JPH0466919A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法Info
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- JPH0466919A JPH0466919A JP2177100A JP17710090A JPH0466919A JP H0466919 A JPH0466919 A JP H0466919A JP 2177100 A JP2177100 A JP 2177100A JP 17710090 A JP17710090 A JP 17710090A JP H0466919 A JPH0466919 A JP H0466919A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、詳しくはス
イッチング用非線形抵抗素子を用いたアクティブマトリ
ックス型液晶表示装置の製造方法に関する。
イッチング用非線形抵抗素子を用いたアクティブマトリ
ックス型液晶表示装置の製造方法に関する。
アクティブマトリックス型液晶表示装置におけるスイッ
チング用非線形抵抗２端子素子であるＭＩＭは、それぞ
れの電極にはさまれた絶縁層重が高電界で電流を流す性
質を利用している。非線形な電流−電圧特性のメカニズ
ムは５ｈｏｔｔｋｙやＰ４Ｏ１０−Ｆｒｅｕｋｅｌ
機構等によって説明されているが、そのメカニイムは不
明な点も多い。
チング用非線形抵抗２端子素子であるＭＩＭは、それぞ
れの電極にはさまれた絶縁層重が高電界で電流を流す性
質を利用している。非線形な電流−電圧特性のメカニズ
ムは５ｈｏｔｔｋｙやＰ４Ｏ１０−Ｆｒｅｕｋｅｌ
機構等によって説明されているが、そのメカニイムは不
明な点も多い。
これらの素子の製造は下記の通りに形成される。まずガ
ラス基板上にエツチングストッパー用として、−船釣に
はＴａの酸化物が形成される。これは、必要に応じて形
成されるものであるが、特にＴａのエツチングガスでお
かされ難い透明な酸化物、あるいは窒化物が選ばれる。
ラス基板上にエツチングストッパー用として、−船釣に
はＴａの酸化物が形成される。これは、必要に応じて形
成されるものであるが、特にＴａのエツチングガスでお
かされ難い透明な酸化物、あるいは窒化物が選ばれる。
次に下部電極として、Ｔａが周知のスパッタリングで形
成し、フォトリン・エツチングで所定の寸法に形成する
Ｔａのエツチングは、−船釣には、ＯＦ。
成し、フォトリン・エツチングで所定の寸法に形成する
Ｔａのエツチングは、−船釣には、ＯＦ。
ＣＦ４＋Ｏｚ等のエツチングガスを用いたドライエツチ
ング法が用いられる。しかる後に、Ｔａを陽極酸化して
、Ｔａの酸化膜を絶縁層として作成する。陽極酸化は一
般的には１％クエン酸溶液を用いる。この’ｒａ酸化膜
は、熱酸化あるいはＯ。
ング法が用いられる。しかる後に、Ｔａを陽極酸化して
、Ｔａの酸化膜を絶縁層として作成する。陽極酸化は一
般的には１％クエン酸溶液を用いる。この’ｒａ酸化膜
は、熱酸化あるいはＯ。
ガスによるプラズマ酸化でも得ることが出来る。
次いで上部電極としてその上にＣｒをスパッタリングで
形成する。Ｃｒも所定の寸法にフォトリソ・エツチング
を用い形成される。さらに画素電極が形成される。画素
電極は、工Ｔｏ（インジーラム・スズオキサイド）をパ
ターニングして作られる。これらの素子基板を用い液晶
パネルに組み立てられる。
形成する。Ｃｒも所定の寸法にフォトリソ・エツチング
を用い形成される。さらに画素電極が形成される。画素
電極は、工Ｔｏ（インジーラム・スズオキサイド）をパ
ターニングして作られる。これらの素子基板を用い液晶
パネルに組み立てられる。
しかし、前述の従来技術では以下の様な問題点を有する
。
。
下部電極は、抵抗の問題から厚みが約６０００１であり
、陽極酸化層も含めて約５２００Ｘの厚みになっている
。また、Ｔａのエツチングされた端面ば、急しぬんな形
状になりており、上部電極であるＣｒは、スパッタリン
グで形成しても充分なステップカバレッジを得ることが
難しく、シばしば、Ｃｒの断線が生じてしまうという問
題を有していた。
、陽極酸化層も含めて約５２００Ｘの厚みになっている
。また、Ｔａのエツチングされた端面ば、急しぬんな形
状になりており、上部電極であるＣｒは、スパッタリン
