JPH0471848B2 - - Google Patents
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- JPH0471848B2 JPH0471848B2 JP20694483A JP20694483A JPH0471848B2 JP H0471848 B2 JPH0471848 B2 JP H0471848B2 JP 20694483 A JP20694483 A JP 20694483A JP 20694483 A JP20694483 A JP 20694483A JP H0471848 B2 JPH0471848 B2 JP H0471848B2
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- C01G25/00—Compounds of zirconium
- C01G25/006—Compounds containing zirconium, with or without oxygen or hydrogen, and containing two or more other elements
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/30—Three-dimensional structures
- C01P2002/34—Three-dimensional structures perovskite-type (ABO3)
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
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- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
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- C01P2004/03—Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
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- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、誘電体材料の１種であるチタン酸バ
リウムとジルコニウム酸バリウムの固溶体微粒子
を製造するための方法に関する。
リウムとジルコニウム酸バリウムの固溶体微粒子
を製造するための方法に関する。
近年、誘電体材料を微粒子化するための製造方
法が種々の角度から研究されているが、その微粒
子化した誘電体材料の用途の一つとしてセラミツ
クコンデンサへの応用がある。電子製品の小形
化、高密度化に伴い、コンデンサについても他の
電子部品と同様に小形、軽量にし、更に大容量
化、耐高周波性の向上が要求されている。このた
め、セラミツクコンデンサにおいては、セラミツ
ク層の厚みを薄く、均一にするためにも誘電体材
料の微粒子化が必要となる。また、この微粒子化
により、焼結温度を低く抑えることも可能とな
る。
法が種々の角度から研究されているが、その微粒
子化した誘電体材料の用途の一つとしてセラミツ
クコンデンサへの応用がある。電子製品の小形
化、高密度化に伴い、コンデンサについても他の
電子部品と同様に小形、軽量にし、更に大容量
化、耐高周波性の向上が要求されている。このた
め、セラミツクコンデンサにおいては、セラミツ
ク層の厚みを薄く、均一にするためにも誘電体材
料の微粒子化が必要となる。また、この微粒子化
により、焼結温度を低く抑えることも可能とな
る。
この他、電歪材料、圧電材料、透明セラミツク
材料等の原料としても、例えば焼結性、温度特性
を改善する上から、粒子径が小さく、均一なもの
が期待されている。
材料等の原料としても、例えば焼結性、温度特性
を改善する上から、粒子径が小さく、均一なもの
が期待されている。
このような誘電体材料の一つとしてチタン酸バ
リウムとジルコニウム酸バリウムの固溶体Ba
（ZrxTi1-x）O3（以下、BZTxと略記し、数字ｘは
Zrのモル％を示す。なお、０＜ｘ＜１）があり、
従来この固溶体を得るためにBaCO3とZrO2と
TiO2又はBaTiO3とBaZrO3を原料とする固相反
応が行われている。この固相反応により得られた
BZT固溶体を微粒子化する場合、仮焼後の粉砕
工程においてAl2O3などの不純物の混入は避けえ
られない面がある。また、粉砕した固溶体微粒子
の粒径が不均一であることによる成形むらの発
生、焼結後の気孔の増加などの問題が生じる。更
に、焼結は拡散によつて支配されるものである
が、ZrとTiの固溶均一性は高いとは言えず、局
所的にZrとTiの含有量が夫々大きい所ができる
ため、誘電特性の面からも改善の余地が大きい。
リウムとジルコニウム酸バリウムの固溶体Ba
（ZrxTi1-x）O3（以下、BZTxと略記し、数字ｘは
Zrのモル％を示す。なお、０＜ｘ＜１）があり、
従来この固溶体を得るためにBaCO3とZrO2と
TiO2又はBaTiO3とBaZrO3を原料とする固相反
応が行われている。この固相反応により得られた
BZT固溶体を微粒子化する場合、仮焼後の粉砕
工程においてAl2O3などの不純物の混入は避けえ
られない面がある。また、粉砕した固溶体微粒子
の粒径が不均一であることによる成形むらの発
生、焼結後の気孔の増加などの問題が生じる。更
に、焼結は拡散によつて支配されるものである
が、ZrとTiの固溶均一性は高いとは言えず、局
所的にZrとTiの含有量が夫々大きい所ができる
ため、誘電特性の面からも改善の余地が大きい。
最近これらの問題点を改善するための試みが多
方面でなされているが、その一つに金属アルコキ
シド法がある。金属アルコキシドとは、アルコー
ルの水素原子を金属で置換した化合物をいう。こ
の金属アルコキシド法による合成法として、例え
ば特公昭58−2220号公報に示されている方法があ
る。しかし、この方法による場合、合成時に得ら
れる物質は0.2＜ｘ＜0.9の広範囲にわたつてアモ
ルフアス状態であり、結晶質のものを得るには熱
処理が不可欠であるため、製造工程の面からみれ
ば従来の固相反応法を大幅に改善したとは言い難
い。また、この合成法において使用する有機金属
化合物である金属アルコキシドは、通常の固相反
応で使用する原料より遥かに価格が高いという点
でも実用化には多くの問題点がある。
方面でなされているが、その一つに金属アルコキ
シド法がある。金属アルコキシドとは、アルコー
ルの水素原子を金属で置換した化合物をいう。こ
の金属アルコキシド法による合成法として、例え
ば特公昭58−2220号公報に示されている方法があ
る。しかし、この方法による場合、合成時に得ら
れる物質は0.2＜ｘ＜0.9の広範囲にわたつてアモ
ルフアス状態であり、結晶質のものを得るには熱
処理が不可欠であるため、製造工程の面からみれ
ば従来の固相反応法を大幅に改善したとは言い難
い。また、この合成法において使用する有機金属
化合物である金属アルコキシドは、通常の固相反
応で使用する原料より遥かに価格が高いという点
でも実用化には多くの問題点がある。
本発明は、上述のような問題点を解決すること
ができ、高純度で均一、且つ活性度の優れたBa
（ZrxTi1-x）O3固溶体微粒子を得ることができる
製造方法を提供するものである。
ができ、高純度で均一、且つ活性度の優れたBa
（ZrxTi1-x）O3固溶体微粒子を得ることができる
製造方法を提供するものである。
本発明は、四塩化ジルコニウムZrCl4のような
Zr化合物もしくはその加水分解生成物と四塩化
チタンTiCl4のようなTi化合物もしくはその加水
分解生成物とを所定の割合に混合した後、バリウ
ムBa塩を加え、強アルカリ側の水溶液中、沸点
付近の温度で反応させ、生成した沈殿を水又は温
水で洗浄してK+、Na+、Li+等のアルカリイオン
を十分除去し、濾過、乾燥させることにより
BZT固溶体微粒子を得る製造方法である。
Zr化合物もしくはその加水分解生成物と四塩化
チタンTiCl4のようなTi化合物もしくはその加水
分解生成物とを所定の割合に混合した後、バリウ
ムBa塩を加え、強アルカリ側の水溶液中、沸点
付近の温度で反応させ、生成した沈殿を水又は温
水で洗浄してK+、Na+、Li+等のアルカリイオン
を十分除去し、濾過、乾燥させることにより
BZT固溶体微粒子を得る製造方法である。
ここで、Zr化合物としては、ZrCl4、Zr（NO3）
4、ZrO（NO3）2・2H2Ｏ、ZrOCl2・8H2Ｏなどを
水に溶解した水溶液、またZr化合物の加水分解
生成物としては、その水溶液をNH4OH、LiOH、
NaOH、KOH等のアルカリ溶液で加水分解させ
たものを使用することができる。
4、ZrO（NO3）2・2H2Ｏ、ZrOCl2・8H2Ｏなどを
水に溶解した水溶液、またZr化合物の加水分解
生成物としては、その水溶液をNH4OH、LiOH、
NaOH、KOH等のアルカリ溶液で加水分解させ
たものを使用することができる。
Ti化合物としては、TiCl4、Ti（SO4）2などを水
に溶解した水溶液、またTi化合物の加水分解生
成物としては、その水溶液を上記アルカリ溶液で
加水分解させたものを使用することができる。但
し、Ti（SO4）2を使用する場合には、硫酸根SO4 2-
を除去する必要があるので、単なる水溶液として
反応させないで、１回アルカリで加水分解して
TiO2・nH2Ｏを作り、十分水洗して濾別した後
使用する。
に溶解した水溶液、またTi化合物の加水分解生
成物としては、その水溶液を上記アルカリ溶液で
加水分解させたものを使用することができる。但
し、Ti（SO4）2を使用する場合には、硫酸根SO4 2-
を除去する必要があるので、単なる水溶液として
反応させないで、１回アルカリで加水分解して
TiO2・nH2Ｏを作り、十分水洗して濾別した後
使用する。
Ba塩としては、Ba（NO3）2、Ba（OH）2、
BaCl2、Ba（CH3COO）2などを使用することがで
きる。また、これらの加水分解生成物を使用して
もよい BZT微粒子を合成する際の反応条件として、
強アルカリ性水溶液のpHは、０＜ｘ≦0.2の範囲
で13.5以上、0.2＜ｘ＜１の範囲で13.7以上が好ま
しい。
BaCl2、Ba（CH3COO）2などを使用することがで
きる。また、これらの加水分解生成物を使用して
もよい BZT微粒子を合成する際の反応条件として、
強アルカリ性水溶液のpHは、０＜ｘ≦0.2の範囲
で13.5以上、0.2＜ｘ＜１の範囲で13.7以上が好ま
しい。
反応温度は、０＜ｘ≦0.2の範囲で80℃以上、
好ましくは90℃以上、0.2＜ｘ＜0.7の範囲で90℃
以上、好ましくは沸点温度、0.7≦ｘ＜１の範囲
では沸点温度が好ましい。
好ましくは90℃以上、0.2＜ｘ＜0.7の範囲で90℃
以上、好ましくは沸点温度、0.7≦ｘ＜１の範囲
では沸点温度が好ましい。
Ba／Zr＋Tiのモル比は、0.7以上５以下、好ま
しくは１から２付近とする。
しくは１から２付近とする。
反応時間は、０＜ｘ≦0.2の範囲で反応開始直
後でもよく、１時間もすれば十分高い収率が得ら
れる。0.2＜ｘ＜0.7の範囲では、20分以上、好ま
しくは１時間半程、0.7≦ｘ＜１の範囲では１時
間以上、好ましくは２時間程で十分高い収率が得
られる。
後でもよく、１時間もすれば十分高い収率が得ら
れる。0.2＜ｘ＜0.7の範囲では、20分以上、好ま
しくは１時間半程、0.7≦ｘ＜１の範囲では１時
間以上、好ましくは２時間程で十分高い収率が得
られる。
本発明は、上述した通り、結晶性の高いBZT
固溶体微粒子を全範囲にわたつて熱処理なしに液
相から合成することができる方法である。この製
造方法により、BZT微粒子の高均一性、高純度
化及び固溶因子ｘの高均一性が達成され、例えば
セラミツク原料として優れた微粒子が得られる。
従来の固相反応法によれば、仮焼や高温での焼成
が必要であるが、この湿式合成法では合成時に既
にBZT固溶体が形成されているため、仮焼工程
を省略し、また焼成温度を低くすることができ
る。従つて、焼成温度の違いによるキユリー点や
静電特性のバラツキが極めて少なくなり、信頼性
が高くなる。本製造方法により得られた微粒子
は、粒子径が均一であるため、成形時のむらや焼
結時発生する気孔が減少する。一方、本製造方法
では、粉砕混合工程を含まないので、Fe、Alな
どの不純物の混入の虞れはなくなり、これらの混
入による静電特性のバラツキもなくなる。更に、
同じ湿式合成法のアルコキシド法における金属ア
ルコキシドとは異り、出発原料としてTiCl4、
ZrCl4、Ba（NO3）2のような低廉な原料を使用す
るので極めて生産性に富み、BZT微粒子を安価
に得ることができる。
固溶体微粒子を全範囲にわたつて熱処理なしに液
相から合成することができる方法である。この製
造方法により、BZT微粒子の高均一性、高純度
化及び固溶因子ｘの高均一性が達成され、例えば
セラミツク原料として優れた微粒子が得られる。
従来の固相反応法によれば、仮焼や高温での焼成
が必要であるが、この湿式合成法では合成時に既
にBZT固溶体が形成されているため、仮焼工程
を省略し、また焼成温度を低くすることができ
る。従つて、焼成温度の違いによるキユリー点や
静電特性のバラツキが極めて少なくなり、信頼性
が高くなる。本製造方法により得られた微粒子
は、粒子径が均一であるため、成形時のむらや焼
結時発生する気孔が減少する。一方、本製造方法
では、粉砕混合工程を含まないので、Fe、Alな
どの不純物の混入の虞れはなくなり、これらの混
入による静電特性のバラツキもなくなる。更に、
同じ湿式合成法のアルコキシド法における金属ア
ルコキシドとは異り、出発原料としてTiCl4、
ZrCl4、Ba（NO3）2のような低廉な原料を使用す
るので極めて生産性に富み、BZT微粒子を安価
に得ることができる。
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明す
る。
る。
実施例 １
約200gのTiCl4を氷水中に攪拌しながら加えて
