JPH0471192A - 薄膜ｅｌ素子 - Google Patents
薄膜ｅｌ素子Info
- Publication number
- JPH0471192A JPH0471192A JP2183687A JP18368790A JPH0471192A JP H0471192 A JPH0471192 A JP H0471192A JP 2183687 A JP2183687 A JP 2183687A JP 18368790 A JP18368790 A JP 18368790A JP H0471192 A JPH0471192 A JP H0471192A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- emitting layer
- light
- base material
- activators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、薄膜ＥＬ素子に関する。
［従来の技術］
薄膜ＥＬパネルは表示品質がよく、高品質フラットパネ
ルデイスプレィとして期待されている。
ルデイスプレィとして期待されている。
しかし未だ十分な輝度の３原色発光材料は開発されてお
らず、マルチカラーＥＬデイスプレィの実現に至ってい
ない。
らず、マルチカラーＥＬデイスプレィの実現に至ってい
ない。
そこで白色等の広帯域発光をする蛍光体薄膜と、カラー
フィルタとを組み合わせることにより、マルチカラーＥ
Ｌデイスプレィを実現する提案がなされている。（特願
昭６１−１５６８９６参照）［発明が解決しようとする
課題］ 上記特願昭６１−１５６８９６では、高輝度の広帯域発
光薄膜材料として下記の２種類が提案されているが、そ
れぞれ次のような問題点がある。
フィルタとを組み合わせることにより、マルチカラーＥ
Ｌデイスプレィを実現する提案がなされている。（特願
昭６１−１５６８９６参照）［発明が解決しようとする
課題］ 上記特願昭６１−１５６８９６では、高輝度の広帯域発
光薄膜材料として下記の２種類が提案されているが、そ
れぞれ次のような問題点がある。
（１）積層構造発光層
（例）ＺｎＳ： Ｔｂ／ＺｎＳ： Ｍｎ、ＳｒＳ： Ｃ
ｅ／ＣａＳ： Ｅｕ等 この場合、２種類以上の異なった層が積層されて一つの
発光層を形成している。各層はそれぞれ異なった色を発
光し、それらが重なって広帯域の光になるわけであるが
、各々の層の電圧に対する輝度特性（Ｌ−Ｖ特性）が異
なるため、異なった層を重ね合わせた結果として生じる
色調が、印加電圧によって変化してしまう。従って大き
な面積のパネルを作った場合、前記各層の膜厚のばらつ
きや電極の抵抗による電圧降下によって色むらができる
。
ｅ／ＣａＳ： Ｅｕ等 この場合、２種類以上の異なった層が積層されて一つの
発光層を形成している。各層はそれぞれ異なった色を発
光し、それらが重なって広帯域の光になるわけであるが
、各々の層の電圧に対する輝度特性（Ｌ−Ｖ特性）が異
なるため、異なった層を重ね合わせた結果として生じる
色調が、印加電圧によって変化してしまう。従って大き
な面積のパネルを作った場合、前記各層の膜厚のばらつ
きや電極の抵抗による電圧降下によって色むらができる
。
（２）複合付活剤
（例）ＳｒＳ： Ｃｅ、Ｅｕ等
これは２種類以上の付活剤を１種類の発光層母材の中に
ドープして、広帯域の発光を得るものである。この場合
、２種類以上の付活剤はそれぞれ蒸気圧や、母材に対す
る付着確率あるいは反応性が異なるため、発光層の組成
の制御が難しく、大面積にわたって最適な付活剤濃度比
を得ることは困難である。従って、場所によって付活剤
濃度比が異なるパネルとなるため、色むらができてしま
う。
ドープして、広帯域の発光を得るものである。この場合
、２種類以上の付活剤はそれぞれ蒸気圧や、母材に対す
る付着確率あるいは反応性が異なるため、発光層の組成
の制御が難しく、大面積にわたって最適な付活剤濃度比
を得ることは困難である。従って、場所によって付活剤
濃度比が異なるパネルとなるため、色むらができてしま
う。
本発明は上記従来の問題点に着目し、大面積のフラット
パネルに用いた場合に、均一な広帯域発光を得ることが
できるような薄膜ＥＬ素子を提供することを目的とする
。
パネルに用いた場合に、均一な広帯域発光を得ることが
できるような薄膜ＥＬ素子を提供することを目的とする
。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために本発明に係る薄膜ＥＬ素子は
、少なくともｌＮの絶縁膜を有する薄膜ＥＬ素子の発光
層において、使用する発光層母材を１種類、この母材中
にドープする付活剤を複数種類とし、前記母材中に付活
剤を１種類ずつ独立にドープした層を交互に積層し、こ
れらの層が周期的に配列されている構成とし、このよう
な構成において、発光層母材がＺｎＳ、付活剤がＴｂと
Ｍｎであってもよく、発光層母材がＳｒＳ、付活剤がＣ
ｅとＥｕであってもよい。
、少なくともｌＮの絶縁膜を有する薄膜ＥＬ素子の発光
層において、使用する発光層母材を１種類、この母材中
にドープする付活剤を複数種類とし、前記母材中に付活
剤を１種類ずつ独立にドープした層を交互に積層し、こ
