JPH0471307B2 - - Google Patents
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- JPH0471307B2 JPH0471307B2 JP59037097A JP3709784A JPH0471307B2 JP H0471307 B2 JPH0471307 B2 JP H0471307B2 JP 59037097 A JP59037097 A JP 59037097A JP 3709784 A JP3709784 A JP 3709784A JP H0471307 B2 JPH0471307 B2 JP H0471307B2
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- tube
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本発明は発光分光分析用グロー放電管に関す
る。
る。
ロ 従来技術
従来の発光分光分析用グロー放電管の基本的な
構成を第１図に示す。Ａは中空の陽極体で前面に
光を取出すための窓Ｗがあり石英ガラス等の板で
覆つてある。Ｋは中空の陰極体で、Ｉは陽極体Ａ
と陰極体Ｋとの間を絶縁する絶縁体であつて、両
電極体Ａ，Ｋ間に直流高電圧が印加される。陽極
体Ａから陰極体Ｋの中空部内に短接管Ｔが延出し
てある。Ｓは陰極体Ｋの中空孔をふさぐようにセ
ツトされた試料で電気的には陰極体と一体になつ
ている。このような構成で給気口Inからアルゴン
等の放電ガスが導入され、このガスは陽極体Ａに
穿たれた排気口０１及び短接管Ｔの外周で陰極体
Ｋに穿たれた排気口０２の２個所から排気されて
いる。短接管Ｔの端面と試料Ｓの表面との間の隙
間Ｇは約0.2mmであり、短接管Ｔの肉厚は約２mm
（同管の外径10mm、内径６mm）、また短接管Ｔの外
周と陰極体Ｋの内面との間の隙間は約0.25mmであ
る。このように短接管Ｔの内側空間と排気口０２
との間は隙間が0.2〜0.25mm程度とせまく、相当
長距離の排気通路になつているので、短接管Ｔの
内部空間は２〜20Torr程度の圧力が安定して維
持され、隙間Ｇ及び短接管Ｔの外周空間は真空状
態（２〜20Torr）が維持される。このため短接
管Ｔ内空間には安定なグロー放電領域が形成さ
れ、しかも短接管の端面及び外周面と陰極電位部
（試料及び陰極体）との間では放電が行われない。
試料Ｓの表面と短接管Ｔの内面との間で放電が行
われる結果、陰極スパツタリングによつて試料物
質蒸気が放電領域に飛散して励起され発光する。
構成を第１図に示す。Ａは中空の陽極体で前面に
光を取出すための窓Ｗがあり石英ガラス等の板で
覆つてある。Ｋは中空の陰極体で、Ｉは陽極体Ａ
と陰極体Ｋとの間を絶縁する絶縁体であつて、両
電極体Ａ，Ｋ間に直流高電圧が印加される。陽極
体Ａから陰極体Ｋの中空部内に短接管Ｔが延出し
てある。Ｓは陰極体Ｋの中空孔をふさぐようにセ
ツトされた試料で電気的には陰極体と一体になつ
ている。このような構成で給気口Inからアルゴン
等の放電ガスが導入され、このガスは陽極体Ａに
穿たれた排気口０１及び短接管Ｔの外周で陰極体
Ｋに穿たれた排気口０２の２個所から排気されて
いる。短接管Ｔの端面と試料Ｓの表面との間の隙
間Ｇは約0.2mmであり、短接管Ｔの肉厚は約２mm
（同管の外径10mm、内径６mm）、また短接管Ｔの外
周と陰極体Ｋの内面との間の隙間は約0.25mmであ
る。このように短接管Ｔの内側空間と排気口０２
との間は隙間が0.2〜0.25mm程度とせまく、相当
長距離の排気通路になつているので、短接管Ｔの
内部空間は２〜20Torr程度の圧力が安定して維
持され、隙間Ｇ及び短接管Ｔの外周空間は真空状
態（２〜20Torr）が維持される。このため短接
管Ｔ内空間には安定なグロー放電領域が形成さ
れ、しかも短接管の端面及び外周面と陰極電位部
（試料及び陰極体）との間では放電が行われない。
試料Ｓの表面と短接管Ｔの内面との間で放電が行
われる結果、陰極スパツタリングによつて試料物
質蒸気が放電領域に飛散して励起され発光する。
上述したような従来のグロー放電管には次のよ
うな問題があつた。隙間Ｇは間隙が約0.2mmでガ
スの流れ方向即ち短接管の半径方向には約２mmと
云つた長さを有し、短接管外周面とそれを囲む陰
極体内面間の隙間は約0.25mmで、このようなせま
い隙間は短接管Ｔの内部空間に安定した適圧を維
持するために必要なものである。所が間隔がせま
いため、陰極スパツタリングにより揮散した試料
物質が排気ガスの流れに乗つて上記隙間の両面に
付着して、短接管と試料及び陰極体間を橋絡し、
陽極と陰極との間をシヨートさせてしまうと云う
ことが起りやすかつた。このようなトラブルを未
然に防ぐには、放電管を分解して清掃する必要が
あり、分析の作業性が低下していた。また試料が
薄い場合、陰極体Ｋに試料をセツトすると、試料
は外気圧によつて放電管内に押し込まれるように
撓み、陰極スパツタリングによる付着がなくても
試料と短接管とが接触してしまつて、分析に困難
を来すようなことがあつた。
うな問題があつた。隙間Ｇは間隙が約0.2mmでガ
スの流れ方向即ち短接管の半径方向には約２mmと
云つた長さを有し、短接管外周面とそれを囲む陰
極体内面間の隙間は約0.25mmで、このようなせま
