JPS62190337A - クリ−ンル−ムにおける換気、空調吹出装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムにおける換気、空調吹出装置Info
- Publication number
- JPS62190337A JPS62190337A JP61027968A JP2796886A JPS62190337A JP S62190337 A JPS62190337 A JP S62190337A JP 61027968 A JP61027968 A JP 61027968A JP 2796886 A JP2796886 A JP 2796886A JP S62190337 A JPS62190337 A JP S62190337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- tunnel
- blow
- clean
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 10
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/02—Ducting arrangements
- F24F13/06—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクリーンルームにおける空気清浄装置に係るも
のである。
のである。
（従来の技術）
従来のクリーンルームのペイ方式等で使用されている換
気、空調装置は、クリーンルームにおける両側トンネル
部及び間両トンネル部に挾まれた通路部の各上方に、夫
々超高性能フィルタが内蔵されたトンネル部の空気清浄
装置に通路部の空気清浄部が個々に配設され、同各空気
清浄部の下面から清浄空気が吹出されている。
気、空調装置は、クリーンルームにおける両側トンネル
部及び間両トンネル部に挾まれた通路部の各上方に、夫
々超高性能フィルタが内蔵されたトンネル部の空気清浄
装置に通路部の空気清浄部が個々に配設され、同各空気
清浄部の下面から清浄空気が吹出されている。
（発明が解決しようとする問題点）
このように前記従来のものにあっては、−双のトンネル
部とその中間に位置する通路部が夫々側の空気清浄シス
テムで換気、空調が図られているので、経済性の面で問
題があった。
部とその中間に位置する通路部が夫々側の空気清浄シス
テムで換気、空調が図られているので、経済性の面で問
題があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明はこのような問題点を解決するために提案された
もので、相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
たクリーンルームにおいて、前記トンネル部の頂部に、
同トンネル部に指向して開口する吹出口を有する下部水
平片、及び通路部側に指向して開口する吹出口を有する
上部傾斜側片、並に前記両片間に介在し且つ通路部に指
向して開口する吹出口を有する下部傾斜側片とよりｙる
清浄空気吹出空間部を配設するとともに、前記上下両傾
斜側片の境界部よシ通路部に指向して斜下方に延びる垂
れ壁を突設してなることを特徴とするクリーンルームに
おける換気、空調吹出装置に係るものである。
もので、相対する両側トンネル部間に通路部が配設され
たクリーンルームにおいて、前記トンネル部の頂部に、
同トンネル部に指向して開口する吹出口を有する下部水
平片、及び通路部側に指向して開口する吹出口を有する
上部傾斜側片、並に前記両片間に介在し且つ通路部に指
向して開口する吹出口を有する下部傾斜側片とよりｙる
清浄空気吹出空間部を配設するとともに、前記上下両傾
斜側片の境界部よシ通路部に指向して斜下方に延びる垂
れ壁を突設してなることを特徴とするクリーンルームに
おける換気、空調吹出装置に係るものである。
（作用）
本発明は前記したように構成されているので、前記トン
ネル部の頂部に配設された清浄空気吹出空間部における
下部水平片の吹出口、及び上部傾斜側片の吹出口から夫
々トンネル部並に通路部に清浄空気が吹出される。
ネル部の頂部に配設された清浄空気吹出空間部における
下部水平片の吹出口、及び上部傾斜側片の吹出口から夫
々トンネル部並に通路部に清浄空気が吹出される。
この際、前記下部水平片及び上部傾斜側片の中間に配設
された下部傾斜側片の吹出口から通路部側に指向して斜
下方に清浄空気が吹出され、前記下部水平片及び上部傾
斜側片からの吹出空気流間にエアーカーテンが形成前記
上下両傾斜側片の中間部よシ斜下方に突設された垂れ壁
の存在と相俟って、前記両吹出空気流を区画し、間両空
気流の混合を防止する。
された下部傾斜側片の吹出口から通路部側に指向して斜
下方に清浄空気が吹出され、前記下部水平片及び上部傾
斜側片からの吹出空気流間にエアーカーテンが形成前記
上下両傾斜側片の中間部よシ斜下方に突設された垂れ壁
の存在と相俟って、前記両吹出空気流を区画し、間両空
気流の混合を防止する。
（発明の効果）
このように本発明によれば、クリーンルームにおけるト
ンネル部と通路一部との雨空間がトンネル部の頂部に配
設された単一の換気、空調吹出装置によって清浄化され
るので、装置が簡略化され、コストが節減される。
ンネル部と通路一部との雨空間がトンネル部の頂部に配
設された単一の換気、空調吹出装置によって清浄化され
るので、装置が簡略化され、コストが節減される。
更に前記下部傾斜側片よシ吹出されるエヤカーテンと前
記垂れ壁とによって、前記清浄空気吹出空間部よシトン
ネル部及び通路部に吹出される両清浄空気流の混合が防
止され、通路部の低清浄度空間の空気がトンネル部の高
清浄度空間に誘引されることがなく、また通路部で発生
した塵埃のトンネル部への侵入が防止される。
記垂れ壁とによって、前記清浄空気吹出空間部よシトン
ネル部及び通路部に吹出される両清浄空気流の混合が防
止され、通路部の低清浄度空間の空気がトンネル部の高
清浄度空間に誘引されることがなく、また通路部で発生
した塵埃のトンネル部への侵入が防止される。
（実施例）
以下本発明を図示の実施例について説明する。
（勾はクリーンルーム、申）はその両側に配設されたト
ンネル部、（Ｃ）は両トンネル部（Ｂ）に挾まれた通路
部で、トンネル部（Ｂ）の頂部に清浄空気吹出空間部（
１）が配設されている。
ンネル部、（Ｃ）は両トンネル部（Ｂ）に挾まれた通路
部で、トンネル部（Ｂ）の頂部に清浄空気吹出空間部（
１）が配設されている。
同空間部（１）は多孔板よ多構成され、トンネル部（Ｂ
）に指向して開口する吹出口を有する下部水平片（２）
と、通路部（Ｃ）側に指向して開口する吹出口を有する
上部傾斜側片（３）と、前記両片（２）（３）間に介在
し、通路部（Ｃ）に指向して開口する吹出口を有する下
部傾斜側片（４）とよ多構成され、更に上下両傾斜側片
（４）の境界部よシ通路部（Ｃ）に指向して斜下方に延
びる垂れ壁（５）が突設されている。
）に指向して開口する吹出口を有する下部水平片（２）
と、通路部（Ｃ）側に指向して開口する吹出口を有する
上部傾斜側片（３）と、前記両片（２）（３）間に介在
し、通路部（Ｃ）に指向して開口する吹出口を有する下
部傾斜側片（４）とよ多構成され、更に上下両傾斜側片
（４）の境界部よシ通路部（Ｃ）に指向して斜下方に延
びる垂れ壁（５）が突設されている。
図中（６）はレターンチャンバ（力の上方に配設された
前記清浄空気吹出空間部（１）に対する清浄空気供給用
のプレナムチャンバで、送風機（８）及び超高性能フィ
ルタ（９）が内蔵され、下部にはレターンロα０が配設
きれるとともに、上部に給気ダクトαυが接続されてい
る。
前記清浄空気吹出空間部（１）に対する清浄空気供給用
のプレナムチャンバで、送風機（８）及び超高性能フィ
ルタ（９）が内蔵され、下部にはレターンロα０が配設
きれるとともに、上部に給気ダクトαυが接続されてい
る。
図中０２は床下プレナムチャンバ、α：ＩＣ１４）はレ
ターンロである。
ターンロである。
図示の実施例は前記したように構成されているので、前
記プレナムチャンバ（６）に内蔵された送風機（８）及
び超高性能フィルタ（９）によって前記トンネル部（Ｂ
）頂部の清浄空気吹出空間部（１）に供給された清浄空
気は、同空間部（１）の下部水平片（２）及び上部傾斜
側片（３）の各吹出口よシトンネル部（Ｂ）及び通路部
（Ｃ）に吹出され、同トンネル部（Ｂｌ並に通路部（Ｃ
）の雨空間が清浄化される。
記プレナムチャンバ（６）に内蔵された送風機（８）及
び超高性能フィルタ（９）によって前記トンネル部（Ｂ
）頂部の清浄空気吹出空間部（１）に供給された清浄空
気は、同空間部（１）の下部水平片（２）及び上部傾斜
側片（３）の各吹出口よシトンネル部（Ｂ）及び通路部
（Ｃ）に吹出され、同トンネル部（Ｂｌ並に通路部（Ｃ
）の雨空間が清浄化される。
この際、前記下部傾斜側片（４）の吹出口よシ吹出され
る清浄空気によってエヤカーテンが形成され、前記下部
水平片（２）及び上部傾斜側片（３）よシトンネル部に
）並に通路部（Ｃ）に吹出される清浄空気流の混入が防
止される。
る清浄空気によってエヤカーテンが形成され、前記下部
水平片（２）及び上部傾斜側片（３）よシトンネル部に
）並に通路部（Ｃ）に吹出される清浄空気流の混入が防
止される。
更に前記上下両傾斜側片＋２）（３）の境界部よシ斜下
方に突設された垂れ壁（５）によって、前記トンネル部
（Ｂ）及び通路部（Ｃ）に吹出される清浄空気流の混入
がより確実に防止される。
方に突設された垂れ壁（５）によって、前記トンネル部
（Ｂ）及び通路部（Ｃ）に吹出される清浄空気流の混入
がより確実に防止される。
なお前記したようにクリーンルーム（Ａｌ内を清浄化シ
た空気流はレターンロａ４）、レターンチャンバ（７）
及びレターンロα１を介してプレナムチャンバ（６）に
戻される。
た空気流はレターンロａ４）、レターンチャンバ（７）
及びレターンロα１を介してプレナムチャンバ（６）に
戻される。
前記実施例によればこのように、クリーンルーム（Ａ）
におけるトンネル部（Ｂ）の頂部に配設された単一の清
浄空気吹出空間部（１）によって、トンネル部（Ｂ）と
通路部（Ｃ）との雨空間が清浄化されるので装置が簡略
化され、コストが節減される。
におけるトンネル部（Ｂ）の頂部に配設された単一の清
浄空気吹出空間部（１）によって、トンネル部（Ｂ）と
