JPH047060A - 回転塗布装置およびその洗浄方法 - Google Patents
回転塗布装置およびその洗浄方法Info
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- JPH047060A JPH047060A JP2107095A JP10709590A JPH047060A JP H047060 A JPH047060 A JP H047060A JP 2107095 A JP2107095 A JP 2107095A JP 10709590 A JP10709590 A JP 10709590A JP H047060 A JPH047060 A JP H047060A
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- Japan
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- liquid
- liquid tank
- mounting part
- spin chuck
- mounting
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- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、レジストなどを塗布するための回転塗布装
置の液槽付きスピンチャックに関するものである。
置の液槽付きスピンチャックに関するものである。
〈従来の技術〉
従来のスピンチャックを第５図（ａ）に示す断面図と第
５図（ｂ）に示す平面図とにより説明する。
５図（ｂ）に示す平面図とにより説明する。
図に示すスピンチャック５１は、被塗布体ＩＯを装着す
るための装着部５２と、装着部５２の下面に形成した回
転軸５３とにより構成される。
るための装着部５２と、装着部５２の下面に形成した回
転軸５３とにより構成される。
前記装着部５２の上面側には、溝５４か形成される。こ
の溝５４は、中央部に設けた中央溝５４ａと、中央溝５
４ａに対して同心円状に設けた複数の同心円満５４ｂと
、中央溝５４ａと各同心円＠ ５４ｂとをつないた複数
の接続溝５４ｃとにより形成される。
の溝５４は、中央部に設けた中央溝５４ａと、中央溝５
４ａに対して同心円状に設けた複数の同心円満５４ｂと
、中央溝５４ａと各同心円＠ ５４ｂとをつないた複数
の接続溝５４ｃとにより形成される。
また、前記回転軸５コには、前記中央溝５４ａに通しる
排気通路５５が設けられる。
排気通路５５が設けられる。
次に、上記したスピンチャック５１の動作を前記第５図
（ａ）により説明する。
（ａ）により説明する。
被塗布体１０は、スピンチャック５１の上面に吸着され
る。吸着するには、排気通路５５を通して溝５４内を排
気し、溝５４内の気圧な負圧にする。
る。吸着するには、排気通路５５を通して溝５４内を排
気し、溝５４内の気圧な負圧にする。
この状態で、スピンチャック５１と吸着された被塗布体
１０とか、回転軸５３に接続されたモータ（図示せず）
によって回転する。
１０とか、回転軸５３に接続されたモータ（図示せず）
によって回転する。
回転する被塗布体ＩＯの上面中央部には、液状の塗布物
（図示せず）か滴下される。滴下された塗布物は、回転
よる遠心力によって、被塗布体１０の上面に沿って広か
る。このとき、膜形成に不必要な塗布物か被塗布体１０
の外方に飛ひ散る。また、被塗布体１０上に塗布される
塗布物の膜厚は、スピンチャック５１の回転数によって
決定される。
（図示せず）か滴下される。滴下された塗布物は、回転
よる遠心力によって、被塗布体１０の上面に沿って広か
る。このとき、膜形成に不必要な塗布物か被塗布体１０
の外方に飛ひ散る。また、被塗布体１０上に塗布される
塗布物の膜厚は、スピンチャック５１の回転数によって
決定される。
〈発明か解決しようとする課題〉
上記した従来のスピンチャッつては、モータより発生し
た熱か回転軸より装着部に伝わる。また、装着部の中央
部の周速度より周辺部の周速度か速いために、周辺部の
冷却作用か高い。そのために、装着部には、中央部と周
辺部とて温度差か生しる。この場合、装着部に装着され
た被塗布体にも、装着部と同様に温度差か生しる。よっ
て、塗布物の膜厚か不均一になる。
た熱か回転軸より装着部に伝わる。また、装着部の中央
部の周速度より周辺部の周速度か速いために、周辺部の
冷却作用か高い。そのために、装着部には、中央部と周
辺部とて温度差か生しる。この場合、装着部に装着され
た被塗布体にも、装着部と同様に温度差か生しる。よっ
て、塗布物の膜厚か不均一になる。
また、被塗布体の上面より外方に飛び散った塗布物は、
スピンチャックの外周に設けられたスピンカップに付着
する。この付着した塗布物か塵挨になって、スピンカッ
プ内の清浄度を下げる。
スピンチャックの外周に設けられたスピンカップに付着
する。この付着した塗布物か塵挨になって、スピンカッ
プ内の清浄度を下げる。
この発明は、上記課題を解決するために成されたもので
、塗布物の膜厚の均一性に優れていて、しかもスピンカ
ップ内の清浄度か高い回転塗布装置の液槽付きスピンチ
ャックを提供することを目的とする。
、塗布物の膜厚の均一性に優れていて、しかもスピンカ
ップ内の清浄度か高い回転塗布装置の液槽付きスピンチ
ャックを提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
この発明は、上記目的を達成するために成されたものて
、被塗布体を装着するための装着部と、装着部の下面に
形成した回転軸と、回転軸を回転自在な状態にして回転
軸の外周に設けた液槽と、液槽に貯えた液体とにより構
成したものて、装着部と液体とを接触させ、液槽の外側
壁と装着部の外側面との間にすき間を設けたものである
。
、被塗布体を装着するための装着部と、装着部の下面に
形成した回転軸と、回転軸を回転自在な状態にして回転
軸の外周に設けた液槽と、液槽に貯えた液体とにより構
成したものて、装着部と液体とを接触させ、液槽の外側
壁と装着部の外側面との間にすき間を設けたものである
。
また、液体には、被塗布体に塗布される塗布物の溶媒を
用いたものである。
用いたものである。
〈作用〉
上記構成の回転塗布装置の液槽付きスピンチャッつては
、装着部と液体とを接触させたことにより、液体に対し
て装着部か吸熱または発熱して、装着部の温度か一定に
なり、装着部に生じた温度差か解消される。よって、被
塗布体の温度差も解消する。
、装着部と液体とを接触させたことにより、液体に対し
て装着部か吸熱または発熱して、装着部の温度か一定に
なり、装着部に生じた温度差か解消される。よって、被
塗布体の温度差も解消する。
さらに、液槽の外側壁と装着部の外側面との間にすき間
を設けたことにより、装着部の回転に連動しなから回転
する液体か、回転による遠心力によって、すき間を通っ
て外方に飛ばされる。外方に飛ばされた液体は、スピン
カップの内側に当たって、その内側を流れる。よって、
スピンチャックか洗浄される。
を設けたことにより、装着部の回転に連動しなから回転
する液体か、回転による遠心力によって、すき間を通っ
て外方に飛ばされる。外方に飛ばされた液体は、スピン
カップの内側に当たって、その内側を流れる。よって、
スピンチャックか洗浄される。
また、液体に塗布物の溶媒を用いたものでは、洗浄力か
さらに高まる。
さらに高まる。
〈実施例〉
この発明の実施例を第１図に示す断面図により、説明す
る。
る。
図に示す液槽付きスピンチャックｌは、回転塗布装置（
図示せず）に設けられるものて、被塗布体１０を装着す
るための装着部２と、装着部２の下面２ａに形成した回
転軸３と、回転軸３の外周に設けた液槽４と、液槽４に
貯えた液体５とにより構成される。
図示せず）に設けられるものて、被塗布体１０を装着す
るための装着部２と、装着部２の下面２ａに形成した回
転軸３と、回転軸３の外周に設けた液槽４と、液槽４に
貯えた液体５とにより構成される。
前記装着部２と前記回転軸３とは、前述した従来の技術
て説明した装着部（５２）と回転軸（５３）と同様のも
のである。
て説明した装着部（５２）と回転軸（５３）と同様のも
のである。
前記液槽４は、この液槽４に対して前記回転軸３を回転
自在にした状態で、回転軸３の外周に設けられる。また
、この液槽４の外側壁４ａと前記装着部２の外側面２ｂ
との間には、すき間６か設けられる。このすき間６の幅
は、前記液体５の粘度によって決定される。さらに、液
槽４には、液体５を供給するための供給管２８か設けら
れる。
自在にした状態で、回転軸３の外周に設けられる。また
、この液槽４の外側壁４ａと前記装着部２の外側面２ｂ
との間には、すき間６か設けられる。このすき間６の幅
は、前記液体５の粘度によって決定される。さらに、液
槽４には、液体５を供給するための供給管２８か設けら
れる。
また、液体５か回転軸３側に流れ出るのを防ぐために、
回転軸３例の装着面２の下面２ａには、回転軸３に対し
て同心円状の溝７か形成される。さらに、液槽４に対し
て装着部２を回転自在な状態にして、前記溝７には、液
槽４の内側壁４ｂの上部側か挿入される。
回転軸３例の装着面２の下面２ａには、回転軸３に対し
て同心円状の溝７か形成される。さらに、液槽４に対し
て装着部２を回転自在な状態にして、前記溝７には、液
槽４の内側壁４ｂの上部側か挿入される。
前記供給管２８より液槽４に供給された液体５は、装着
部２の下面２ａに対して、常に接触状態に保たれる。こ
の液体５には、被塗布体１０に塗布される塗布物の溶媒
を所定の温度にして用いる。
部２の下面２ａに対して、常に接触状態に保たれる。こ
の液体５には、被塗布体１０に塗布される塗布物の溶媒
を所定の温度にして用いる。
前記液体５を、所定の温度にするには、−例として第２
図に示すような供給系２１か用いられる。
図に示すような供給系２１か用いられる。
この供給系２１は、液体５を貯蔵するための容器２２と
、流量調節ハルツ２３と、流量計２４と、開閉バルブ２
５と、熱交換器２６と、供給管２８とを順に連通したも
のである。熱交換器２６には温調器２７により所定温度
の温調水か循環される。液体５は、流量調節バルブ２３
によって流量を調節されて、熱交換器２６によって所定
の温度に温調され、供給管２８より液槽（４）へ供給さ
れる。
、流量調節ハルツ２３と、流量計２４と、開閉バルブ２
５と、熱交換器２６と、供給管２８とを順に連通したも
のである。熱交換器２６には温調器２７により所定温度
の温調水か循環される。液体５は、流量調節バルブ２３
によって流量を調節されて、熱交換器２６によって所定
の温度に温調され、供給管２８より液槽（４）へ供給さ
れる。
次に、上記した液槽付きスピンチャックＩの動作を第３
図により説明する。
図により説明する。
被塗布体ＩＯを装着部２に装着して、塗布物１１を塗布
する動作は、前述した従来の技術と同様にして行われる
。
する動作は、前述した従来の技術と同様にして行われる
。
このとき、液槽４には、供給管２８より所定温度の液体
５か供給される。そして、液体５と装着部２の下面２ａ
とか接触する。そのために、装着部２は、液体５と比較
して、高温の部分が冷やされ、低温の部分か温められて
、全体の温度か一定になる。さらに、装着部２に装着さ
れた被塗布体ＩＯも全体の温度が一定になる。よって、
被塗布体ＩＯに塗布された塗布物１１の膜厚か均一化さ
れる。
５か供給される。そして、液体５と装着部２の下面２ａ
とか接触する。そのために、装着部２は、液体５と比較
して、高温の部分が冷やされ、低温の部分か温められて
、全体の温度か一定になる。さらに、装着部２に装着さ
れた被塗布体ＩＯも全体の温度が一定になる。よって、
被塗布体ＩＯに塗布された塗布物１１の膜厚か均一化さ
れる。
さらに、装着部２に接触した液体５は、装着部２の回転
に連動して回転し、遠心力を受ける。遠心力を受けた液
体５は、すき間６を通って、液槽４の外方へ飛び散る。
に連動して回転し、遠心力を受ける。遠心力を受けた液
体５は、すき間６を通って、液槽４の外方へ飛び散る。
飛び散った液体５ａは、液槽付きスピンチャックｌの外
周に設けられたスピンカップ１５の内側に当たり、内側
に沿って流れ落ちる。よって、この液体５かスピンカッ
プ１５に付着した塗布物１１ａを洗い流すので、スピン
カップ１５内か７ａ浄に保たれる。
周に設けられたスピンカップ１５の内側に当たり、内側
に沿って流れ落ちる。よって、この液体５かスピンカッ
プ１５に付着した塗布物１１ａを洗い流すので、スピン
カップ１５内か７ａ浄に保たれる。
さらに、スピンカップ１５の内側の洗浄効果を高める手
段を第４図（ａ）に示す正面図と第４図（ｂ）に示す背
面図とにより説明する。
段を第４図（ａ）に示す正面図と第４図（ｂ）に示す背
面図とにより説明する。
図に示すように、装着部２には、複数の貫通孔Ｉ２か設
けられる。各貫通孔１２は、装着部２の下面２ａより外
側面２ｂに向けて形成される。さらに、下面２ａ側の貫
通孔１２の開口１２ａは、外側面２ｂ側の貫通孔１２の
開口１２ｂより装着部２の回転の中心より回転方向にず
らして形成される。
けられる。各貫通孔１２は、装着部２の下面２ａより外
側面２ｂに向けて形成される。さらに、下面２ａ側の貫
通孔１２の開口１２ａは、外側面２ｂ側の貫通孔１２の
開口１２ｂより装着部２の回転の中心より回転方向にず
らして形成される。
また、下面２ａ側の開口１２ａにおいて、装着部２の回
転方向とは反対側にフート（図示せず）を設けても良い
。
転方向とは反対側にフート（図示せず）を設けても良い
。
上記した貫通孔１２を設けた装着部２か回転することに
よって、液体（５）か貫通孔■２を通って、外方に飛ば
され易くなる。よって、スピンカップ（１５）の洗浄か
効果的に行える。
よって、液体（５）か貫通孔■２を通って、外方に飛ば
され易くなる。よって、スピンカップ（１５）の洗浄か
効果的に行える。
〈発明の効果〉
以上、説明したようにこの発明によれば、回転軸の外周
に液槽を設けて、液槽中の液体と装着部とを接触させた
ので、装着部の温度を一定に保つことかてきる。よって
、被塗布体に塗布される塗布物の膜厚を均一に形成する
ことかてきる。また液槽の外側壁と装着部の外側面との
間にすき間を設けたのて、装着部の回転によって遠心力
を得た液体かすき間より外方に飛ばされる。よって飛ば
された液体かスピンカップを洗浄するので、スピンカッ
プの清浄度を高めることかできる。
に液槽を設けて、液槽中の液体と装着部とを接触させた
ので、装着部の温度を一定に保つことかてきる。よって
、被塗布体に塗布される塗布物の膜厚を均一に形成する
ことかてきる。また液槽の外側壁と装着部の外側面との
間にすき間を設けたのて、装着部の回転によって遠心力
を得た液体かすき間より外方に飛ばされる。よって飛ば
された液体かスピンカップを洗浄するので、スピンカッ
プの清浄度を高めることかできる。
第１図は、実施例を説明する断面図、
第２図は、供給系の説明図、
第３図は、実施例の動作説明図、
第４図（ａ）は、装着部の正面図、
第４図（ｂ）は、装着部の背面図、
Ｚ５図（ａ）は、従来例の断面図
第５図（ｂ）は、従来例の平面図である。
■・・・液槽付きスピンチャック、 ２・・・装着部。
２ａ・・・下面、２ｂ・・・外側面、 ３・・・回転軸
。 ４・・・液槽、 ４ａ・・・外側壁、 ５・・・液体
。 ６・−・すき間。 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人 弁理士 船 橋 國 則１濯ｔｔ ｔ
−ｒクツごシカで／ク ツ スフｅｆｔ／とＬグＵｊＩ列ｔヨ 第１図 バ超長の１ｙｌ−桐Ｈ 第２図 グ濃席り匁Ｍｔｐ 第５図（０） 第 図（ｂ）
。 ４・・・液槽、 ４ａ・・・外側壁、 ５・・・液体
。 ６・−・すき間。 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人 弁理士 船 橋 國 則１濯ｔｔ ｔ
−ｒクツごシカで／ク ツ スフｅｆｔ／とＬグＵｊＩ列ｔヨ 第１図 バ超長の１ｙｌ−桐Ｈ 第２図 グ濃席り匁Ｍｔｐ 第５図（０） 第 図（ｂ）
Claims (2)
- （１）被塗布体を装着するための装着部と、前記装着部
の下面に形成した回転軸と、 前記回転軸を回転自在にした状態で、前記回転軸の外周
に設けた液槽と、 前記液槽に貯えた液体とにより構成したもので、 前記装着部と前記液体とを接触させ、 前記液槽の外側壁と前記装着部の外側面との間にすき間
を設けたことを特徴とする回転塗布装置の液槽付きスピ
ンチャック。 - （２）前記液体が前記被塗布体に塗布される塗布物の溶
媒であることを特徴とする回転塗布装置の液槽付きスピ
ンチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107095A JP2989215B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 回転塗布装置およびその洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107095A JP2989215B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 回転塗布装置およびその洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047060A true JPH047060A (ja) | 1992-01-10 |
| JP2989215B2 JP2989215B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=14450332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2107095A Expired - Fee Related JP2989215B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 回転塗布装置およびその洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989215B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013000641A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板収容装置 |
| JP2023117776A (ja) * | 2022-02-14 | 2023-08-24 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置、および処理カップの洗浄方法 |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP2107095A patent/JP2989215B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013000641A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板収容装置 |
| TWI568502B (zh) * | 2011-06-15 | 2017-02-01 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Substrate storage device |
| JP2023117776A (ja) * | 2022-02-14 | 2023-08-24 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置、および処理カップの洗浄方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2989215B2 (ja) | 1999-12-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 Year of fee payment: 9 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |