JPH046818Y2

JPH046818Y2 -

Info

Publication number: JPH046818Y2
Application number: JP155187U
Authority: JP
Priority date: 1987-01-08
Filing date: 1987-01-08
Publication date: 1992-02-25
Also published as: JPS63111920U

Description

【考案の詳細な説明】産業上の利用分野本考案は空気浄化装置に関し、例えば半導体装
置の製造工程に使用されているクリーンルーム内
に配設され、天井からダウンフローされるエアに
含まれる塵埃を除去して清浄化する装置に関する
ものである。

従来の技術半導体部品や超精密部品等の物品の製造は、天
井から床に向けてクリーンエアをダウンフローし
て、室内を清浄空気雰囲気に保つたクリーンルー
ム内で行われるのが通常である。特に半導体部品
は、最近の超LSI化の傾向で、益々超清浄空気雰
囲気下での製造が要求され、この要求はクリーン
リーム内に設置された製造設備に発塵源の少ない
ものを使用すること、また、クリーンルーム内の
製造設備間や、クリーンルーム内外での半導体部
品の搬送を無人化することで実現されている。

例えば第５図を参照して、クリーンルーム１を
使用した半導体製造システムを説明すると、クリ
ーンルーム１は、天井１ａと床１ｂとの間に、ク
リーンエア循環手段２を装備しており、このクリ
ーンエア循環手段２は、送風機３によつてダクト
４内のエアＡを天井１ａから床１ｂに向けて圧送
し、天井に設置されたHEPA（high efficiency
paticulate absolute）フイルタ５（以下、単に
HPフイルタと称す）を介することにより、クリ
ーンエアＡにしてクリーンルーム１内を層流状態
でダウンフローし、このダウンフローしたクリー
ンエアＡをすのこ状の床１ｂを通してダクト４か
ら送風機３にリターンさせる動作を行う。天井１
ａの送風機３からのクリーンエアＡの排気量を、
床１ｂからの吸気量より若干多くして、クリーン
ルーム１内が常時陽圧になるよう設定し、これに
よりクリーンルーム１内への不必要な外気の浸入
を防ぎ、空気清浄度を高く保つようにしている。
クリーンルーム１内の空気清浄度はHPフイルタ
５の能力に大きく左右されるが、最近では超高性
能フイルタの開発で、クリーンルーム１内の空気
清浄度は0.1μmから0.3μmの塵埃類が１立方フイ
ート中に１個以下といつた超高清浄度に保たれる
ようになつている。このようなクリーンルーム１
内には、物品６の各種製造設備７や、製造設備７
間で物品６を搬送する無人搬送車等が設置され
る。

考案が解決しようとする問題点ところで、上記クリーンルーム１内は循環ユニ
ツト２にHPフイルタ５を介在させることによ
り、浮遊塵埃の極めて少ない清浄な雰囲気に維持
されている。ところが、クリーンルーム１内の各
種設備７にはメカニカルな可動部分があり、この
可動部分が微細な金属屑や粉塵油屑を飛散させる
発塵源として作用する。この発塵源から発生した
微細な塵埃はHPフイルタ５によつて十分に除去
されず、クリーンルーム１内に浮遊し、不都合な
ことに物品６の表面に付着することがある。ま
た、HPフイルタ５の清浄能力は操業時間の経過
と共に低下するため、上述するような塵埃の発生
量は増加の一途を辿ることになり、従つて物品６
へ付着する確立が高くなり、歩留まりを低下させ
る要因となる。

そこで、クリーンルーム１内の床１ｂの下部に
HPフイルタを設置して空気清浄度を更に向上さ
せることも考えられるが、HPフイルタ自体が高
価なものであり、清浄能力の持続性に問題がある
ため定期的な交換が必要で、コスト高になるとい
つた問題があつた。

問題点を解決するための手段本考案は上記問題点に鑑みて提案されたもの
で、この問題点を解決するための技術的手段は、
純水を循環させる流水路が長手方向に沿う内部両
側方に形成された長尺な樋状の枠本体と、ダウン
フローされたエアが分流されるガイド面を有し、
且つ、上記純水の液面と隙間を形成して、流水路
上に跨るように配置された断面八字形状の風導板
とを具備し、前記風導板で分流されたエアを上記
隙間を介して風導板内部に形成された風導路に流
入させるようにしたことである。

作用上記技術的手段によれば、ダウンフローされた
エアが風導路内に流入する時に純水と接触するこ
とになる。エア中の大半の浮遊微粉塵埃類は、こ
の接触によつて純水に吸着除去され、エアの清浄
化が行われる。また、上記空気清浄装置の清浄能
力は高い清浄度の純水を流水路に循環させること
によつて、略一定に維持される。一方、上記空気
浄化装置を、例えばクリーンルームの下部に設置
すれば、ダウンフローされたエアをより清浄化し
た高清浄度のクリーンエアの状態で送風機にリタ
ーンさせることができた。