水溶液を作つた後、メスフラスコに移し変えて容
量を1000ccとする。次に、この溶液から一部を採
取してアンモニア水でTiO2を沈殿させ、この沈
殿に約1000℃の熱処理を施した後、重量測定を行
つてメスフラスコ中のTiCl4標準溶液の正確な濃
度を決定した。その結果0.956mol／であつた。
同様に、約200gのZrCl4を水中に攪拌しながら加
えて黄色の水溶液を作つた後、メスフラスコに移
し変えて容量を1000ccにする。次に、この溶液か
ら一部を採取してリン酸水素二アンモニウム
（NH4）2HPO4でZrP2O7を沈殿させ、この沈殿に
約1000℃の熱処理を施した後、重量測定を行つて
メスフラスコ中のZrCl4標準溶液の正確な濃度を
決定した。その結果0.856mol／であつた。
水溶液を作つた後、メスフラスコに移し変えて容
量を1000ccとする。次に、この溶液から一部を採
取してアンモニア水でTiO2を沈殿させ、この沈
殿に約1000℃の熱処理を施した後、重量測定を行
つてメスフラスコ中のTiCl4標準溶液の正確な濃
度を決定した。その結果0.956mol／であつた。
同様に、約200gのZrCl4を水中に攪拌しながら加
えて黄色の水溶液を作つた後、メスフラスコに移
し変えて容量を1000ccにする。次に、この溶液か
ら一部を採取してリン酸水素二アンモニウム
（NH4）2HPO4でZrP2O7を沈殿させ、この沈殿に
約1000℃の熱処理を施した後、重量測定を行つて
メスフラスコ中のZrCl4標準溶液の正確な濃度を
決定した。その結果0.856mol／であつた。
そこで、BZT20となるように、このTi標準溶
液49.25cc、Zr標準溶液13.75ccをビーカに採取
し、この中にBa（NO3）2を15.38gを加えて完全に
溶解させる。溶解し難いときは、熱を少し加えれ
ば簡単に透明な溶液となる。次に、予め調整済み
の5N−KOH溶液をpH13.9になるまでこの溶液
に加える。これにより溶液は白色の懸濁液とな
り、この後全溶液量を約400ccにする。この溶液
を沸騰させながら攪拌し、３時間程熟成させる。
熟成後生成した淡黄白色沈殿に温水を使用して10
回程デカンテーシヨンを繰り返すことにより、ア
ルカリイオン等の不純物を除去する。最後に、こ
の沈殿を濾過分離して、90℃で乾燥させると、約
13gの微粒子が得られる。
液49.25cc、Zr標準溶液13.75ccをビーカに採取
し、この中にBa（NO3）2を15.38gを加えて完全に
溶解させる。溶解し難いときは、熱を少し加えれ
ば簡単に透明な溶液となる。次に、予め調整済み
の5N−KOH溶液をpH13.9になるまでこの溶液
に加える。これにより溶液は白色の懸濁液とな
り、この後全溶液量を約400ccにする。この溶液
を沸騰させながら攪拌し、３時間程熟成させる。
熟成後生成した淡黄白色沈殿に温水を使用して10
回程デカンテーシヨンを繰り返すことにより、ア
ルカリイオン等の不純物を除去する。最後に、こ
の沈殿を濾過分離して、90℃で乾燥させると、約
13gの微粒子が得られる。
上記操作により得られた物質を、Ｘ線回析（銅
ターゲツト、ニツケルフイルタ）により分析した
結果を第１図Ｂに同じく湿式合成したBaTiO3
（第１図Ａ）とBaZrO3（第１図Ｃ）と共に示す。
ターゲツト、ニツケルフイルタ）により分析した
結果を第１図Ｂに同じく湿式合成したBaTiO3
（第１図Ａ）とBaZrO3（第１図Ｃ）と共に示す。
なお、回析強度は、夫々（110）の回析ピーク
を基準に規格化したものである。これらのＸ線回
析パターンから、BZTは、BaTiO3のピーク位置
からBaZrO3のピーク位置に少しシフトしている
ことがわかり、ASTMカードの５−626と６−
399から予測される立方晶ペロブスカイト型BST
微粒子のピーク位置に一致していることが確認さ
れた。
を基準に規格化したものである。これらのＸ線回
析パターンから、BZTは、BaTiO3のピーク位置
からBaZrO3のピーク位置に少しシフトしている
ことがわかり、ASTMカードの５−626と６−
399から予測される立方晶ペロブスカイト型BST
微粒子のピーク位置に一致していることが確認さ
れた。
実施例 ２
実施例１で使用したTi標準溶液とZr標準溶液
からBZT50となるように夫々30.78ccと34.37ccを
採取し、この溶液にBa（OH）2・8H2Ｏを18.56g加
えた後、5N−KOH溶液でpH14とし、更に全溶
液量を約400ccにする。この溶液を沸騰させなが
ら攪拌し、適時抽出してBZT微粒子生成の時間
依存性を調べた結果を第２図の曲線Ａに示す。こ
のグラフで縦軸の生成量は、（110）のピーク強度
を100に規格化した場合の相対強度を示す。また、
反応温度を80℃に変えて、全く同様の実験を行つ
