JPH0467409A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ヘッドの製造方法に関し、詳しくは、ＨＤ
Ｄ　（ハードディスクドライブ）装置に使用される磁気
ヘッドの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

コンピュータシステムの外部記憶装置として使用される
ＨＤＤ　（ハードディスクドライブ）装置では、ディス
ク状の磁気記録媒体が３０００〜３６００ｒｐｍの高速
で回転するため、磁気ヘッドを磁気記録媒体から０．３
μ−程度わずかに浮上させた状態で情報の記録・再生を
行うようになっている。

上記ＨＤＤ装置で使用される磁気ヘッドの製造方法の従
来例を第５図乃至′ＰＪＩ　Ｑ図を参照しながら説明す
る。

まず、第５図に示すように耐摩耗性を有する硬いアルミ
ナチタンカーバイドなどのセラミックを含む非磁性体か
らなる一対のスライダブロック（１）　　（２）を用意
する。そして、第６図に示すように一方のスライダブロ
ック（１）の接合面（１ａ）の全面に、センダストなど
の金属磁性膜（３）をスパッタリング等により所定の膜
厚で被着させて第１コア（４）を形成する。ここで、上
記金属磁性膜（３）の膜厚、即ち第１コア（４）のコア
厚みが後述の磁気ギャップのトラック幅となる。次に、
第７図に示すように一対のスライダブロック（１）（２
）をその接合面同士を衝合させてガラス溶着等により接
着一体化して第１コアブロック　（５）を得る。この第
１コアブロック（５）と同様にして製作され、第２コア
（６）をその両側から一対のスライダ（７）（８）で挟
み込んだ略Ｃ字形状の第２コアプロフク（９）を用意す
る。この第２コアブロック（９）の中央部には凹溝（１
０）を利用して線材が所定ターン数巻回されてコイル（
１１）が形成される。最後に、第８図に示すように上記
第２コアブロック（９）を、ギャップスペーサとなる５
ｉ０２等の非磁性体薄膜（図示せず）を介して第１コア
ブロック（５）の端面（５ａ）にガラス溶着などにより
第１、第２コア（４）（６）の位置合わせ状態で接着一
体化する。

以上のようにして製造された磁気ヘッドは、第９図に示
すように第１コアブロック（５）の下面（５ｂ）が磁気
記録媒体（１２）に対して浮上状態で対向する面であり
、第２コアブロック（９）側を後方として図中矢印方向
から上記磁気記録媒体（工２）が走行し、第１コア（４
）と第２コア（６）との間に形成された磁気ギャップｇ
にて情報の記録・再生が行われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前述した従来の磁気ヘッドの製造方法では、
第１コアブロック（５）の第１コア（４）を一方のスラ
イダブロック（１）の接合面（１ａ）の全面に亘って金
属磁性ＩＩＩ！　（３）を被着することにより形成して
いる。このように上記第１コア（４）がスライダブロッ
ク（１）の全面にあると、その後方の磁気ギャップｇで
情報の記録・再生を行う際にロスが大きくなって磁気ヘ
ッド特性が低下する。

そこで、上記第１コア（４）をスライダブロック（１）
の全面（１ａ）に形成せず、第１０図に示すように上記
スライダブロック（１）の後方、即ち第２コアブロック
（９）側の一部のみに第１コア（４゛）を形成する手段
が考えられる。しかしながら、このスライダブロック（
１）ともう一方のスライダブロック（２）とをその接合
面同士を衝合させて接着一体化した場合、第１コア（４
”）の厚みにより生じる段差で、その第１コアブロック
（５）の磁気記録媒体（１２）と対向する下面（５ｂ）
に空隙が形成されてしまう。一方、ＨＤＤ装置に使用さ
れる磁気ヘッドと磁気記録媒体は、媒体回転中は浮上し
て接触していないが媒体が停止した場合は両者は接触す
る。したがって通常の使用ではこの接触、浮上がくり返
される。そのため上述した空隙周縁のエツジ部分が磁気
記録媒体（１２）に傷をつける虞があった。

そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案されたもので
、その目的とするところは第１コアをスライダブロック
の接合面の一部に形成でき、而も、一対のスライダブロ
ックを接合一体化しても空隙が形成されることのない磁
気ヘッドの製造方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明における上記目的を達成するための技術的手段は
、非磁性体からなる一方のスライダブロックの接合面の
第１コア形成予定部位を除く部位にレジスト膜を被着形
成する工程と、 上記スライダブロックの第１コア形成予定部位をエツチ
ング処理し、その第１コア形成予定部位にコア厚み分の
深さを有する凹みを形成する工程と、上記スライダブロ
ックのレジスト膜及び凹みの全面に金属磁性膜をコア厚
み分の膜厚で被着形成して上記凹みに第１コアを埋設し
た後、レジスト膜を剥離させてその上の不所望な金属磁
性膜を除去する工程と、上記第１コアを形成した一方の
スライダブロックに他方のスライダブロックをその接合
面同士を衝合して接合一体化する工程と、一対のスライ
ダブロックが一体化された略直方体形状の第１コアブロ
ックの第１コアの一部が露呈する端面に、第２コアをそ
の両側から一対のスライダで挟み込んだ略Ｃ字形状の第
２コアブロックを、ギヤ、ブスペーサとなる非磁性体ｉ
Ｉｌ！を介して第１、第２コアの位置合わせ状態で接著
一体化する工程とを含むことである。

〔作用〕

本発明方法では、一方のスライダプロ・ツクの接合面の
第１コア形成予定部位に凹みを予め形成し、この凹みに
金属磁性膜を被着させて第１コアを埋設するようにした
から、上記第１コアが形成されたスライダブロックの接
合面が平坦となり、このスライダブロックともう一方の
スライダブロックとをその接合面を衝合させて接着一体
化しても上記接合面間に空隙が生じることはない。

〔実施例］ 本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の一実施例を第１図
（５１１〜（ｄｌ乃至第４図を参照しながら説明する。

まず、従来と同様、アルミナチタンカーバイドなどのセ
ラミックからなる非磁性体の一対のスライダブロックを
用意する。そして、第１図（ａ）に示すように一方のス
ライダブロック（２１）の接合面（２１ａ　’）の第１
コア形成予定部位（ｍ）を除く部位にレジストＩＩＩ！
　（２２）をフォトリソグラフィー技術により被着形成
する。次に、第１図（ｂ）に示すように上記スライダブ
ロック（２１）の第１コア形成予定部位（ｍ）をドライ
或いはウェットエツチングによりエツチング処理し、凹
み（２３）を形成する。この時、上記凹み（２３）の深
さｄはコア厚み分と同一に設定される。その後、第１図
（Ｃ１に示すように上記スライダブロック（２１）のレ
ジスト膜（２２）及び凹み（２３）の全面にセンダスト
などの金属磁性Ｉｌｌ　（２４）をスパッタリング等に
より被着形成する。この時、上記金属磁性ＩＩＩ！　（
２４）の膜厚をコア厚み分、即ち凹み（２３）の深さｄ
と同一に設定する。上記凹み（２３）に埋設された金属
磁性膜（２４）が第１コア（２５）となる。次に、第１
図（ｄ）５こ示すように有機溶剤などによりレジスト膜
（２２）を剥離させてその上の不所望な金属磁性１１１
　（２４）を除去する。このようにして得られたスライ
ダブロック（２１）の接合面（２１ａ　）は、第１コア
（２５）の形成部位とそれ以外の部位とで同一平面とな
って平坦化される。

上述のようにして一方のスライダブロック（２１）に第
１コア（２５）を形成した後、第２図に示すように上記
スライダブロック（２１）と他方のスライダブロック＜
２６）を用意する。そして、第３図に示すように一対の
スライダブロック（２１）　　（２６）をその接合面同
士を衝合させてガラス溶着などにより接着一体化して第
１コアブロック（２７）を得る。この時、前述したよう
にスライダブロック（２１）の接合面（２１ａ　）が平
坦化されているため、スライダブロック（２１）　　（
２６）の接合面間に空隙が生じることはない。

次に、従来と同様、アルミナチタンカーバイドなどのセ
ラミックの非磁性体からなる一対のスライダ（２８）　
　（２９）を用意し、この一方のスライダ（２８）の接
合面にセンダストなどの金属磁性膜をスパッタリング等
により第１コア（２５）と同−膜厚で被着させて第２コ
ア（３０）を形成し、この第２コア（３０）が形成され
た一方のスライダ（２８）に他方のスライダ（２９）を
その接合面同士を衝合させて接着一体化し、上記第２コ
ア（３０）をその両側から一対のスライダ（２８）　　
（２９）で挟み込んだ構造の略Ｃ字形状の第２コアブロ
ック（３１）を得る。この第２コアブロック（３１）の
中央部には凹溝（３２）を利用して線材が所定ターン数
巻回されてコイル（３３）が形成される。