グで形成しても充分なステップカバレッジを得ることが
難しく、シばしば、Ｃｒの断線が生じてしまうという問
題を有していた。
複数の行電極と対向基板上、にこれに交差して配置され
た複数の列電極を備え、これら両電極の交差部に、マト
リックス状に形成された画素部にスイッチング用非線形
抵抗素子と液晶を電気的に直列に接続して配置したアク
ティブマトリックス型液晶表示装置において、前記スイ
ッチング素子がＴａの下部電極であり、絶縁膜がＴａの
酸化膜あるいは酸窒化膜であり、上部電極としてｃｒで
構成されたＭＩＭ構造（メタル・インシュレーター・メ
タル）を有しており、上部電極のＣｒが所定の寸法にフ
ォトリソグラフィを用いてエツチングされた後、さらに
Ｃｒを電気メッキして作成した〔実施例〕 フーニング社製７０５９Ｂａホウケイ酸ガラスを８０℃
の熱硫酸で洗浄した。この基板を用いスパッタリング装
置で、ガラス保護膜としてＴａ膜を５００Ｘ形成した。
た複数の列電極を備え、これら両電極の交差部に、マト
リックス状に形成された画素部にスイッチング用非線形
抵抗素子と液晶を電気的に直列に接続して配置したアク
ティブマトリックス型液晶表示装置において、前記スイ
ッチング素子がＴａの下部電極であり、絶縁膜がＴａの
酸化膜あるいは酸窒化膜であり、上部電極としてｃｒで
構成されたＭＩＭ構造（メタル・インシュレーター・メ
タル）を有しており、上部電極のＣｒが所定の寸法にフ
ォトリソグラフィを用いてエツチングされた後、さらに
Ｃｒを電気メッキして作成した〔実施例〕 フーニング社製７０５９Ｂａホウケイ酸ガラスを８０℃
の熱硫酸で洗浄した。この基板を用いスパッタリング装
置で、ガラス保護膜としてＴａ膜を５００Ｘ形成した。
しかる後に、酸化雰囲気中で４５０℃の熱酸化を行い、
Ｔａ２０５を形成した。これはスイッチング素子の特性
には直接彰響するものではな（、ガラスの保護として作
成したものであり、その必要が少なげれば、必ずしも形
成する必要はない。
Ｔａ２０５を形成した。これはスイッチング素子の特性
には直接彰響するものではな（、ガラスの保護として作
成したものであり、その必要が少なげれば、必ずしも形
成する必要はない。
次に、下部電極用としてＴａ膜をスパッタリングで約５
０００′に形成した。Ｔａを所定の寸法にフォトリソグ
ラフィ・エツチング技術を使いバターニングした。エツ
チングは、（！？、６０％＋０２４０％ガスを用いドラ
イエツチング法にて行なつた。
０００′に形成した。Ｔａを所定の寸法にフォトリソグ
ラフィ・エツチング技術を使いバターニングした。エツ
チングは、（！？、６０％＋０２４０％ガスを用いドラ
イエツチング法にて行なつた。
次に１％クエン酸を用い陽極酸化法にて酸化膜を形成し
た。酸化膜の厚みは約５ｏｏＸである。
た。酸化膜の厚みは約５ｏｏＸである。
次にＣｒをスパッタリングした。厚みは１５０ｏＸとし
た。周知のフォトリソグラフィを用い、６？［ｉニセリ
ウムアンモニウム溶液で湿式エツチングした。
た。周知のフォトリソグラフィを用い、６？［ｉニセリ
ウムアンモニウム溶液で湿式エツチングした。
この時、Ｃｒの断線は１５３６００パターン中約１２ケ
生じていた。これは、ガラス基板１０枚の平均Ｃｒ断線
数である。各々のａｒ断線数は表１に示す。
生じていた。これは、ガラス基板１０枚の平均Ｃｒ断線
数である。各々のａｒ断線数は表１に示す。
表Ｉ Ｃｒの断線数（Ｃｒエツチング上り）パネル
のＣｒ断線は８ケ以下まで許容されているため、パネル
の歩留りとしては７０％である。
のＣｒ断線は８ケ以下まで許容されているため、パネル
の歩留りとしては７０％である。
次にフォトレジストを剥Ｍ後、下部電極のＴａを陰極と
して用い、サージェント浴にてＣｒメッキを実施した。
して用い、サージェント浴にてＣｒメッキを実施した。
サージェント浴組成は無水クロム酸２００９／ｌ、硫酸
２１／ｌである。液温５５℃に保った浴に電流密度５０
Ａ／ｄｊとしメッキを実施した。電極は鉛板とした。メ
ッキ時間は１０分間とした。
２１／ｌである。液温５５℃に保った浴に電流密度５０
Ａ／ｄｊとしメッキを実施した。電極は鉛板とした。メ
ッキ時間は１０分間とした。
しかる後にＣｒの断線を調査した。その結果を表２に示
す。
す。
表２ Ｃｒの断線数（Ｃｒの電解メッキ後）なってい
た。
た。
以上述べた通り、本発明によれば、Ｃｒの断線が激減し
