ｆ４　ｎ’ＰＬ５Ｉ−１Ｊオに？（へＪ１
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檜Ｗ第２図 ３Ｗｔ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）軟磁性膜からなる主磁極（２１）を間に挟んで、
   かつ接着して一体化した２枚の非磁性基板（２２）の上
   面に、該主磁極（２１）を中心とした薄膜コイル（２４
   ）と、該薄膜コイル（２４）の中心に前記主磁極（２１
   ）と接続する中心磁性ヨーク（２５）とを形成する工程
   と、該薄膜コイル（２４）及び中心磁性ヨーク（２５）
   上に絶縁層（２６）を被着した後、該絶縁層（２６）を
   前記中心磁性ヨーク（２５）が露出するように平坦化す
   る工程と、 前記薄膜コイル（２４）の外周部の絶縁層（２６）部位
   に、直下の前記非磁性基板（２２）内部に通ずる溝（２
   ７）を形成した後、該絶縁層（２６）の上面に脚状突出
   部（２８ａ）を有する磁性フェライトからなる磁束リタ
   ーン用磁性ヨーク（２８）を、その脚状突出部（２８ａ
   ）を前記溝（２７）内に嵌入した状態で接着する工程と
   、前記非磁性基板（２２）の下面を、該磁束リターン用
   磁性ヨーク（２８）の脚状突出部（２８ａ）が露出する
   位置まで平坦研磨して媒体対向面（３０）を形成する工
   程とを含むことを特徴とする垂直薄膜磁気ヘッドの製造
   方法。
2. （２）軟磁性膜からなる主磁極（２１）を間に挟んで、
   かつ接着して一体化した２枚の非磁性基板（２２）の上
   面に、該主磁極（２１）を中心とした薄膜コイル（２４
   ）と、該薄膜コイル（２４）の中心部に前記主磁極（２
   １）と接続する磁性膜からなる中心磁性ヨーク（２５）
   と、外周部にサイド磁性ヨーク（３１）を形成する工程
   と、該薄膜コイル（２４）、中心磁性ヨーク（２５）及
   びサイド磁性ヨーク（３１）上に絶縁層（３２）を被着
   した後、該絶縁層（３２）を前記中心磁性ヨーク（２５
   ）及びサイド磁性ヨーク（３１）が露出するように平坦
   化する工程と、 該中心磁性ヨーク（２５）及びサイド磁性ヨーク（３１
   ）が露出する絶縁層（３２）上に磁性フェライトからな
   る磁束リターン用磁性ヨーク（３３）を接着した後、前
   記非磁性基板（２２）の下面を平坦研磨して薄層化し媒
   体対向面（３５）を形成する工程とを含むことを特徴と
   する垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法。