最後に、第４図に示すように上記第２コアブロック（３
１）を、ギャップスペーサとなるＳｉｎｇ等の弊磁性体
薄膜（図示せず）を介して第１コアブロック（２７）の
第１コア（２５）の一部が露呈する端面（２７ａ）にガ
ラス溶着などにより第１、第２コア（２５）　　（３０
）の位置合わせ状態で接着一体化して磁気ヘッドを得る
。

尚、上記実施例では、第１コア（２５）の形状を第２コ
ア（３０）と同一にしているが、上記第１コア（２５）
の形状は必ずしも第２コア（３０）と同一である必要は
ない、また、一方のスライダブロック（２１）に第１コ
ア（２５）を形成するに際して、上記実施例では単一の
第１コア（２５）について説明したが、スライダブロッ
ク（２１）上に複数の第１コア（２５）　　（２５）・
・・を所定の配列関係でって形成し、その後個別に切断
分離するようにしてもよい。

〔発明の効果〕

本発明方法によれば、第１コアをスライダブロックの接
合面の全面ではな（、第２コアブロック側の一部に形成
するので、第１と第２コア間の磁気ギャップでの情報を
記録・再生時にロスが少なくできて磁気ヘッド特性の低
下を未然に防止できる。而も、上記スライダブロックの
接合面の第１コア形成予定部位に凹みを予め形成し、こ
の凹みに第１コアを埋設するようにしたから、上記スラ
イダブロックの接合面が平坦化され、もう一方のスライ
ダブロックと接著一体化してもその接合面間に空隙が生
じることがなく、この空隙が原因による磁気記録媒体へ
の加傷も回避できて良品質で信頼性の高い磁気ヘッドを
提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌ〜（ｄ）乃至第４図は本発明方法の一実施
例を説明するためのもので、第１図（ａ）〜（ｄ）は一
方のスライダブロックに第１コアを形成する各工程での
スライダプロ・ツクを示す各斜視図、：！Ｆ！２図は第
１コアを形成したスライダブロックともう一方のスライ
ダブロックを示す斜視図、第３図は接合一体化した第１
コアブロックと第２コアブロックを示す斜視図、第４図
は第１、第２コアブロックを接合一体化した磁気ヘッド
を示す斜視図である。 第５図乃至第１０図は磁気ヘッドの製造方法の従来例を
説明するためのもので、第５図は一対のスライダブロッ
クを示す斜視図、第６図は第１コアを形成したスライダ
ブロックともう一方のスライダブロックを示す斜視図、
第７図は接合一体化した第１コアブロックと第２コアブ
ロックを示す斜視図、第８図は第１、第２コアブロック
を接合−体化した磁気ヘッドを示す斜視図、第９図は第
８図の磁気ヘッドと磁気記録媒体を示す側面図、第１０
図は第１コアを接合面の一部に形成したスライダブロッ
クともう一方のスライダプロ・ツクを示す斜視図である
。 （２１）　−一一一方のスライダプロ・７り、（２１ａ
　）−・・接合面、　　　（２２）・・−レジスト膜、
（２３）　−一〜凹み、　　　　　（２４）−金属磁性
膜、（２５）・・・第１コア、 （２６）　−他方のスライダブロック、（２７）−・・
第１コアブロック、 （２７ａ）・・・端面、 （２８）　　（２９）・−−一対のスライダ、（３０）
・−第２コア、　　　（３１）　−第２コアプロ、クー
（ｍ）−・−第１コア形成予定部位、 （ｄ）−ｍ−コア厚み分の深さ。 特　許　出　願　人　　　関西日本電気株式会社代　　
　　理　　　　人　　　　江　　　原　　　省　　吾第
２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性体からなる一方のスライダブロックの接合
   面の第１コア形成予定部位を除く部位にレジスト膜を被
   着形成する工程と、 上記スライダブロックの第１コア形成予定部位をエッチ
   ング処理し、その第１コア形成予定部位にコア厚み分の
   深さを有する凹みを形成する工程と、 上記スライダブロックのレジスト膜及び凹みの全面に金
   属磁性膜をコア厚み分の膜厚で被着形成して上記凹みに
   第１コアを埋設した後、レジスト膜を剥離させてその上
   の不所望な金属磁性膜を除去する工程と、 上記第１コアを形成した一方のスライダブロックに他方
   のスライダブロックをその接合面同士を衝合して接合一
   体化する工程と、 一対のスライダブロックが一体化された略直方体形状の
   第１コアブロックの第１コアの一部が露呈する端面に、
   第２コアをその両側から一対のスライダで挟み込んだ略
   Ｃ字形状の第２コアブロックを、ギャップスペーサとな
   る非磁性体薄膜を介して第１、第２コアの位置合わせ状
   態で接着一体化する工程と、 を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。