JPH0469460U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図
は従来のモーターアツセンブリーの縦断面図であ
る。 １……装置フレーム、２……フロントプレート
、３，３ａ……モーター取付けステー、４……モ
ーター、５……調整スクリユー、６……チエーン
、７……コアキシヤルフイードスルー、８……エ
アーシリンダー、９……軸回転防止板、１０……
スパツタチヤンバー、１１……軸回転防止機構、
１２……トランスフアープレート。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空チヤンバー内で回転するトランスフアー
   プレートが前記チヤンバーを貫通する回転軸に取
   り付けられ、前記チヤンバー外に設けたモーター
   及びチエーンにより前記回転軸を駆動するモータ
   ーアツセンブリーにおいて、モーターが真空チヤ
   ンバー壁以外の真空装置部分に取り付けられてい
   ることを特徴とするモーターアツセンブリー。 ２ モーターが真空チヤンバー壁から突出した装
   置フレームに設けられている請求項１記載のモー
   ターアツセンブリー。 ３ モーターがモーター取付けステーを介して装
   置フレームから吊り下げられている請求項１記載
   のモーターアツセンブリー。 ４ モーターが取付けステーに対しスライド可能
   である請求項１記載のモーターアツセンブリー。 ５ チエーンの緩みを調整するためのモーター位
   置調整ねじをモーター取付けステーに設けた請求
   項１記載のモーターアツセンブリー。