れらの層が周期的に配列されている構成とし、このよう
な構成において、発光層母材がＺｎＳ、付活剤がＴｂと
Ｍｎであってもよく、発光層母材がＳｒＳ、付活剤がＣ
ｅとＥｕであってもよい。
［作用］
付活剤がドープされている各層の膜厚が十分に薄いと、
異なる付活剤相互の間でエネルギーの伝達が生じ、従来
の技術による積層構造発光層のような印加電圧による色
調の変化が起こらない。また異なる付活剤はそれぞれ独
立にドープされているため、各層には１種類の付活剤し
か存在せず。
異なる付活剤相互の間でエネルギーの伝達が生じ、従来
の技術による積層構造発光層のような印加電圧による色
調の変化が起こらない。また異なる付活剤はそれぞれ独
立にドープされているため、各層には１種類の付活剤し
か存在せず。
従来の複合付活剤をドープした発光層のように、付活剤
の濃度比による色調の変化を生じることもない。従って
大面積パネルにおいて、均一な広帯域発光を得ることが
できる。
の濃度比による色調の変化を生じることもない。従って
大面積パネルにおいて、均一な広帯域発光を得ることが
できる。
［実施例］
以下に本発明に係る薄膜ＥＬ素子の実施例について、図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
第１図において、透明なガラス基板１の上に透明導電膜
２としてＩＴＯが０．１μｍの厚さに形成され、その上
に５ｉＯＮからなる厚さ ０．１５μｍの第１絶縁膜３
が形成されている。第１絶縁膜３の上に、ＳｒＳ： Ｃ
ｅとＳｒＳ：Ｅｕとをそれぞれ厚さ１００人ずつ交互に
形成し、各々６０層ずつ積層した発光層４（厚さ １．
２μｍ）が成膜されている。この発光層４の上に第２絶
紗膜５として５ｉＯＮが厚さ ０．１５μｍに形成され
、最上部に厚さ ０．２μｍのＡ（からなる背面電極６
が形成されている。
２としてＩＴＯが０．１μｍの厚さに形成され、その上
に５ｉＯＮからなる厚さ ０．１５μｍの第１絶縁膜３
が形成されている。第１絶縁膜３の上に、ＳｒＳ： Ｃ
ｅとＳｒＳ：Ｅｕとをそれぞれ厚さ１００人ずつ交互に
形成し、各々６０層ずつ積層した発光層４（厚さ １．
２μｍ）が成膜されている。この発光層４の上に第２絶
紗膜５として５ｉＯＮが厚さ ０．１５μｍに形成され
、最上部に厚さ ０．２μｍのＡ（からなる背面電極６
が形成されている。
発光層４の成膜はＭＳＤ （Ｍｕ ｌ ｔ １−５ｏｕ
ｒｃｅ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用い、第２図に
示すＭＳＤ装置で行った。すなわち真空槽７内に４個の
蒸着ｆｆ８． ９． １０． １１を配設し、これらの
蒸着源にそれぞれＳｒ、 Ｓ、 Ｃｅ、 Ｅｕを
充填した。ガラス基板ｌは真空槽７内上部の基板ホルダ
１２で保持し、ＳｒＳ： ＣｅとＳｒＳ：Ｅｕとの周期
的交互積層は、Ｃｅ用蒸着源ｌＯおよびＥｕ用蒸着源１
１に付設されたシャッタ１３を交互に開閉することによ
り行った。また前記透明導電膜２、第１絶縁膜３および
第２絶縁膜５、背面電極６は、スパッタリング法で成膜
した。
ｒｃｅ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用い、第２図に
示すＭＳＤ装置で行った。すなわち真空槽７内に４個の
蒸着ｆｆ８． ９． １０． １１を配設し、これらの
蒸着源にそれぞれＳｒ、 Ｓ、 Ｃｅ、 Ｅｕを
充填した。ガラス基板ｌは真空槽７内上部の基板ホルダ
１２で保持し、ＳｒＳ： ＣｅとＳｒＳ：Ｅｕとの周期
的交互積層は、Ｃｅ用蒸着源ｌＯおよびＥｕ用蒸着源１
１に付設されたシャッタ１３を交互に開閉することによ
り行った。また前記透明導電膜２、第１絶縁膜３および
第２絶縁膜５、背面電極６は、スパッタリング法で成膜
した。
発光層の成膜は、ＣＶＤ （Ｃｈｅｍｉ ｃａ １Ｖａ
ｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いて、Ｃｅと
Ｅｕの原料ガスを交互に切り換えることによって成膜し
てもよい。
ｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いて、Ｃｅと
Ｅｕの原料ガスを交互に切り換えることによって成膜し
てもよい。
第３図に本実施例における薄膜ＥＬ素子の発光スペクト
ルを示す。同図によれば、波長４７０〜６２０ｎｍの広
帯域にわたって高輝度の発光が得られることが分かる。
ルを示す。同図によれば、波長４７０〜６２０ｎｍの広
帯域にわたって高輝度の発光が得られることが分かる。
また発光層母材としてＺｎＳを用い、付活剤としてＴｂ
とＭｎとを用い、ＺｎＳ： ＴｂとＺｎＳ：Ｍｎとを交
互に積層してなる発光層を有する薄膜ＥＬ素子について
も、上記と同様に良好な結果が得られた。
とＭｎとを用い、ＺｎＳ： ＴｂとＺｎＳ：Ｍｎとを交
互に積層してなる発光層を有する薄膜ＥＬ素子について
も、上記と同様に良好な結果が得られた。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、発光層母材を１種
類に限定し、これに複数の付活剤を１種類ずつそれぞれ
独立にドープした薄膜を周期的に交互に積層して発光層
としたので、異なる付活剤相互の間でエネルギーの伝達
を生じ、印加電圧による色調の変化や、付活剤の濃度比
のばらつきによる色調の変化が起こらない。従って、大
面積にわたって均一な広帯域発光が得られ、これにカラ
ーフィルタを組み合わせることにより、高品質の薄形カ
ラーデイスプレィが実現可能となる。
類に限定し、これに複数の付活剤を１種類ずつそれぞれ
独立にドープした薄膜を周期的に交互に積層して発光層
としたので、異なる付活剤相互の間でエネルギーの伝達
を生じ、印加電圧による色調の変化や、付活剤の濃度比
のばらつきによる色調の変化が起こらない。従って、大
面積にわたって均一な広帯域発光が得られ、これにカラ
ーフィルタを組み合わせることにより、高品質の薄形カ
ラーデイスプレィが実現可能となる。
第１図は実施例に係る薄膜ＥＬ素子の断面構造説明図、
第２図は本実施例に用いたＭＳＤ装置の概略構成を示す
図、第３図は実施例に係る薄膜ＥＬ素子の発光スペクト
ルを示す図である。 １・・・・・・ガラス基板 ２・・・・・・透明導電膜 ３・・・・・・第１絶縁膜 ４・・・・・・発光層 ５・・・・・・第２絶紗膜 ６・・・・・・背面電極
第２図は本実施例に用いたＭＳＤ装置の概略構成を示す
図、第３図は実施例に係る薄膜ＥＬ素子の発光スペクト
ルを示す図である。 １・・・・・・ガラス基板 ２・・・・・・透明導電膜 ３・・・・・・第１絶縁膜 ４・・・・・・発光層 ５・・・・・・第２絶紗膜 ６・・・・・・背面電極
Claims (3)
- （１）少なくとも１層の絶縁膜を有する薄膜ＥＬ素子の
発光層において、使用する発光層母材を１種類、この母
材中にドープする付活剤を複数種類とし、前記母材中に
付活剤を１種類ずつ独立にドープした層を交互に積層し
、これらの層が周期的に配列されている構成を特徴とす
る薄膜ＥＬ素子。 - （２）発光層母材がＺｎＳ、付活剤がＴｂとＭｎである
請求項（１）記載の薄膜ＥＬ素子。 - （３）発光層母材がＳｒＳ、付活剤がＣｅとＥｕである
請求項（１）記載の薄膜ＥＬ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2183687A JPH0471192A (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | 薄膜ｅｌ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2183687A JPH0471192A (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | 薄膜ｅｌ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0471192A true JPH0471192A (ja) | 1992-03-05 |
Family
ID=16140177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2183687A Pending JPH0471192A (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | 薄膜ｅｌ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0471192A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005302693A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-10-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電界発光装置 |
| WO2006077864A1 (ja) * | 2005-01-19 | 2006-07-27 | T. Chatani & Co., Ltd. | 発光体の製造方法、発光体、及び発光装置 |
-
1990
- 1990-07-11 JP JP2183687A patent/JPH0471192A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005302693A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-10-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電界発光装置 |
| US7816862B2 (en) | 2004-03-19 | 2010-10-19 | Fujifilm Corporation | Electroluminescent device with enhanced color rendition |
| WO2006077864A1 (ja) * | 2005-01-19 | 2006-07-27 | T. Chatani & Co., Ltd. | 発光体の製造方法、発光体、及び発光装置 |
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