JPH0466402B2 - - Google Patents
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- JPH0466402B2 JPH0466402B2 JP61087642A JP8764286A JPH0466402B2 JP H0466402 B2 JPH0466402 B2 JP H0466402B2 JP 61087642 A JP61087642 A JP 61087642A JP 8764286 A JP8764286 A JP 8764286A JP H0466402 B2 JPH0466402 B2 JP H0466402B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- capacitance element
- variable capacitance
- piezoelectric vibrator
- oscillation circuit
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
- H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B2201/00—Aspects of oscillators relating to varying the frequency of the oscillations
- H03B2201/02—Varying the frequency of the oscillations by electronic means
- H03B2201/0208—Varying the frequency of the oscillations by electronic means the means being an element with a variable capacitance, e.g. capacitance diode
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/02—Details
- H03B5/04—Modifications of generator to compensate for variations in physical values, e.g. power supply, load, temperature
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半導体基板表面に絶縁膜に覆われ外
部から絶縁された浮遊電極に蓄積した電荷によつ
て容量を制御する半導体可変容量素子を用いた圧
電振動子発振用の電子回路に関する。
部から絶縁された浮遊電極に蓄積した電荷によつ
て容量を制御する半導体可変容量素子を用いた圧
電振動子発振用の電子回路に関する。
[発明の概要]
本発明は浮遊電極に蓄積した電荷によつて容量
を制御する半導体可変容量素子を用いた圧電振動
子発振用の電子回路において、前記半導体可変容
量素子の浮遊電極に蓄積した電荷量を変化させる
ことによつて、発振回路の周波数を可変できると
ともに、前記半導体可変容量素子のバイアス端子
に印加するバイアス電圧を変化させることによつ
ても発振回路の周波数を可変できるようにしたも
のである。また、前記バイアス端子に印加するバ
イアス電圧が発振回路の電源電圧の変化に相関し
て変化することによつて、発振回路の電源電圧を
変化することでも発振回路の周波数を可変できる
ようにしたものである。
を制御する半導体可変容量素子を用いた圧電振動
子発振用の電子回路において、前記半導体可変容
量素子の浮遊電極に蓄積した電荷量を変化させる
ことによつて、発振回路の周波数を可変できると
ともに、前記半導体可変容量素子のバイアス端子
に印加するバイアス電圧を変化させることによつ
ても発振回路の周波数を可変できるようにしたも
のである。また、前記バイアス端子に印加するバ
イアス電圧が発振回路の電源電圧の変化に相関し
て変化することによつて、発振回路の電源電圧を
変化することでも発振回路の周波数を可変できる
ようにしたものである。
[従来の技術]
従来から半導体可変容量素子は文献