通路部（Ｃ）との雨空間が清浄化されるので装置が簡略
化され、コストが節減される。
更に前記下部傾斜側片（４）の吹出口より吹出されるエ
ヤカーテンと、上下両傾斜側片（３）（４）の境界部よ
シ突設された垂れ壁（５）とによって、前記下部水平片
（２）及び上部傾斜側片（３）よシトンネル部（Ｂｌ並
に通路部（Ｃ１に吹出される両清浄空気流の混合が防止
され、通路部（Ｃ）の低清浄度空間の空気がトンネル部
（Ｂ）の高清浄度空間に誘引されることがなく、また通
路部（Ｃ）で発生した塵埃のトンネル部中）への侵入が
防止される。
ヤカーテンと、上下両傾斜側片（３）（４）の境界部よ
シ突設された垂れ壁（５）とによって、前記下部水平片
（２）及び上部傾斜側片（３）よシトンネル部（Ｂｌ並
に通路部（Ｃ１に吹出される両清浄空気流の混合が防止
され、通路部（Ｃ）の低清浄度空間の空気がトンネル部
（Ｂ）の高清浄度空間に誘引されることがなく、また通
路部（Ｃ）で発生した塵埃のトンネル部中）への侵入が
防止される。
以上本発明を実施例について説明したが、本発明は勿論
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の精神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
第１図は本発明に係るクリーンルームにおける換気、空
調吹出装置の一実施例を示す縦断面図である。 （Ａｌ・・・クリーンルーム （Ｂ）・・・トンネル部
（Ｃ１・・・通路部 （１）・・・清浄空気吹
出空間部（２）・−・下部水平片 （３）・・・上
部傾斜側片（４）・・・下部傾斜側片 （５）・・・
垂れ壁代理人 弁理士 岡 本 重 文 外２名
調吹出装置の一実施例を示す縦断面図である。 （Ａｌ・・・クリーンルーム （Ｂ）・・・トンネル部
（Ｃ１・・・通路部 （１）・・・清浄空気吹
出空間部（２）・−・下部水平片 （３）・・・上
部傾斜側片（４）・・・下部傾斜側片 （５）・・・
垂れ壁代理人 弁理士 岡 本 重 文 外２名
Claims (1)
- 相対する両側トンネル部間に通路部が配設されたクリー
ンルームにおいて、前記トンネル部の頂部に、同トンネ
ル部に指向して開口する吹出口を有する下部水平片、及
び通路部側に指向して開口する吹出口を有する上部傾斜
側片、並に前記両片間に介在し且つ通路部に指向して開
口する吹出口を有する下部傾斜側片とよりなる清浄空気
吹出空間部を配設するとともに、前記上下両傾斜側片の
境界部より通路部に指向して斜下方に延びる垂れ壁を突
設してなることを特徴とするクリーンルームにおける換
気、空調吹出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027968A JPS62190337A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける換気、空調吹出装置 |
| KR1019860008342A KR870008157A (ko) | 1986-02-13 | 1986-10-06 | 클린루움(청정실)에 있어서의 환기, 공조(空調) 분출장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027968A JPS62190337A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける換気、空調吹出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62190337A true JPS62190337A (ja) | 1987-08-20 |
Family
ID=12235686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61027968A Pending JPS62190337A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける換気、空調吹出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62190337A (ja) |
| KR (1) | KR870008157A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5086692A (en) * | 1990-04-12 | 1992-02-11 | Welch Henry W | Air handling system and method for an operating room |
| ES2399776R1 (es) * | 2010-10-11 | 2013-04-17 | Tecnica En Instalaciones De Fluidos S L | Sistema de climatizacion para recintos de reducidas dimensiones |