てBZT微粒子生成の時間依存性を測定した結果
を第２図の曲線Ｂに示す。このグラフから、沸点
（〜100℃）では、BaZrO3よりも速く生成される
が、80℃でのデータに着目するとBaTiO3よりも
遥かにできにくいことがわかる。
からBZT50となるように夫々30.78ccと34.37ccを
採取し、この溶液にBa（OH）2・8H2Ｏを18.56g加
えた後、5N−KOH溶液でpH14とし、更に全溶
液量を約400ccにする。この溶液を沸騰させなが
ら攪拌し、適時抽出してBZT微粒子生成の時間
依存性を調べた結果を第２図の曲線Ａに示す。こ
のグラフで縦軸の生成量は、（110）のピーク強度
を100に規格化した場合の相対強度を示す。また、
反応温度を80℃に変えて、全く同様の実験を行つ
てBZT微粒子生成の時間依存性を測定した結果
を第２図の曲線Ｂに示す。このグラフから、沸点
（〜100℃）では、BaZrO3よりも速く生成される
が、80℃でのデータに着目するとBaTiO3よりも
遥かにできにくいことがわかる。
次に、合成しようとするBZT50の反応初期に
おける組成状態を測定した結果を第３図の曲線Ｃ
に示す。このグラフから明らかなように、反応初
期の20〜30分までの間では、沸点温度での反応に
おいても目的のBZT50の組成とはならないで、
Tiの含量の大きい側にずれており、30分位経過
した後にBZT50の組成に収束する。なお、この
グラフは（110）の回析ピーク位置から計算した
面間隔ｄ（110）を時間に対してプロツトしたもの
であり、単純なBaTiO3BaZrO3のｄ（110）も併
せて示してあるので、そのずれてゆく様子が理解
される。また、同様の実験を組成がBZT70とな
るように変えて行つた反応初期における時間依存
性のデータを第３図の曲線Ｄに示す。なお、反応
時間の初期において組成がBaTiO3側にずれるの
と同様に、反応温度もBZT50の80℃の実験にお
いては、BaTiO3側に終始ずれていた。従つて、
本出願人が提案したBaTiO3の発明（特開昭57−
147226）及びBaZrO3の発明（特願昭57−
219546）より、BaTiO3はBaZrO3と比較して遥
かに生成し易いので、本BZT微粒子の合成にお
いて、組成、反応時間、温度等は適切にその範囲
内に選ばれる必要がある。
おける組成状態を測定した結果を第３図の曲線Ｃ
に示す。このグラフから明らかなように、反応初
期の20〜30分までの間では、沸点温度での反応に
おいても目的のBZT50の組成とはならないで、
Tiの含量の大きい側にずれており、30分位経過
した後にBZT50の組成に収束する。なお、この
グラフは（110）の回析ピーク位置から計算した
面間隔ｄ（110）を時間に対してプロツトしたもの
であり、単純なBaTiO3BaZrO3のｄ（110）も併
せて示してあるので、そのずれてゆく様子が理解
される。また、同様の実験を組成がBZT70とな
るように変えて行つた反応初期における時間依存
性のデータを第３図の曲線Ｄに示す。なお、反応
時間の初期において組成がBaTiO3側にずれるの
と同様に、反応温度もBZT50の80℃の実験にお
いては、BaTiO3側に終始ずれていた。従つて、
本出願人が提案したBaTiO3の発明（特開昭57−
147226）及びBaZrO3の発明（特願昭57−
219546）より、BaTiO3はBaZrO3と比較して遥
かに生成し易いので、本BZT微粒子の合成にお
いて、組成、反応時間、温度等は適切にその範囲
内に選ばれる必要がある。
実施例 ３
実施例１で使用したTi標準溶液とZr標準溶液
からBZ（BaZrO3）、BZT90、BZT80、BZT70、
BZT60、BZT50、BZT40、BZT30、BZT20、
BZT10、BT（BaTiO3）となるように採取した各
溶液に、Ba（NO3）2を15.38g加えた後、pH13.9に
調整し、沸騰温度で３時間熟成させる。この反応
により合成したBZT固溶体微粒子の格子定数を
ネルソン−リレイ（Nelson−Riley）外挿関数か
ら高角側を用いて算出した結果を第４図のＥに示
す。また、このBZT固溶体微粒子に1380℃で３
時間熱処理を施して得られたものに、同様の算出
法を適用して格子定数を測定した結果を第４図の
Ｆに示す。この両者の測定結果から、湿式合成し
たBZT固溶体微粒子の格子定数は、BaTiO3と
BaZrO3から類推されるベガード則に略従うこと
が判明した。一方、この微粒子のＸ線回析チヤー
トの回析ピーク幅を観察すると、強いブロードニ
ングは見られないことから、局所的な歪やZr、
Tiの濃度むらは殆んどないと考えられる。
からBZ（BaZrO3）、BZT90、BZT80、BZT70、
BZT60、BZT50、BZT40、BZT30、BZT20、
