JPS60180056A - 発光分光分析用グロ−放電管 - Google Patents

発光分光分析用グロ−放電管

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JPS60180056A
JPS60180056A JP59037097A JP3709784A JPS60180056A JP S60180056 A JPS60180056 A JP S60180056A JP 59037097 A JP59037097 A JP 59037097A JP 3709784 A JP3709784 A JP 3709784A JP S60180056 A JPS60180056 A JP S60180056A
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JP
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tube
cathode
sample
anode
short
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JP59037097A
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Takao Miyama
隆男 深山
Shoichi Tanaka
正一 田中
Isao Fukui
福井　勲
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Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Original Assignee
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
    • G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ・　産業上の利用分野 本発明は発光分光分析用光源のグロー放電管に関する。
口・従来技術 従来の発光分光分析用グロー放電管の基本的な構成を第
１図に示す。Ａは中空の陽極体で前面に光を取出すだめ
の窓Ｗがちシ石英ガラス等の板で覆っである。Ｋは中空
の陰極体で、■は陽極体Ａと陰極体にとの間を絶縁する
絶縁体であって、両電極体Ａ、に間に直流高電圧が印加
される。陽極体Ａから陰極体にの中空部内に短接管Ｔが
延出しである。Ｓは陰極体にの中空孔をふさぐようにセ
ットされた試料で電気的には陰極体と一体になっている
っこのような構成で給気ロエｎからアルゴン等の放電ガ
スが導入され、このガスは陽極体Ａに穿たれた排気口０
１及び短接管Ｔの外周で陰極体Ｋに穿たれた排気口０２
の２個所から排気されている。短接管Ｔの端面と試料Ｓ
の表面との間の隙間Ｇは約０．２ｍｍであり、短接管Ｔ
の肉厚は約２ｍｍ（間管の外径１０．ｒｎｒｎ、内径６
ｍｍ）、また短接管Ｔの外周と陰極体にの内面との間の
隙間は約０．’２５　ｍ　ｍである。このように短接管
Ｔの内側空間と排気口０２との間は隙間が０．２〜０．
２５ｍｍ程度とせまく、和尚長距離の排気通路になって
いるので、短接管Ｔの内部空間は２〜２０　Ｔｏｒｒ程
度の圧力が安定して維持され、隙間Ｇ及び短接管Ｔの外
周空間は真空状態（２〜２０　ＴＯｒのが維持される。
このだめ短接管Ｔ内空間には安定なグロー放電領域が形
成され、しかも短接管の端面及び外周面と陰極電位部（
試料及び陰極体）との間では放電が行われない。試料Ｓ
の表面と短接管Ｔの内面との間で放電が行われる結果、
陰極スパッタリングによって試料物質蒸気が放電領域に
飛散して励起され発光する。
上述したような従来のグロー放電管には次のような問題
があった。隙間Ｇは間隙が約０．２ｍｍでガスの流れ方
向即ち短接管の半径方向には約２ｍｍと云った長さを有
し、短接管外周面とそれを囲む陰極体内面間の隙間は約
０・２５ｍｍで・このようなせまい隙間は短接管Ｔの内
部空間に安定しだ適圧を維持するために必要なものであ
る。所が間隔がせまいためず、陰極スパッタリングによ
り揮散じた試料物質が排気ガスの流れに乗って上記隙間
の両面に付着して、短接管と試料及び陰極体間を橋絡し
、陽極と陰極との間をショートさせてしまうと云うこと
が起りやすかった。このようなトラブルを未然に防ぐに
は、放電管を分解して清掃する必要がちシ、分析の作業
性が低下していた。まだ試料が薄い場合、陰極体Ｋに試
料をセットすると、試料は外気圧によって放電管内に押
し込まれるように撓み、陰極スパッタリングによる付着
がなくても試料と短接管とが接触してし才って、分析に
困難を来すようなことがあった。
ハロ　的 本発明は上述したような従来のグロー放電管の問題点を
解消することを目的としている。
二、構　成 短接管と陰極部（陰極体及び試料）との間にせまい隙間
を形成しているのは、短接管内に安定したグロー放電を
形成するための安定したガス圧維持のだめに適当な排気
抵抗を与えかっこの隙間部分では放電が起らないように
するのがその目的であって、導電体同士が直接対向して
いる必要性はないのである。本発明はこの点に着眼して
、上述した隙間を形成する対向面の何れかを絶縁体の表
面とするものである。
ホ、実施例 第２図は本発明の一実施例を示す。この実施例の特徴は
短接管Ｔを薄肉の金属管とし、絶縁管１内に嵌込み、絶
縁管１の端面と試料Ｓの表面との間で隙間Ｇを形成し、
短接管Ｔの端縁を絶縁管１の端面より内方に後退させた
点にあり、この後退によって短接管Ｔの端縁と試料面と
の間の距離は０．５ｍｍとなっている。実際上グロー放
電の形成にはこの距離は０．５ｍｍ以上あってもよいの
である。以上の他の構成は第１図に示したものと同じで
あるから、第１図の各部と同じ部分には同じ符号をイづ
し、説明を省略する。
この実施例では隙間Ｇが絶縁管１の端面と試料Ｓとの間
で形成されているので、試料物質が隙間Ｇの試料対向面
に付着して隙間Ｇが橋絡しても電気的なショートは起ら
ずグロー放電は安定に維持される。試料が薄くて撓む場
合も同様の効果がある。
第３図は本発明の他の実施例である、この実施例は第１
図における陰極体Ｋを絶縁材料で形成した外套部２とし
、試料Ｓだけを陰極としたものである。陰極スパッタリ
ングによって揮散した試料物質が外套部２の内面及び短
接管Ｔ外面に付着して両者間がこの付着物質で橋絡され
ても、外套部は絶縁体であるから陰極陽極間の電気的な
ショートは起らない。
外套部２の内面が全面絶縁体の表面であると、陰陽極間
電圧に不安定な変動が現れる。ぬれは外套部内面にイオ
ンが付着し内面の帯電状態が不安定に変化するためと考
えられる。この実施例では外套部内面に導体の短筒３を
嵌着しである。との短筒３は陽極体Ａとも陰極である試
料Ｓとも直接には接続してないので浮遊電極となってお
り、全体が両極間の中間の一定電位になっている。この
ような浮遊電極を設けることによって、陰陽両電極間電
圧が安定し、安定したグロー放電が得られ、安定した陰
極スパッタリングが行われるようになつた。
へ、効　果 本発明グロー放電管は上述したような構成で、端接管と
それに対向している部分とで形成される隙間の少くとも
一方側の表面が絶縁材料で形成されているので、この隙
間が試料の揮散物質の付着によって橋絡されても陰陽両
極間の電気的なショートは起らず安定したグロー放電を
持続することができ、ショートを防ぐため放電管を分解
して清掃する手間が大幅に省けて分析能率の向上が得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の縦断側面図、第２図は本発明の他の一
実施例の従断側面図、第３図は本発明の他の一実施例の
縦断測面図である。 Ａ・・・陽極体、工・・・絶縁体、Ｋ・・・陰極体、Ｔ
・・・短接管でＳ・・・試料、Ｗ・・・窓、１・・・短
接管をカバーする絶縁体の管、２・・・外套体、３・・
・浮遊電極。 代理人　弁理士　係　浩　介

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）陽極体から延出した短接管の端面と試料面とを対
    向させ短接管の端面と、同端面に対向する試料の表面と
    の間及び短接管の外周とそれを囲む部分との間に夫々隙
    間を形成し、この隙間を排気通路とした構成において、
    上記隙間を形成している対向面の少くとも何れか一方を
    絶縁材料の表面としたことを特徴とする発光分析用グロ
    ー放電管。
  2. （２）短接管外周を囲む部分を絶縁材料よシなる外套部
    とし、この外套部の内面に導体の短筒を嵌め込んで、陽
    極体と陰極である試料との間における浮遊電極とした特
    許請求の範囲第１項記載の発光分光分析用グロー放電管
    。
JP59037097A 1984-02-27 1984-02-27 発光分光分析用グロ−放電管 Granted JPS60180056A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59037097A JPS60180056A (ja) 1984-02-27 1984-02-27 発光分光分析用グロ−放電管
EP85901076A EP0174374B1 (en) 1984-02-27 1985-02-26 Glow discharge tube for analysis
US06/799,375 US4733130A (en) 1984-02-27 1985-02-26 Insulating tube surrouding anode tube in analytical glow discharge tube
PCT/JP1985/000086 WO1985004015A1 (fr) 1984-02-27 1985-02-26 Tube a decharge luminescente pour analyses
DE8585901076T DE3578214D1 (de) 1984-02-27 1985-02-26 Gluehentladungsroehre fuer analysen.

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JP59037097A JPS60180056A (ja) 1984-02-27 1984-02-27 発光分光分析用グロ−放電管

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JPS60180056A true JPS60180056A (ja) 1985-09-13
JPH0471307B2 JPH0471307B2 (ja) 1992-11-13

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EP (1) EP0174374B1 (ja)
JP (1) JPS60180056A (ja)
DE (1) DE3578214D1 (ja)
WO (1) WO1985004015A1 (ja)

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DE3578214D1 (de) 1990-07-19
JPH0471307B2 (ja) 1992-11-13
EP0174374A4 (en) 1987-10-20
US4733130A (en) 1988-03-22
EP0174374A1 (en) 1986-03-19
WO1985004015A1 (fr) 1985-09-12

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