JPH0466680A - 金属板のエッチング方法 - Google Patents
金属板のエッチング方法Info
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- JPH0466680A JPH0466680A JP2176782A JP17678290A JPH0466680A JP H0466680 A JPH0466680 A JP H0466680A JP 2176782 A JP2176782 A JP 2176782A JP 17678290 A JP17678290 A JP 17678290A JP H0466680 A JPH0466680 A JP H0466680A
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- metal plate
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、金属板のエツチング方法に関するものである
。
。
液晶ディスブー用カラーフィルターは、凹版オフセット
印刷等の印刷手法によって現在盛んに製造されている。 この様にフィルターを印刷手法によって製造するために
は、微細なストライプ状の画線溝を多数繰り返し形成し
た印刷版が必要であり、現在この画線溝は主にエツチン
グ手法によって刻設されている。
印刷等の印刷手法によって現在盛んに製造されている。 この様にフィルターを印刷手法によって製造するために
は、微細なストライプ状の画線溝を多数繰り返し形成し
た印刷版が必要であり、現在この画線溝は主にエツチン
グ手法によって刻設されている。
金属板１の表面にレジスト２を所望のパターン状に残存
形成させ、例えば窓状露出部１１をエツチングして画線
溝１２を形成する際には、金属板１はエツチング液との
接触面に垂直にエツチングされるため、板厚方向のエツ
チングと共に幅方向にもエツチングが同時進行するので
、レジスト２によって被覆されている下側にもエツチン
グが及ぶ。したがって、エツチングの進行と共に画線溝
１２は幅が広がり、またこのために両サイド程浅く形成
される。この様な形状の画線溝からは、精度の高い画線
を印刷形成することは・困難であり、また幅方向にはイ
ンキむらが生じて濃淡のあるカラーフィルターしか製造
することが出来ないと云う問題点があった。このため、
可能な限り幅の増加が少なく、深さも出来る限り均一な
画線溝を刻設することが出来るエツチング方法の開発が
強く望まれて、いた。
形成させ、例えば窓状露出部１１をエツチングして画線
溝１２を形成する際には、金属板１はエツチング液との
接触面に垂直にエツチングされるため、板厚方向のエツ
チングと共に幅方向にもエツチングが同時進行するので
、レジスト２によって被覆されている下側にもエツチン
グが及ぶ。したがって、エツチングの進行と共に画線溝
１２は幅が広がり、またこのために両サイド程浅く形成
される。この様な形状の画線溝からは、精度の高い画線
を印刷形成することは・困難であり、また幅方向にはイ
ンキむらが生じて濃淡のあるカラーフィルターしか製造
することが出来ないと云う問題点があった。このため、
可能な限り幅の増加が少なく、深さも出来る限り均一な
画線溝を刻設することが出来るエツチング方法の開発が
強く望まれて、いた。
本発明は上記した従来技術の課題を解決するためになさ
れたもので、レジストがパターン状に残存形成された金
属板表面に、４７’Ｂｅ’を越える濃度の塩化第二鉄液
を６０℃を越える温度で１５ｃ＋ｓより短い距離から２
Ｋｇｆ／ｃｍ２を越える圧力でスプレー噴射すること
を特徴とする金属板のエツチング方法を提供するもので
ある。
れたもので、レジストがパターン状に残存形成された金
属板表面に、４７’Ｂｅ’を越える濃度の塩化第二鉄液
を６０℃を越える温度で１５ｃ＋ｓより短い距離から２
Ｋｇｆ／ｃｍ２を越える圧力でスプレー噴射すること
を特徴とする金属板のエツチング方法を提供するもので
ある。
本発明のエツチング方法は、従来のエツチング法に比べ
てエツチング液を高濃度、高温にして近距離から高圧で
吹き付けるため、エツチングが幅方向よりも板厚方向に
大きく進行する。このため、画線溝は幅方向にはそれ径
拡大せず、板厚方向に深く形成される。
てエツチング液を高濃度、高温にして近距離から高圧で
吹き付けるため、エツチングが幅方向よりも板厚方向に
大きく進行する。このため、画線溝は幅方向にはそれ径
拡大せず、板厚方向に深く形成される。
つぎに、本発明を比較例との関連で詳細に説明する。
金属板１として板厚が１００Ｂのステンレス鋼販を用い
、この片面に適宜のレジスト（例えばカゼイン）２を１
０ｇＭの厚さで均一に塗膜し、従来周知のホトリソグラ
フィの手法によってマスクａ光させ、例えば露光部を４
０１１１１幅に除去して金属板１の中央部に窓状露出部
１１を形成した。 前記窓状露出部１１を上に向けて金属板１を水平に設置
し、上方からエツチング液の塩化第二鉄液３を表−１に
示した条件でスプレー噴射し、金属板１の窓状露出部１
１に対応して刻設された深さ５０ｇ−の画線溝１２の形
状を比較した。 表−１ エツチング状況の優劣は、画線溝の深さ、幅等を単独で
比較するのではなく、第４図に示す様に窓状露出部１１
の幅をＷＩＮ実際に刻設された画線溝１２の深さを０１
幅をＷ２としたとき、次式によって定義されるエッチフ
ァクターＥ、Ｆを求め、この値をパラメーターとして比
較した。なお、このエッチファクターＥ、Ｆは定義から
分かる様に値が大きい程、加工精度の観点から好ましい
。 Ｗ２ Ｗｔ Ｒ 比較結果を示す第１図から明らかな様に、本発明の実験
番号１５と１６は、他の実験番号のエッチファクターＥ
、Ｆより高い。したがって、幅方向より、深さ方向にエ
ツチングが効果的に進行したことが分かる。これは、実
験番号１６によって刻設された画線溝１２の断面形状（
第２ａ図）と、実験番号１により得られた画線溝１２の
断面形状（第２ｂ図）の比較からも明らかである。この
様に、本発明のエツチング方法によれば、従来と同−深
さの画線溝１２を形成する際にも、溝幅の増加が少ない
ので、予め適宜の幅に窓状露出部１１を形成しておくと
、この幅から大きく拡がることがないため、溝幅の精度
を高めることが出来る。そして、画線溝１２の両サイド
も従前の技術と比較すると、浅くなる程度が大幅に解消
されているので、カラーフィルター等の印刷形成に用い
た場合に、幅精度が高り、シかも幅方向に濃淡の安定し
た画線が容易に形成される。 なお、本発明は上記実施例に限定されるものではないの
で、金属板１としては銅板のほかにも黄銅、ニッケル、
鉄／ニッケル合金、５ＵＳ−３０４等のステンレス鋼、
キュープロニッケル等であって良いし、レジスト２につ
いても所望の精度でエツチングすべき部分のみを露出す
ることが出来るものであれば、材質等は問うものではな
いし、露出させる形状、大きさ、個数等についても限定
されるものではない。また、塩化第二鉄液を吹き付ける
方法についても、金属板１の露出表面に−様な圧力で吹
き付けることの出来る方法であれば何れの方法であって
も構わない。
、この片面に適宜のレジスト（例えばカゼイン）２を１
０ｇＭの厚さで均一に塗膜し、従来周知のホトリソグラ
フィの手法によってマスクａ光させ、例えば露光部を４
０１１１１幅に除去して金属板１の中央部に窓状露出部
１１を形成した。 前記窓状露出部１１を上に向けて金属板１を水平に設置
し、上方からエツチング液の塩化第二鉄液３を表−１に
示した条件でスプレー噴射し、金属板１の窓状露出部１
１に対応して刻設された深さ５０ｇ−の画線溝１２の形
状を比較した。 表−１ エツチング状況の優劣は、画線溝の深さ、幅等を単独で
比較するのではなく、第４図に示す様に窓状露出部１１
の幅をＷＩＮ実際に刻設された画線溝１２の深さを０１
幅をＷ２としたとき、次式によって定義されるエッチフ
ァクターＥ、Ｆを求め、この値をパラメーターとして比
較した。なお、このエッチファクターＥ、Ｆは定義から
分かる様に値が大きい程、加工精度の観点から好ましい
。 Ｗ２ Ｗｔ Ｒ 比較結果を示す第１図から明らかな様に、本発明の実験
番号１５と１６は、他の実験番号のエッチファクターＥ
、Ｆより高い。したがって、幅方向より、深さ方向にエ
ツチングが効果的に進行したことが分かる。これは、実
験番号１６によって刻設された画線溝１２の断面形状（
第２ａ図）と、実験番号１により得られた画線溝１２の
断面形状（第２ｂ図）の比較からも明らかである。この
様に、本発明のエツチング方法によれば、従来と同−深
さの画線溝１２を形成する際にも、溝幅の増加が少ない
ので、予め適宜の幅に窓状露出部１１を形成しておくと
、この幅から大きく拡がることがないため、溝幅の精度
を高めることが出来る。そして、画線溝１２の両サイド
も従前の技術と比較すると、浅くなる程度が大幅に解消
されているので、カラーフィルター等の印刷形成に用い
た場合に、幅精度が高り、シかも幅方向に濃淡の安定し
た画線が容易に形成される。 なお、本発明は上記実施例に限定されるものではないの
で、金属板１としては銅板のほかにも黄銅、ニッケル、
鉄／ニッケル合金、５ＵＳ−３０４等のステンレス鋼、
キュープロニッケル等であって良いし、レジスト２につ
いても所望の精度でエツチングすべき部分のみを露出す
ることが出来るものであれば、材質等は問うものではな
いし、露出させる形状、大きさ、個数等についても限定
されるものではない。また、塩化第二鉄液を吹き付ける
方法についても、金属板１の露出表面に−様な圧力で吹
き付けることの出来る方法であれば何れの方法であって
も構わない。
以上説明した様に従来のエツチング法に比べてエツチン
グ液を高濃度、高温にして近距離から高圧で吹き付ける
本発明の金属板のエツチング方法は、エツチングが幅方
向よりも板厚方向に大きく進行するので、画線溝は幅方
向にはそれ程拡大せず、板厚方向に深く形成される。し
たがって、両サイドが殆ど浅くなっていない形状の画線
溝が高い精度で刻設されるため、液晶ディスブー用カラ
ーフィルター等の印刷版を製造する上で極めて有効なエ
ツチング方法である。
グ液を高濃度、高温にして近距離から高圧で吹き付ける
本発明の金属板のエツチング方法は、エツチングが幅方
向よりも板厚方向に大きく進行するので、画線溝は幅方
向にはそれ程拡大せず、板厚方向に深く形成される。し
たがって、両サイドが殆ど浅くなっていない形状の画線
溝が高い精度で刻設されるため、液晶ディスブー用カラ
ーフィルター等の印刷版を製造する上で極めて有効なエ
ツチング方法である。
第１図は本発明の実施例と比較例の実験結果を示す説明
図、第２ａ図と第２ｂ図は各々実験番号１６と１による
画線溝の断面形状を示す図、第３図はエツチング要領を
示す説明図、第４図は形杖測定例を示す説明図である。 １・・・金属板 １１・・・窓状露出部 １２・・・画線溝 ２・・・レジスト ３・・・塩化第二鉄液
図、第２ａ図と第２ｂ図は各々実験番号１６と１による
画線溝の断面形状を示す図、第３図はエツチング要領を
示す説明図、第４図は形杖測定例を示す説明図である。 １・・・金属板 １１・・・窓状露出部 １２・・・画線溝 ２・・・レジスト ３・・・塩化第二鉄液
Claims (1)
- レジストがパターン状に残存形成された金属板表面に
、４７’Ｂｅ’を越える濃度の塩化第二鉄液を６０℃を
越える温度で１５ｃｍより短い距離から２Ｋｇｆ／ｃｍ
＾２を越える圧力でスプレー噴射することを特徴とする
金属板のエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17678290A JP2943259B2 (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 金属板のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17678290A JP2943259B2 (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 金属板のエッチング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0466680A true JPH0466680A (ja) | 1992-03-03 |
| JP2943259B2 JP2943259B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=16019750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17678290A Expired - Lifetime JP2943259B2 (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 金属板のエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2943259B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356793A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | 電鋳メタルとその製造方法 |
-
1990
- 1990-07-04 JP JP17678290A patent/JP2943259B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356793A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | 電鋳メタルとその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2943259B2 (ja) | 1999-08-30 |
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