BZT10、BT（BaTiO3）となるように採取した各
溶液に、Ba（NO3）2を15.38g加えた後、pH13.9に
調整し、沸騰温度で３時間熟成させる。この反応
により合成したBZT固溶体微粒子の格子定数を
ネルソン−リレイ（Nelson−Riley）外挿関数か
ら高角側を用いて算出した結果を第４図のＥに示
す。また、このBZT固溶体微粒子に1380℃で３
時間熱処理を施して得られたものに、同様の算出
法を適用して格子定数を測定した結果を第４図の
Ｆに示す。この両者の測定結果から、湿式合成し
たBZT固溶体微粒子の格子定数は、BaTiO3と
BaZrO3から類推されるベガード則に略従うこと
が判明した。一方、この微粒子のＸ線回析チヤー
トの回析ピーク幅を観察すると、強いブロードニ
ングは見られないことから、局所的な歪やZr、
Tiの濃度むらは殆んどないと考えられる。
実施例 ４
実施例１で使用したTiとZrの標準溶液から
BZT40、BZT30、BZT20、BZT10となるように
採取した各溶液に、Ba（OH）2・8H2Ｏを18.56g加
えた後、pH14に調整し、沸騰温度で３時間熟成
させる。この反応により合成したBZT固溶体微
粒子の走査型電子顕微鏡写真を第５図〜第８図に
示す。第５図はBZT10、第６図はBZT20、第７
図はBZT30、第８図はBZT40の夫々電子顕微鏡
写真である。これらの写真からZrの含有量が増
加すると共に、粒子径が大きくなつていくことが
わかる。一方、Zrの含有量が50％以上では、
BZTの粒子径は、BZと殆んど同じであり、0.5＜
ｘ＜１の範囲では殆んど変化のないことが判明し
た。
BZT40、BZT30、BZT20、BZT10となるように
採取した各溶液に、Ba（OH）2・8H2Ｏを18.56g加
えた後、pH14に調整し、沸騰温度で３時間熟成
させる。この反応により合成したBZT固溶体微
粒子の走査型電子顕微鏡写真を第５図〜第８図に
示す。第５図はBZT10、第６図はBZT20、第７
図はBZT30、第８図はBZT40の夫々電子顕微鏡
写真である。これらの写真からZrの含有量が増
加すると共に、粒子径が大きくなつていくことが
わかる。一方、Zrの含有量が50％以上では、
BZTの粒子径は、BZと殆んど同じであり、0.5＜
ｘ＜１の範囲では殆んど変化のないことが判明し
た。
第１図ＡはBaTiO3、第１図ＢはBZT20、第１
図ＣはBaZrO3の夫々Ｘ線回析パターンを示す
図、第２図はBZT50生成の時間依存性を示す図、
第３図はBZT50の反応初期における組成状態を
示す図、第４図はｘの異なるBZT固溶体微粒子
について格子定数を測定した図、第５図は
BZT10、第６図はBZT20、第７図はBZT30、第
８図はBZT40の夫々電子顕微鏡写真である。
図ＣはBaZrO3の夫々Ｘ線回析パターンを示す
図、第２図はBZT50生成の時間依存性を示す図、
第３図はBZT50の反応初期における組成状態を
示す図、第４図はｘの異なるBZT固溶体微粒子
について格子定数を測定した図、第５図は
BZT10、第６図はBZT20、第７図はBZT30、第
８図はBZT40の夫々電子顕微鏡写真である。
Claims (1)
- １ Zr化合物もしくはその加水分解生成物とTi
化合物もしくはその加水分解生成物とを混合した
後、Ba塩を加え、強アルカリ性溶液中で反応さ
せることを特徴とするBa（ZrxTi1-x）O3固溶体微
粒子の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20694483A JPS60103030A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | Ｂａ（ΖｒｘＴｉ↓１−ｘ）Ｏ↓３固溶体微粒子の製造方法 |
| PCT/JP1984/000530 WO1985001933A1 (fr) | 1983-11-04 | 1984-11-05 | PROCEDE DE PREPARATION DE FINES PARTICULES DE Ba(ZrxTi1-x)O3 EN SOLUTION SOLIDE |
| DE8484903994T DE3484201D1 (de) | 1983-11-04 | 1984-11-05 | Verfahren zur herstellung feiner teilchen einer ba (zrx ti 1-x)o3-festen loesung. |
| EP19840903994 EP0163739B1 (en) | 1983-11-04 | 1984-11-05 | Process for preparing fine particles of ba (zrx ti 1-x)o3-solid solution |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20694483A JPS60103030A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | Ｂａ（ΖｒｘＴｉ↓１−ｘ）Ｏ↓３固溶体微粒子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60103030A JPS60103030A (ja) | 1985-06-07 |
| JPH0471848B2 true JPH0471848B2 (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=16531617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20694483A Granted JPS60103030A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | Ｂａ（ΖｒｘＴｉ↓１−ｘ）Ｏ↓３固溶体微粒子の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0163739B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60103030A (ja) |
| DE (1) | DE3484201D1 (ja) |
| WO (1) | WO1985001933A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4753787A (en) * | 1986-07-18 | 1988-06-28 | Pieter Krijgsman | Method and structure for forming a reaction product |
| FR2673931A1 (fr) * | 1991-03-12 | 1992-09-18 | Rhone Poulenc Chimie | Procede de preparation d'un titano-zirconate de cation divalent ou trivalent. |
| JP6325524B2 (ja) | 2013-03-26 | 2018-05-16 | 日本碍子株式会社 | 誘電体磁器組成物及び複合セラミックス構造体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3577487A (en) * | 1968-05-22 | 1971-05-04 | Grace W R & Co | Preparation of submicron sized alkaline earth titanate and zirconate powders |
| US4293534A (en) * | 1980-08-22 | 1981-10-06 | General Electric Company | Molten salt synthesis of alkaline earth titanates, zirconates and their solid solutions |
-
1983
- 1983-11-04 JP JP20694483A patent/JPS60103030A/ja active Granted
-
1984
- 1984-11-05 DE DE8484903994T patent/DE3484201D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1984-11-05 EP EP19840903994 patent/EP0163739B1/en not_active Expired
- 1984-11-05 WO PCT/JP1984/000530 patent/WO1985001933A1/ja not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0163739A1 (en) | 1985-12-11 |
| EP0163739A4 (en) | 1987-10-27 |
| WO1985001933A1 (fr) | 1985-05-09 |
| EP0163739B1 (en) | 1991-02-27 |
| DE3484201D1 (de) | 1991-04-04 |
| JPS60103030A (ja) | 1985-06-07 |
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