| CN110440359A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-12 | 南方电网调峰调频发电有限公司 | 近海地下工程利用交通洞进风的空气处理和输送系统 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022394A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | 日本電気株式会社 | 配線基板 |
-
1986
- 1986-02-13 JP JP61027968A patent/JPS62190337A/ja active Pending
- 1986-10-06 KR KR1019860008342A patent/KR870008157A/ko not_active Ceased
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022394A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | 日本電気株式会社 | 配線基板 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5086692A (en) * | 1990-04-12 | 1992-02-11 | Welch Henry W | Air handling system and method for an operating room |
| ES2399776R1 (es) * | 2010-10-11 | 2013-04-17 | Tecnica En Instalaciones De Fluidos S L | Sistema de climatizacion para recintos de reducidas dimensiones |
| CN110440359A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-12 | 南方电网调峰调频发电有限公司 | 近海地下工程利用交通洞进风的空气处理和输送系统 |
| CN110440359B (zh) * | 2019-08-22 | 2021-05-04 | 南方电网调峰调频发电有限公司 | 近海地下工程利用交通洞进风的空气处理和输送系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR870008157A (ko) | 1987-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2251663A (en) | Ventilating construction | |
| JPS62190337A (ja) | クリ−ンル−ムにおける換気、空調吹出装置 | |
| JPH0252182B2 (ja) | ||
| JPS605217A (ja) | ガスバイパス装置を有する布濾過装置およびガスバイパス方法 | |
| US20060199509A1 (en) | Ventilating system | |
| JPS62186150A (ja) | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 | |
| US6308480B1 (en) | Ceiling tile dust guard | |
| JPH02111411A (ja) | 天吊型クリーンユニット | |
| JPS6226785B2 (ja) | ||
| JP2001153414A (ja) | 循環型クリーンルーム | |
| JPS59185923A (ja) | クリーンルームの形成方法 | |
| JPS61168735A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JP2817605B2 (ja) | クリーンルーム用自動倉庫 | |
| JPH0240416Y2 (ja) | ||
| JPH042346Y2 (ja) | ||
| JPS61202026A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| ATE36585T1 (de) | In situ regenerierbarer geraeuschdaempfer fuer ventilator in, mit staubhaltiger luft gefoerderten ventilationsanlagen und in situ regenerierungsprozess dafuer. | |
| JPS61168736A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPS58127034A (ja) | 清浄作業室 | |
| JPH0646240U (ja) | クリーンルーム | |
| JP3427988B2 (ja) | クリーンルームの防火区画浄化装置 | |
| JPH0828920A (ja) | クリーンルーム用空気清浄化装置 | |
| JPH0225065Y2 (ja) | ||
| JPH0467094B2 (ja) | ||
| JPS62138636A (ja) | 空気清浄室 |