い隙間は短接管Ｔの内部空間に安定した適圧を維
持するために必要なものである。所が間隔がせま
いため、陰極スパツタリングにより揮散した試料
物質が排気ガスの流れに乗つて上記隙間の両面に
付着して、短接管と試料及び陰極体間を橋絡し、
陽極と陰極との間をシヨートさせてしまうと云う
ことが起りやすかつた。このようなトラブルを未
然に防ぐには、放電管を分解して清掃する必要が
あり、分析の作業性が低下していた。また試料が
薄い場合、陰極体Ｋに試料をセツトすると、試料
は外気圧によつて放電管内に押し込まれるように
撓み、陰極スパツタリングによる付着がなくても
試料と短接管とが接触してしまつて、分析に困難
を来すようなことがあつた。
ハ 目的
本発明は上述したような従来のグロ−放電管の
問題点を解消することを目的としている。
問題点を解消することを目的としている。
ニ 構成
短接管と陰極部（陰極体及び試料）との間にせ
まい隙間を形成しているのは、短接管内に安定し
たグロー放電を形成するための安定したガス圧維
持のために適当な排気抵抗を与えかつこの隙間部
分では放電が起らないようにするのがその目的で
あつて、導電体同士が直接対向している必要性は
ないのである。本発明はこの点に着眼して、上述
した隙間を形成する対向面の何れかを絶縁体の表
面とするものである。
まい隙間を形成しているのは、短接管内に安定し
たグロー放電を形成するための安定したガス圧維
持のために適当な排気抵抗を与えかつこの隙間部
分では放電が起らないようにするのがその目的で
あつて、導電体同士が直接対向している必要性は
ないのである。本発明はこの点に着眼して、上述
した隙間を形成する対向面の何れかを絶縁体の表
面とするものである。
ホ 実施例
第２図は本発明の一実施例を示す。この実施例
の特徴は短接管Ｔを薄肉の金属管とし、絶縁管１
内に嵌込み、絶縁管１の端面と試料Ｓの表面との
間で隙間Ｇを形成し、短接管Ｔの端縁を絶縁管１
の端面より内方に後退させた点にあり、この後退
によつて短接管Ｔの端縁と試料面との間の距離は
0.5mmとなつている。実際上グロー放電の形成に
はこの距離は0.5mm以上あつてもよいのである。
以上の他の構成は第１図に示したものと同じであ
るから、第１図の各部と同じ部分には同じ符号を
付し、説明を省略する。
の特徴は短接管Ｔを薄肉の金属管とし、絶縁管１
内に嵌込み、絶縁管１の端面と試料Ｓの表面との
間で隙間Ｇを形成し、短接管Ｔの端縁を絶縁管１
の端面より内方に後退させた点にあり、この後退
によつて短接管Ｔの端縁と試料面との間の距離は
0.5mmとなつている。実際上グロー放電の形成に
はこの距離は0.5mm以上あつてもよいのである。
以上の他の構成は第１図に示したものと同じであ
るから、第１図の各部と同じ部分には同じ符号を
付し、説明を省略する。
この実施例では隙間Ｇが絶縁管１の両面と試料
Ｓとの間で形成されているので、試料物質が隙間
Ｇの試料対向面に付着して隙間Ｇが橋絡しても電
気的なシヨートは起らずグロー放電は安定に維持
される。試料が薄くて撓む場合も同様の効果があ
る。
Ｓとの間で形成されているので、試料物質が隙間
Ｇの試料対向面に付着して隙間Ｇが橋絡しても電
気的なシヨートは起らずグロー放電は安定に維持
される。試料が薄くて撓む場合も同様の効果があ
る。
第３図は本出願の二番目の発明の実施例であ
る。この実施例は第１図における陰極体Ｋを絶縁
材料で形成した外套部２とし、試料Ｓだけを陰極
としたものである。陰極スパツタリングによつて
揮散した試料物質が外套部２の内面及び短接管Ｔ
外面に付着して両者間がこの付着物質で橋絡され
ても、外套部は絶縁体であるから陰極陽極間の電
気的なシヨートは起らない。
る。この実施例は第１図における陰極体Ｋを絶縁
材料で形成した外套部２とし、試料Ｓだけを陰極
としたものである。陰極スパツタリングによつて
揮散した試料物質が外套部２の内面及び短接管Ｔ
外面に付着して両者間がこの付着物質で橋絡され
ても、外套部は絶縁体であるから陰極陽極間の電
気的なシヨートは起らない。
外套部２の内面が全面絶縁体の表面であると、
陰陽極間電圧に不安定な変動が現れる。これは外
套部内面にイオンが付着し内面の帯電状態が不安
定に変化するためと考えられる。この実施例では
外套部内面に導体の短筒３を嵌着してある。この
短筒３は陽極体Ａとも陰極である試料Ｓとも直接
には接続してないので浮遊電極となつており、全
体が両極間の中間の一定電位になつている。この
ような浮遊電極を設けることによつて、陰陽両電
極間電圧が安定し、安定したグロー放電が得ら
れ、安定した陰極スパツタリングが行われるよう
になつた。
陰陽極間電圧に不安定な変動が現れる。これは外
套部内面にイオンが付着し内面の帯電状態が不安
定に変化するためと考えられる。この実施例では
外套部内面に導体の短筒３を嵌着してある。この
短筒３は陽極体Ａとも陰極である試料Ｓとも直接
には接続してないので浮遊電極となつており、全
体が両極間の中間の一定電位になつている。この
ような浮遊電極を設けることによつて、陰陽両電
極間電圧が安定し、安定したグロー放電が得ら
れ、安定した陰極スパツタリングが行われるよう
になつた。
ヘ 効果
本発明グロー放電管は上述したような構成で、
端接管とそれに対向している部分とで形成される
隙間の少くとも一方側の表面が絶縁材料で形成さ