実施例本考案に係る空気浄化装置の一実施例を第１図
及び第２図を参照して以下説明する。同図に示す
空気浄化装置１１に於いて、１２は長尺な樋状の
枠本体で、長手方向に沿う内部両側方に純水１３
を循環させる流水路１４，１４が形成される。こ
の流水路１４は、例えば枠体１２の長手方向に沿
う内部両側方に垂設された仕切り板１５，１５と
上記枠本体１２の両側壁１２ａ，１２ａとで形成
される。１６はダウンフローされたエアＡが分流
されるガイド面１６ａ，１６ａを有する断面八字
形状の風導板、１７，１７…は上記枠本体１２の
短手方向に沿つて流水路１４，１４上に定ピツチ
で架設された荷台である。上記風導板１６は、流
水路１４，１４上に跨るようにして、この荷台１
７上に載置され、内部に風導路１６ｂが形成され
る。風導板１６の下端部と純粋１３の液面とは、
上記荷台１７の厚みでもつて隙間ｇが形成され
る。１８は複数のノズル１８ａ，１８ａ…先端を
流水路１４，１４上に向けた状態で、上記風導路
１６ｂ内に配設された配管路で、純水をノズル１
８ａ，１８ａ…から噴霧状態で吐出させる。

上記構成の空気浄化装置１１では、ダウンフロ
ーされたエアＡは風導板１６のガイド面１６ａ，
１６ａによつて枠体１２の両側方に分流され、隙
間ｇ，ｇを介して風導板１６ｂ内に流入する。こ
の時、エアＡは純水１３と接触しながら風導路１
６内に流入することになり、エアＡ中に含まれる
塵埃類が純水１３に吸着除去される。更に、流入
するエアＡに向かつて配管路１８のノズル１８
ａ，１８ａ…から純水を噴霧状態で吐出させるこ
とにより、流入するエアＡと接触する純水の量が
大幅に増加して洗浄度が高められる。このよう
に、風導路１６ｂ内に流入したエアＡの清浄度は
極めて高い状態にある。一方、上述するような純
水１３のエア清浄能力は、純水自体の清浄度と相
関関係がある。即ち、純水自体の清浄度が高い
程、エア清浄能力も高くなる傾向にあつて、流水
路１４及び配管路１８に絶えず高い清浄度の純水
１３を供給して循環させることにより、上記清浄
能力を略一定に維持することができる。

上述するような空気清浄装置１１を、第５図に
示すクリーンルーム１に適用した一実施例を第３
図及び第４図を参照して以下説明する。同図に示
すように、クリーンルーム１の床１ｂの下部に空
気浄化装置１１，１１…を並設し、風導路１６，
１６…をダクト４に連通させる。また、ダクト４
内に６層凝縮フイルタ１９を配置する。このよう
に空気浄化装置１１，１１…が配設されたクリー
ンルーム１では、天井１ａからダウンフローされ
たエアＡが床１ｂから風導路１６ｂ，１６ｂ…を
通つてダクト４に流入し、ダクト４から６層凝縮
フイルタ１９を介して送風機３にリターンされ
る。従つて、ダウンフローされたエアＡは、上記
空気清浄装置１１，１１によつて清浄化された状
態で送風機３にリターンさせることができるの
で、クリーンルーム１内は更に清浄化され、より
高い清浄度に保たれ、従来の構造システムより更
に数倍以上の清浄度を保持できる。また、上記空
気清浄装置１１は純水１３を循環させることによ
り清浄能力が略一定に維持されるので、操業時間
に係りなくクリーンルーム１内を高い清浄度に保
持できる。

考案の効果本考案に係る空気浄化装置によれば、ダウンフ
ローされるエア中に含まれる塵埃類は、純水中に
吸着除去されるので、高い清浄度のエアを系内に
流出させることができる。また、上記装置の清浄
能力は、純水の清浄度を保持することにより、略
一定に保持される。

従つて、本考案を、例えばクリーンルーム内に
配設すれば、クリーンルーム内の清浄度が従来よ
りも数倍以上に高められ、物品への塵埃の付着を
防止し、歩留まりを大幅に向上させることができ
る。しかも、簡易な手段で定期的な交換を必要と
しない設備的、コスト的に非常に有利な装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る空気浄化装置の一実施例
を示す要部斜視図、第２図は第１図の側断面図、
第３図はクリーンルームに本考案を適用した場合
のクリーンルームの概略正断面図、第４図は第３
図の要部側断面図である。第５図は従来のクリー
ンルームを示す概略正断面図である。１１……空気浄化装置、１２……枠本体、１３
……純水、１４……流水路、１６……風導板、１
６ａ……ガイド面、１６ｂ……風導路、Ａ……エ
ア、ｇ……隙間。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

純水を循環させる流水路が長手方向に沿う内部
両側方に形成された長尺な樋状の枠本体と、ダウ
ンフローされたエアが分流されるガイド面を有
し、且つ、上記純水の液面と隙間を形成して、流
水路上に跨るように配置された断面八字形状の風
導板とを具備し、前記風導板で分流されたエアを
上記隙間を介して風導板内部に形成された風導路
に流入させるようにしたことを特徴とする空気浄
化装置。