(Proceedings vol.2 in 11th
INTERNATIONAL CONGRESS of
CHRONOMETRY,’84,edited by The
French Society of Microtechnology and
Chronometry,P.9、’84)で知られるものであ
る。
(Proceedings vol.2 in 11th
INTERNATIONAL CONGRESS of
CHRONOMETRY,’84,edited by The
French Society of Microtechnology and
Chronometry,P.9、’84)で知られるものであ
る。
第2図は前記半導体可変容量素子を用いた従来
のCMOS水晶発振回路を示す回路図である。イ
ンバータ21のソースドレイン間に帰還抵抗22
が接続され、ドレイン抵抗23を通じて水晶振動
子24もソースドレイン間に接続されている。さ
らに、前記水晶振動子24の両端にドレイン容量
25と発振周波数を調整する半導体可変容量素子
26が接続されている。また、電源電圧28は定
電圧回路または定電流回路27を通してインバー
タ21に供給され、水晶発振回路の消費電流を低
減させるとともに電源電圧の変動で周波数の変動
するのを防止している。周波数の調整は半導体可
変容量素子26の浮遊電極に蓄積する電荷で半導
体可変容量素子26の容量を変化させることでお
こなつている。半導体可変容量素子26の容量可
変は容易で発振周波数を正確に調整でき、かつ、
その信頼性も高い。
のCMOS水晶発振回路を示す回路図である。イ
ンバータ21のソースドレイン間に帰還抵抗22
が接続され、ドレイン抵抗23を通じて水晶振動
子24もソースドレイン間に接続されている。さ
らに、前記水晶振動子24の両端にドレイン容量
25と発振周波数を調整する半導体可変容量素子
26が接続されている。また、電源電圧28は定
電圧回路または定電流回路27を通してインバー
タ21に供給され、水晶発振回路の消費電流を低
減させるとともに電源電圧の変動で周波数の変動
するのを防止している。周波数の調整は半導体可
変容量素子26の浮遊電極に蓄積する電荷で半導
体可変容量素子26の容量を変化させることでお
こなつている。半導体可変容量素子26の容量可
変は容易で発振周波数を正確に調整でき、かつ、
その信頼性も高い。
[発明が解決しようとする問題点]
しかし、前記第2図に示した従来のCMOS水
晶発振回路では、周波数を調整のための半導体可
変容量素子26の容量可変には、10Vを越える高
電圧が必要であること、その電圧は正負両方の向
きが必要であることの他、一旦調整した周波数を
基準として相対的に周波数を変化させることは困
難という欠点があつた。すなわち、一旦調整した
周波数を変化させた後、以前の周波数にもどすこ
とは正確にはもどしにくいうえ手数がかかるとい
う問題点である。
晶発振回路では、周波数を調整のための半導体可
変容量素子26の容量可変には、10Vを越える高
電圧が必要であること、その電圧は正負両方の向
きが必要であることの他、一旦調整した周波数を
基準として相対的に周波数を変化させることは困
難という欠点があつた。すなわち、一旦調整した
周波数を変化させた後、以前の周波数にもどすこ
とは正確にはもどしにくいうえ手数がかかるとい
う問題点である。
[問題点解決のための手段]
上記問題点を解決するために、本発明は、半導
体可変容量素子の容量電極に一定のバイアス電圧
を印加するバイアス端子をもうけた半導体可変容
量素子を周波数調整用容量として用いることで前
記問題点を解決した。電源をオフしても記憶しな
ければならないような基準となる周波数の調整に
は半導体可変容量素子の浮遊電極に蓄積した電荷
量を変化することによつておこなう。また、周波
数を一時的に変化させるため、あるいは、相対的
に変化させるためには容量電極に印加するバイア
ス電圧を変化することによつておこなうものであ
る。この容量電極に印加するバイアス電圧は5V
以下の低電圧でよく、また、電圧の向きも正また
は負のどちらか一方で良いので、バイアス電圧は
発振回路の電源電圧から供給できる。(バイアス
電圧の向きは半導体可変容量素子の基板をP型に
するかN型にするかによつて決まる)。