たことが分る。したがって、Ｃｒの断線による素子の欠
陥がな（なることから、パネルに組み立てた時の画素欠
陥をなくすことが出来、パネルの歩留りを向上すること
が出来た。
たことが分る。したがって、Ｃｒの断線による素子の欠
陥がな（なることから、パネルに組み立てた時の画素欠
陥をなくすことが出来、パネルの歩留りを向上すること
が出来た。
以上
表２からも明らかな様にＣａｒの平均断線数は０７ケと
激減した。また、パネルの歩留りは１００％となった。
激減した。また、パネルの歩留りは１００％となった。
Ｃｒの析出状況を見ると、Ｃｒの断線部からメッキが成
長しており、その密着性は強固なものと出願人 セイコ
ーエプソン株式会社
長しており、その密着性は強固なものと出願人 セイコ
ーエプソン株式会社
Claims (1)
- 複数の行電極と対向基板上にこれに交差して配置された
複数の列電極を備え、これら両電極の交差部に、マトリ
ックス状に形成された画素部にスイッチング用非線形抵
抗素子と液晶を電気的に直列に接続して配置したアクテ
ィブマトリックス型液晶表示装置において、前記スイッ
チング素子がＴａの下部電極であり、絶縁膜がＴａの酸
化膜あるいは酸窒化膜であり、上部電極としてＣｒで構
成されたＭＩＭ構造（メタル・インシュレータ・メタル
）を有しており、上部電極のＣｒが所定の寸法にフォト
リソグラフィを用いてエッチングされた後、さらにＣｒ
を電解メッキして作成したことを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2177100A JPH0466919A (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 液晶表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2177100A JPH0466919A (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 液晶表示装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0466919A true JPH0466919A (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=16025145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2177100A Pending JPH0466919A (ja) | 1990-07-04 | 1990-07-04 | 液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0466919A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005258382A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-09-22 | Hitachi Ltd | スクリーン及びそれに用いられるフレネルレンズシート、並びにそれを用いた画像表示装置 |
| JP2009136213A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Doggy Man H A Co Ltd | ペット用のリード収納装置 |
-
1990
- 1990-07-04 JP JP2177100A patent/JPH0466919A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005258382A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-09-22 | Hitachi Ltd | スクリーン及びそれに用いられるフレネルレンズシート、並びにそれを用いた画像表示装置 |
| JP2009136213A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Doggy Man H A Co Ltd | ペット用のリード収納装置 |
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