れているので、この隙間が試料の揮散物質の付着
によつて橋絡されても陰陽両極間の電気的なシヨ
ートは起らず安定したグロー放電を持続すること
ができ、シヨートを防ぐため放電管を分解して清
掃する手間が大幅に省けて分析能率の向上が得ら
れる。
端接管とそれに対向している部分とで形成される
隙間の少くとも一方側の表面が絶縁材料で形成さ
れているので、この隙間が試料の揮散物質の付着
によつて橋絡されても陰陽両極間の電気的なシヨ
ートは起らず安定したグロー放電を持続すること
ができ、シヨートを防ぐため放電管を分解して清
掃する手間が大幅に省けて分析能率の向上が得ら
れる。
第１図は従来例の縦断側面図、第２図は本発明
の他の一実施例の従断側面図、第３図は本発明の
他の一実施例の縦断側面図である。 Ａ……陽極体、Ｉ……絶縁体、Ｋ……陰極体、
Ｔ……短接管、Ｓ……試料、Ｗ……窓、１……短
接管をカバーする絶縁体の管、２……外套体、３
……浮遊電極、Ｇ……隙間。
の他の一実施例の従断側面図、第３図は本発明の
他の一実施例の縦断側面図である。 Ａ……陽極体、Ｉ……絶縁体、Ｋ……陰極体、
Ｔ……短接管、Ｓ……試料、Ｗ……窓、１……短
接管をカバーする絶縁体の管、２……外套体、３
……浮遊電極、Ｇ……隙間。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 陽極体から延出した短接管の端面と試料面と
を対向させ短接管の端面と、同端面に対向する試
料の表面との間及び短接管の外周とそれを囲む部
分との間に夫々隙間を形成し、この隙間を排気通
路とした構成において、上記短接管の試料表面と
対向して隙間を形成している面を絶縁材料の表面
としたことを特徴とする発光分光分析用グロー放
電管。 ２ 陽極体から延出した短接管の端面と試料面と
を対向させ短接管の端面と、同端面に対向する試
料の表面との間及び短接管の外周とそれを囲む部
分との間に夫々隙間を形成し、この隙間を排気通
路とした構成において、短接管外周を囲む部分を
絶縁材料よりなる外套部とし、この外套部の内面
に導体の短筒を嵌め込んで、陽極体と陰極である
試料との間における浮遊電極としたことを特徴と
する発光分光分析用グロー放電管。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59037097A JPS60180056A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 発光分光分析用グロ−放電管 |
| DE8585901076T DE3578214D1 (de) | 1984-02-27 | 1985-02-26 | Gluehentladungsroehre fuer analysen. |
| US06/799,375 US4733130A (en) | 1984-02-27 | 1985-02-26 | Insulating tube surrouding anode tube in analytical glow discharge tube |
| EP85901076A EP0174374B1 (en) | 1984-02-27 | 1985-02-26 | Glow discharge tube for analysis |
| PCT/JP1985/000086 WO1985004015A1 (fr) | 1984-02-27 | 1985-02-26 | Tube a decharge luminescente pour analyses |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59037097A JPS60180056A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 発光分光分析用グロ−放電管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60180056A JPS60180056A (ja) | 1985-09-13 |
| JPH0471307B2 true JPH0471307B2 (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=12488073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59037097A Granted JPS60180056A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 発光分光分析用グロ−放電管 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4733130A (ja) |
| EP (1) | EP0174374B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60180056A (ja) |
| DE (1) | DE3578214D1 (ja) |
| WO (1) | WO1985004015A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0297548B1 (en) * | 1987-06-29 | 1994-06-01 | Sumitomo Electric Industries Limited | Sample holder for glow discharge mass spectrometer |