体可変容量素子の容量電極に一定のバイアス電圧
を印加するバイアス端子をもうけた半導体可変容
量素子を周波数調整用容量として用いることで前
記問題点を解決した。電源をオフしても記憶しな
ければならないような基準となる周波数の調整に
は半導体可変容量素子の浮遊電極に蓄積した電荷
量を変化することによつておこなう。また、周波
数を一時的に変化させるため、あるいは、相対的
に変化させるためには容量電極に印加するバイア
ス電圧を変化することによつておこなうものであ
る。この容量電極に印加するバイアス電圧は5V
以下の低電圧でよく、また、電圧の向きも正また
は負のどちらか一方で良いので、バイアス電圧は
発振回路の電源電圧から供給できる。(バイアス
電圧の向きは半導体可変容量素子の基板をP型に
するかN型にするかによつて決まる)。
[作用]
このことによつて、基準となる周波数の調整は
従来同様に正確かつ高信頼性でおこなえ、この周
波数に影響をあたえずに、周波数を一時的に変化
させる、あるいは、相対的に変化させる周波数の
制御が通常のTTLレベルの電圧範囲内で極めて
容易にできるようになつた。
従来同様に正確かつ高信頼性でおこなえ、この周
波数に影響をあたえずに、周波数を一時的に変化
させる、あるいは、相対的に変化させる周波数の
制御が通常のTTLレベルの電圧範囲内で極めて
容易にできるようになつた。
[実施例]
以下、本発明の詳細を実施例を用いて説明す
る。
る。
第1図は本発明の第1の実施例の回路を示す回
路図である。CMOSインバータ1のソースドレ
イン間に帰還抵抗2が接続され、ドレイン抵抗3
を通じて水晶振動子4もソースドレイン間に接続
されている。さらに、前記水晶振動子4のドレイ
ン側の端子にドレイン容量5接続され、ソース側
の端子にDCカツト容量9を介して発振周波数を
調整する半導体可変容量素子6が接続されてい
る。また、インバータ1の電源8には定電圧回路
または定電流回路7が挿入され、水晶発振回路の
消費電流を低減させるとともに電源電圧の変動で
周波数の変動するのを防止している。半導体可変
容量素子6の容量電極にはRFカツト抵抗10が
接続され、さらに分割抵抗12,13を介して外
部からバイアス電圧を印加するバイアス端子14
を構成している。前記分割抵抗12,13はバイ
アス端子14に印加するバイアス電圧による半導
体可変容量素子6の容量変化の制御性をよくする
ためのもので原理的には無くてもよい。
路図である。CMOSインバータ1のソースドレ
イン間に帰還抵抗2が接続され、ドレイン抵抗3
を通じて水晶振動子4もソースドレイン間に接続
されている。さらに、前記水晶振動子4のドレイ
ン側の端子にドレイン容量5接続され、ソース側
の端子にDCカツト容量9を介して発振周波数を
調整する半導体可変容量素子6が接続されてい
る。また、インバータ1の電源8には定電圧回路
または定電流回路7が挿入され、水晶発振回路の
消費電流を低減させるとともに電源電圧の変動で
周波数の変動するのを防止している。半導体可変
容量素子6の容量電極にはRFカツト抵抗10が
接続され、さらに分割抵抗12,13を介して外
部からバイアス電圧を印加するバイアス端子14
を構成している。前記分割抵抗12,13はバイ
アス端子14に印加するバイアス電圧による半導
体可変容量素子6の容量変化の制御性をよくする
ためのもので原理的には無くてもよい。
周波数の調整は半導体可変容量素子6の容量を
変えることで行つている。
変えることで行つている。
半導体可変容量素子6の可変端子11は、半導
体可変容量素子6内の前記浮遊電極の蓄積電荷量
を制御するものである。可変端子11に正負いず
れかの高い電圧を加えると半導体可変容量素子6
内の浮遊電極との間の極薄い酸化膜にトンネル電
流が流れ、浮遊電極の蓄積電荷量を変化できる。
蓄積電荷で生じる浮遊電極の電位の変化により、
半導体可変容量素子6内の浮遊電極の下の半導体
基板表面の空乏層容量も変化する。浮遊電極は絶
縁性に優れた酸化膜で覆われているため、蓄積さ
れている電荷は、可変端子11に可変電圧パルス
を加えないかぎり経時変化しない。この結果、半
導体可変容量素子6は浮遊電極の蓄積電荷量によ
つて、基板と容量電極の間の静電容量を任意に可
変できる。
体可変容量素子6内の前記浮遊電極の蓄積電荷量
を制御するものである。可変端子11に正負いず
れかの高い電圧を加えると半導体可変容量素子6
内の浮遊電極との間の極薄い酸化膜にトンネル電
流が流れ、浮遊電極の蓄積電荷量を変化できる。
蓄積電荷で生じる浮遊電極の電位の変化により、
半導体可変容量素子6内の浮遊電極の下の半導体
基板表面の空乏層容量も変化する。浮遊電極は絶
縁性に優れた酸化膜で覆われているため、蓄積さ
れている電荷は、可変端子11に可変電圧パルス
を加えないかぎり経時変化しない。この結果、半
導体可変容量素子6は浮遊電極の蓄積電荷量によ
つて、基板と容量電極の間の静電容量を任意に可
変できる。
また、半導体可変容量素子6内の浮遊電極と容
量電極とは強く容量結合しており、浮遊電極の電
位は容量電極の電圧に大きく影響を受ける。半導
体可変容量素子6内の浮遊電極の電位によつて容
量値は変化するので、バイアス端子14のバイア
ス電圧を変化させても、半導体可変容量素子6の
容量値は可変できる。バイアス端子14の電圧を
変化すれば、半導体可変容量素子6の容量電極に
加わる電圧も変化し、容量電極の電圧にしたがつ
て半導体可変容量素子6内の浮遊電極の電位も変
化するので、容量値は可変できる。
量電極とは強く容量結合しており、浮遊電極の電
位は容量電極の電圧に大きく影響を受ける。半導
体可変容量素子6内の浮遊電極の電位によつて容
量値は変化するので、バイアス端子14のバイア
ス電圧を変化させても、半導体可変容量素子6の
容量値は可変できる。バイアス端子14の電圧を
変化すれば、半導体可変容量素子6の容量電極に
加わる電圧も変化し、容量電極の電圧にしたがつ
て半導体可変容量素子6内の浮遊電極の電位も変
化するので、容量値は可変できる。
したがつて、水晶発振回路の周波数はインバー
タ1のソースに接続された容量値で変化するの
で、第1の実施例の発振回路の周波数は可変端子
11に正負いずれかの可変電圧パルスを印加する
か、あるいは、バイアス端子14のバイアス電圧
を変化するかのどちらでも可変できる。
タ1のソースに接続された容量値で変化するの
で、第1の実施例の発振回路の周波数は可変端子
11に正負いずれかの可変電圧パルスを印加する
か、あるいは、バイアス端子14のバイアス電圧
を変化するかのどちらでも可変できる。
水晶発振回路の周波数の絶対値を調整する場合
には、バイアス端子14に一定のバイアス電圧を
印加しておき、半導体可変容量素子6の可変端子
11に正負いずれかの可変電圧パルスを印加する
方法を用いる。半導体可変容量素子6の可変端子
11に正負いずれかの可変電圧パルスを印加する
ことで半導体可変容量素子6内の浮遊電極に蓄積
される電荷量は極めて精度良く制御できる。ま
た、浮遊電極に一度蓄積された電荷は極めて安定
で10年以上の長期にわたつて変化しないし、ま
た、発振回路の電源をオフしても変化しない。
には、バイアス端子14に一定のバイアス電圧を
印加しておき、半導体可変容量素子6の可変端子
11に正負いずれかの可変電圧パルスを印加する
方法を用いる。半導体可変容量素子6の可変端子
11に正負いずれかの可変電圧パルスを印加する
ことで半導体可変容量素子6内の浮遊電極に蓄積
される電荷量は極めて精度良く制御できる。ま
た、浮遊電極に一度蓄積された電荷は極めて安定
で10年以上の長期にわたつて変化しないし、ま
た、発振回路の電源をオフしても変化しない。
一方、水晶発振回路の周波数を相対的にあるい
は一時的に調整する場合にはバイアス端子14に
印加するバイアス電圧を変化する方法を用いる。
バイアス端子14に印加するバイアス電圧は5V
以下の小さな電圧でよく水晶発振回路と同一IC
内に組み込めるDAコンバータ等で容易に発生で
きる。また、制御するのが電圧であるため、可変
が容易で基準となるバイアス電圧から一度変化さ
せた後また元の基準電圧にもどすことも簡単であ
る。たとえば、2つのバイアス電圧を用意してお
き、このバイアス電圧を電気的に切り換えること
で2種の発振周波数を簡単に得ることができ、ま
た、簡単に2つの周波数を切り換えられる。
は一時的に調整する場合にはバイアス端子14に
印加するバイアス電圧を変化する方法を用いる。
バイアス端子14に印加するバイアス電圧は5V
以下の小さな電圧でよく水晶発振回路と同一IC
内に組み込めるDAコンバータ等で容易に発生で
きる。また、制御するのが電圧であるため、可変
が容易で基準となるバイアス電圧から一度変化さ
せた後また元の基準電圧にもどすことも簡単であ
る。たとえば、2つのバイアス電圧を用意してお
き、このバイアス電圧を電気的に切り換えること
で2種の発振周波数を簡単に得ることができ、ま
た、簡単に2つの周波数を切り換えられる。
したがつて、水晶発振回路の周波数を相対的に
あるいは一時的に調整する場合にはバイアス端子
14に印加するバイアス電圧を変化する方法が適
している。
あるいは一時的に調整する場合にはバイアス端子
14に印加するバイアス電圧を変化する方法が適
している。
第3図は本発明の第2の実施例の回路を示す回
路図である。CMOSインバータ31のソースド
レイン間に帰還抵抗32が接続され、ドレイン抵
抗33を通じて水晶振動子34もソースドレイン
間に接続されている。さらに、前記水晶振動子3
4のドレイン側の端子にドレイン容量35接続さ
れ、ソース側の端子にDCカツト容量39を介し
て発振周波数を調整する半導体可変容量素子36
が接続されている。また、インバータ31の電源
には定電圧回路または定電流回路37が挿入さ
れ、水晶発振回路の消費電流を低減させている。
分割抵抗42,43を介してさらにRFカツト抵
抗40を通じて水晶発振回路の電源電圧38から
バイアス電圧を半導体可変容量素子36の容量電
極に印加している。
路図である。CMOSインバータ31のソースド
レイン間に帰還抵抗32が接続され、ドレイン抵
抗33を通じて水晶振動子34もソースドレイン
間に接続されている。さらに、前記水晶振動子3
4のドレイン側の端子にドレイン容量35接続さ
れ、ソース側の端子にDCカツト容量39を介し
て発振周波数を調整する半導体可変容量素子36
が接続されている。また、インバータ31の電源
には定電圧回路または定電流回路37が挿入さ
れ、水晶発振回路の消費電流を低減させている。
分割抵抗42,43を介してさらにRFカツト抵
抗40を通じて水晶発振回路の電源電圧38から
バイアス電圧を半導体可変容量素子36の容量電
極に印加している。
この第2の実施例では、水晶発振回路の周波数
の絶対値を調整する場合には、水晶発振回路の電
源電圧38を一定しておき、半導体可変容量素子
36の可変端子4て1に正負いずれかの可変電圧
パルスを印加する方法を用いて第1の実施例と同
様にできる。また、水晶発振回路の電源電圧を変
化させると分割抵抗42,43およびRFカツト
抵抗40を通じて半導体可変容量素子36の容量
電極に印加するバイアス電圧が変化し半導体可変
容量素子36の容量も変化する。水晶発振回路の
電源電圧38を変化することによつて、水晶発振
回路の周波数を相対的にあるいは一時的に可変で
きる。電源電圧の変化による周波数変化の感度
は、分割抵抗42,43の比を適当に選ぶことに
よつて調整できる。
の絶対値を調整する場合には、水晶発振回路の電
源電圧38を一定しておき、半導体可変容量素子
36の可変端子4て1に正負いずれかの可変電圧
パルスを印加する方法を用いて第1の実施例と同
様にできる。また、水晶発振回路の電源電圧を変
化させると分割抵抗42,43およびRFカツト
抵抗40を通じて半導体可変容量素子36の容量
電極に印加するバイアス電圧が変化し半導体可変
容量素子36の容量も変化する。水晶発振回路の
電源電圧38を変化することによつて、水晶発振
回路の周波数を相対的にあるいは一時的に可変で
きる。電源電圧の変化による周波数変化の感度
は、分割抵抗42,43の比を適当に選ぶことに
よつて調整できる。
第2の実施例の発振回路にCMOSを用いれば、
その消費電流は極めて少なく、電流出力容量の小
さいDAコンバータのアナログ出力を発振回路の
電源電圧38に接続することが可能である。
その消費電流は極めて少なく、電流出力容量の小
さいDAコンバータのアナログ出力を発振回路の
電源電圧38に接続することが可能である。
本発明を応用すれば、半導体可変容量素子6の
可変端子11を使い常温で周波数を調整し、バイ
アス端子14を使つて水晶振動子の温度特性によ
る周波数の補正を行うことも容易にできる。
可変端子11を使い常温で周波数を調整し、バイ
アス端子14を使つて水晶振動子の温度特性によ
る周波数の補正を行うことも容易にできる。
[発明の効果]
以上の説明で明らかなように、本発明は、圧電
振動子を用いる発振回路の周波数調整用の半導体
可変容量素子に外部からその容量電極にバイアス
電圧を印加できるバイアス端子をもうけたことに
より、半導体可変容量素子の浮遊電極に蓄積する
電荷量によるばかりでなく、バイアス電圧でも周
波数を可変できるようにしたものである。このこ
とによつて、基準となる周波数の絶対値の調整は
従来同様に正確かつ高信頼性でおこなえ、この周
波数に影響をあたえずに、周波数を一時的に変化
させる、あるいは、相対的に変化させる周波数の
制御が通常のTTLレベルの範囲内の電圧で極め
て容易にできるようになつた。
振動子を用いる発振回路の周波数調整用の半導体
可変容量素子に外部からその容量電極にバイアス
電圧を印加できるバイアス端子をもうけたことに
より、半導体可変容量素子の浮遊電極に蓄積する
電荷量によるばかりでなく、バイアス電圧でも周
波数を可変できるようにしたものである。このこ
とによつて、基準となる周波数の絶対値の調整は
従来同様に正確かつ高信頼性でおこなえ、この周
波数に影響をあたえずに、周波数を一時的に変化
させる、あるいは、相対的に変化させる周波数の
制御が通常のTTLレベルの範囲内の電圧で極め
て容易にできるようになつた。
第1図は、本発明の第1の実施例の回路図で、
第2図は従来の水晶発振回路の回路図で、第3図
は本発明の第2の実施例の回路図である。 1,21,31……インバータ、2,22,3
2……帰還抵抗、4,24,34……水晶振動
子、6,26,36……半導体可変容量素子、
9,39……DCカツト容量、10,40……RF
カツト抵抗、14……バイアス端子、11,41
……可変端子。
第2図は従来の水晶発振回路の回路図で、第3図
は本発明の第2の実施例の回路図である。 1,21,31……インバータ、2,22,3
2……帰還抵抗、4,24,34……水晶振動
子、6,26,36……半導体可変容量素子、
9,39……DCカツト容量、10,40……RF
カツト抵抗、14……バイアス端子、11,41
……可変端子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 圧電振動子と、前記圧電振動子の発振周波数
を制御するための前記圧電振動子に接続された半
導体可変容量素子とからなり、前記半導体可変容
量素子は半導体基板と前記半導体基板上に配置さ
れ外部と絶縁されている浮遊電極と前記浮遊電極
の蓄積電荷量を制御するための可変端子と容量電
極とからなつている圧電振動子発振回路におい
て、 前記容量電極にバイアス電圧を印加し圧電振動
子の発振周波数を制御するためのバイアス電圧印
加手段を設けたことを特徴とする圧電振動子発振
回路。 2 前記半導体可変容量素子のバイアス電圧が前
記電子回路の電源電圧によつて制御されることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の圧電振動
子発振回路。 3 前記圧電振動子発振回路の特定温度での周波
数を前記半導体可変容量素子の浮遊電極に蓄積し
た電荷によつて調整し、前記圧電振動子の温度特
性による周波数変化を前記バイアス電圧で補正す
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項または
第2項記載の圧電振動子発振回路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61087642A JPS62243405A (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 | 圧電振動子発振回路 |
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| JP61087642A JPS62243405A (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 | 圧電振動子発振回路 |
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