| JPH01206237A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Shimadzu Corp | グロー放電発光分光分析装置 |
| FI81453C (fi) * | 1988-06-22 | 1990-10-10 | Outokumpu Oy | Analysatortaetning. |
| GB9000547D0 (en) * | 1990-01-10 | 1990-03-14 | Vg Instr Group | Glow discharge spectrometry |
| JPH0669163U (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-27 | 石田プレス工業株式会社 | 液垂れ防止用の瓶蓋 |
| JP2000187002A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Horiba Ltd | グロー放電発光分光分析装置 |
| KR100356064B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2002-10-12 | 학교법인 한마학원 | 원자방출분광계용 고효율의 관통형 속 빈 음극관 글로우방전 셀 |
| KR100437728B1 (ko) * | 2002-01-26 | 2004-06-30 | 에이치아이티 주식회사 | 가스분출 글로우방전을 이용한 시료의 이온화장치를구비하는 질량분석시스템 |
| FR2986105B1 (fr) * | 2012-01-20 | 2014-12-05 | Horiba Jobin Yvon Sas | Lampe a decharge luminescente pour spectrometre de decharge luminescente |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1589389B2 (de) * | 1967-06-10 | 1971-03-18 | Grimm. Werner, Dr.rer.nat, 6454 Großauheim | Glimmentladungsroehre |
| US3909652A (en) * | 1973-07-06 | 1975-09-30 | Snecma | Luminous discharge cell for spectrographic analysis |
| JPS5092190A (ja) * | 1973-12-14 | 1975-07-23 | ||
| JPS50128584A (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-09 | ||
| JPS5125989U (ja) * | 1974-08-15 | 1976-02-25 | ||
| JPH0592190A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-16 | Kyosei Kagaku Kk | 廃酸液の処理方法 |
-
1984
- 1984-02-27 JP JP59037097A patent/JPS60180056A/ja active Granted
-
1985
- 1985-02-26 DE DE8585901076T patent/DE3578214D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-02-26 US US06/799,375 patent/US4733130A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-02-26 WO PCT/JP1985/000086 patent/WO1985004015A1/ja not_active Ceased
- 1985-02-26 EP EP85901076A patent/EP0174374B1/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0174374A1 (en) | 1986-03-19 |
| DE3578214D1 (de) | 1990-07-19 |
| JPS60180056A (ja) | 1985-09-13 |
| EP0174374B1 (en) | 1990-06-13 |
| US4733130A (en) | 1988-03-22 |
| EP0174374A4 (en) | 1987-10-20 |
| WO1985004015A1 (fr) | 1985-09-12 |
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| JPS58161851A (ja) | 発光分光分析用グロ−放電装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |