JPH0472502A - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
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- JPH0472502A JPH0472502A JP18646490A JP18646490A JPH0472502A JP H0472502 A JPH0472502 A JP H0472502A JP 18646490 A JP18646490 A JP 18646490A JP 18646490 A JP18646490 A JP 18646490A JP H0472502 A JPH0472502 A JP H0472502A
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- gasket
- measured
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- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011326 mechanical measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は薄板状部材の平面度を測定するものに関し、特
に微少な平面度の差異を精度よく且つ自動的に測定する
ことのできる平面度測定装置に関する。
に微少な平面度の差異を精度よく且つ自動的に測定する
ことのできる平面度測定装置に関する。
平面度とはＪＩＳによると、平面形体の幾何学的に正し
い平面からの狂いの大きざをいい、精密機械部品や各種
流体を高圧力のもとて確実に密封するガスケットなどに
おいては高精度な平面度が要求される。
い平面からの狂いの大きざをいい、精密機械部品や各種
流体を高圧力のもとて確実に密封するガスケットなどに
おいては高精度な平面度が要求される。
従来の技術
従来は、マイクロメータやダイヤルゲージなどを用いて
何箇所かの平面部を測定して平面度を算出したり、非接
触で測定するものとして、超音波の反射時間の差異で計
測したり、レーザー光の反射位置の変位で計測したり、
あるいは磁界により渦電流を発生してその大きざにより
計測するもの等が用いられていた。
何箇所かの平面部を測定して平面度を算出したり、非接
触で測定するものとして、超音波の反射時間の差異で計
測したり、レーザー光の反射位置の変位で計測したり、
あるいは磁界により渦電流を発生してその大きざにより
計測するもの等が用いられていた。
本発明が解決しようとする課題
マイクロメータやダイヤルゲージを用いると比較的簡単
に平面度を測定することができるが、同時に複数箇所の
測定をすることか困難であったり、また機械的な計測で
あるために自動化する口とが困難な問題があった。一方
、超音波やレーザー光や磁界を利用して非接触で測定す
る場合は、非接触故に自動化することは比較的容易であ
り且つ測定精度も高精度であるが、薄板状部材の本来の
平開度以外の変位、すなわち薄板状部材の加工時や運搬
時等に発生した変形や反りや歪み、をも測定してしまい
、純粋な平面度が得られない問題があった。また、上記
非接触で測定する場合は、超音波やレーザー光を発する
センサ一部の大きざがある程度以上必要であり、被測定
薄板状部材が非常に小さいものである場合には複数箇所
を同時に測定できない問題もめった。
に平面度を測定することができるが、同時に複数箇所の
測定をすることか困難であったり、また機械的な計測で
あるために自動化する口とが困難な問題があった。一方
、超音波やレーザー光や磁界を利用して非接触で測定す
る場合は、非接触故に自動化することは比較的容易であ
り且つ測定精度も高精度であるが、薄板状部材の本来の
平開度以外の変位、すなわち薄板状部材の加工時や運搬
時等に発生した変形や反りや歪み、をも測定してしまい
、純粋な平面度が得られない問題があった。また、上記
非接触で測定する場合は、超音波やレーザー光を発する
センサ一部の大きざがある程度以上必要であり、被測定
薄板状部材が非常に小さいものである場合には複数箇所
を同時に測定できない問題もめった。
従って本発明の技術的課題は、薄板状部材が小ざいもの
であっても本来の平面度のみを高精度で且つ自動的に測
定することができるようにすることでおる。
であっても本来の平面度のみを高精度で且つ自動的に測
定することができるようにすることでおる。
課題を解決するための手段
上記の課題を解決するために講じた本発明の技術的手段
は、薄板状部材の平面度を測定するものにおいて、被測
定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に接して配
置し、他端に被測定薄板状部材よりも径が大きな金属材
料で形成した平板状の押え板部材を設け、該押え板部材
の一面上に平面度を測定する複数の非接触式距離測定手
段をＪ２けだものである。
は、薄板状部材の平面度を測定するものにおいて、被測
定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に接して配
置し、他端に被測定薄板状部材よりも径が大きな金属材
料で形成した平板状の押え板部材を設け、該押え板部材
の一面上に平面度を測定する複数の非接触式距離測定手
段をＪ２けだものである。
作用
上記の技術的手段の作用は下記の通りである。
被測定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に接し
て配置したことにより、被測定薄板状部材の一端面は基
準平面と同一面上に位置する。被測定薄板状部材の他端
を径の大きな金属材料で形成した平板状の押え板部材で
押えることにより、被測定薄板状部材の本来の平面度以
外の変位、すなわち加工時や運搬時等（生じた変形や反
りや歪み、は解消され薄板状部材の本来の板厚に相当す
る距離を隔てて押え板部材が位置することとなる。
て配置したことにより、被測定薄板状部材の一端面は基
準平面と同一面上に位置する。被測定薄板状部材の他端
を径の大きな金属材料で形成した平板状の押え板部材で
押えることにより、被測定薄板状部材の本来の平面度以
外の変位、すなわち加工時や運搬時等（生じた変形や反
りや歪み、は解消され薄板状部材の本来の板厚に相当す
る距離を隔てて押え板部材が位置することとなる。
板厚のみに相当する距離を隔てた平板状の押え板部材の
一面を距Ｍ測定手段によって測定することにより被測定
薄板状部材の純粋な平面度を測定することができる。
一面を距Ｍ測定手段によって測定することにより被測定
薄板状部材の純粋な平面度を測定することができる。
発明の効果
薄板状部材の板厚にのみ関する平面度を測定することが
でき、平面度の測定精度が向上する。被測定薄板状部材
よりも径の大きな押え板部材を介して測定するために、
被測定薄板状部材が小ざなものであっても径方向に平面
度を拡大して測定することができより測定精度を向上す
ることができると共に、ある一定の大きざのセンサーで
おっても複数箇所を同時に測定することができる。また
、非接触式距離測定手段を介して測定することにより、
容易に自動化することができる。
でき、平面度の測定精度が向上する。被測定薄板状部材
よりも径の大きな押え板部材を介して測定するために、
被測定薄板状部材が小ざなものであっても径方向に平面
度を拡大して測定することができより測定精度を向上す
ることができると共に、ある一定の大きざのセンサーで
おっても複数箇所を同時に測定することができる。また
、非接触式距離測定手段を介して測定することにより、
容易に自動化することができる。
実施例
上記の技術的手段の具体例を示す実施例を説明する（第
１図乃至第３図参照）。
１図乃至第３図参照）。
本実施例は薄板リング状のガスケットの平面度を測定す
る例を示す。
る例を示す。
第１図は平面度測定装置の構成図で、薄板状部材として
のガスケット１を基準平面部材２の平面上にのせ、該基
準平面部材２をピストンロンド３及びシリンダ４により
上下方向に移動可能に配置する。ガスケット１は第２図
に斜視図を示すように、厚ざ：ｈで幅：Ｌの薄板リング
状である。ガスケット１の上面には平板状の押え板部材
５を配する。押え板部材５はガスケット１よりも径が大
きくまた誘導電流を生じ易いように金属材料で形成する
。押え板部材５の左右両端に押え板部材５をガスケット
１方向へ付勢する］イルバネ６ａ。
のガスケット１を基準平面部材２の平面上にのせ、該基
準平面部材２をピストンロンド３及びシリンダ４により
上下方向に移動可能に配置する。ガスケット１は第２図
に斜視図を示すように、厚ざ：ｈで幅：Ｌの薄板リング
状である。ガスケット１の上面には平板状の押え板部材
５を配する。押え板部材５はガスケット１よりも径が大
きくまた誘導電流を生じ易いように金属材料で形成する
。押え板部材５の左右両端に押え板部材５をガスケット
１方向へ付勢する］イルバネ６ａ。
６ｂを取り付ける。コイルバネ５ａ、 ６ｂを支持する
］イルバネ支持筒７ａ、７ｂ及びシリンダ４は基台８上
に固定する。基台８上にセンサー取り付は部材９を固定
してその上端部で且つ押え板部材５の上面の位置を検出
するための非接触式距離測定手段としての変位センサー
１０．１１．１２を取り付ける。変位センサー１０．１
１．１２としては超音波やレーザー光を用いることもで
きるが、渦電流によるものが比較的安価に且つ簡単に製
作することができる。変位センサー１０．１１゜１２で
検出された押え板部材５の変位は演騨部１５へ送られ、
ガスケット１の平面度が演韓韓出され、表示部１６で表
示される。すなわち、第３図のガスケット１の自由状態
にあける部分拡大断面図に示すように、ガスケット１に
は加工時や運搬時等に変形か生じ（第３図における高さ
二Ｈで示す変形）、押え板部材５を用いずに非接触式で
測定するとその変形をも含んだ値がガスケット１の平面
度として算出されてしまうが、押え板部材５を用いるこ
とにより、押え板部材５自身の重量あるいはコイルバネ
５ａ、５ｂのバネ力によってガスケット１の変形は解消
され、ガスケット１の純粋な平面度（第３図にあける高
さ：ｈ）を算出することができる。ガスケット１は通常
フランジ（図示せず）やネジ部材（図示せず）等により
締付けて取り付けられるために、変形を含まない純粋な
平面度が必要となるのである。また、ガスケット１の径
が非常に小ざい場合で、変位センサー１０．１１．１２
の大きざにより複数箇所を同時に測定できないような場
合であっても、押え板部材５を介することにより、ガス
ケット１の平面度を拡大して測定することができる。
］イルバネ支持筒７ａ、７ｂ及びシリンダ４は基台８上
に固定する。基台８上にセンサー取り付は部材９を固定
してその上端部で且つ押え板部材５の上面の位置を検出
するための非接触式距離測定手段としての変位センサー
１０．１１．１２を取り付ける。変位センサー１０．１
１．１２としては超音波やレーザー光を用いることもで
きるが、渦電流によるものが比較的安価に且つ簡単に製
作することができる。変位センサー１０．１１゜１２で
検出された押え板部材５の変位は演騨部１５へ送られ、
ガスケット１の平面度が演韓韓出され、表示部１６で表
示される。すなわち、第３図のガスケット１の自由状態
にあける部分拡大断面図に示すように、ガスケット１に
は加工時や運搬時等に変形か生じ（第３図における高さ
二Ｈで示す変形）、押え板部材５を用いずに非接触式で
測定するとその変形をも含んだ値がガスケット１の平面
度として算出されてしまうが、押え板部材５を用いるこ
とにより、押え板部材５自身の重量あるいはコイルバネ
５ａ、５ｂのバネ力によってガスケット１の変形は解消
され、ガスケット１の純粋な平面度（第３図にあける高
さ：ｈ）を算出することができる。ガスケット１は通常
フランジ（図示せず）やネジ部材（図示せず）等により
締付けて取り付けられるために、変形を含まない純粋な
平面度が必要となるのである。また、ガスケット１の径
が非常に小ざい場合で、変位センサー１０．１１．１２
の大きざにより複数箇所を同時に測定できないような場
合であっても、押え板部材５を介することにより、ガス
ケット１の平面度を拡大して測定することができる。
第１図は本発明による平面度測定装置の実施例の構成図
、第２図は第１図における被測定部材の斜視図、第３図
は同じく被測定部材の部分拡大断面図である。 １：ガスケット ２：基準平面部材 ５：押え板部材 ８：基台 １０．１１，１２：変位センサー
、第２図は第１図における被測定部材の斜視図、第３図
は同じく被測定部材の部分拡大断面図である。 １：ガスケット ２：基準平面部材 ５：押え板部材 ８：基台 １０．１１，１２：変位センサー
Claims (1)
- １、薄板状部材の平面度を測定するものにおいて、被測
定薄板状部材の一端を基準平面部材の平面部に配置し、
他端に被測定薄板状部材よりも径が大きな金属材料で形
成した平板状の押え板部材を設け、該押え板部材の一面
上に平面度を測定する複数の非接触式距離測定手段を設
けた平面度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186464A JP2554952B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186464A JP2554952B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 平面度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472502A true JPH0472502A (ja) | 1992-03-06 |
| JP2554952B2 JP2554952B2 (ja) | 1996-11-20 |
Family
ID=16188929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2186464A Expired - Lifetime JP2554952B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 平面度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2554952B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9151696B2 (en) | 2012-12-12 | 2015-10-06 | Solar Turbines Incorporated | Free-state seal plate functional gage tool |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54157654A (en) * | 1978-03-10 | 1979-12-12 | Siemens Ag | Device for measuring flatness |
| JPS5923213A (ja) * | 1982-07-10 | 1984-02-06 | ウエ−グマン・ウント・コンパニ−・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 自動車の車輪平面を測定するための方法と装置 |
| JPS6449906A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Toyo Glass Co Ltd | Measuring instrument for top inclination of glass bottle |
| JPH01104503U (ja) * | 1987-12-30 | 1989-07-14 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2186464A patent/JP2554952B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54157654A (en) * | 1978-03-10 | 1979-12-12 | Siemens Ag | Device for measuring flatness |
| JPS5923213A (ja) * | 1982-07-10 | 1984-02-06 | ウエ−グマン・ウント・コンパニ−・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 自動車の車輪平面を測定するための方法と装置 |
| JPS6449906A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Toyo Glass Co Ltd | Measuring instrument for top inclination of glass bottle |
| JPH01104503U (ja) * | 1987-12-30 | 1989-07-14 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9151696B2 (en) | 2012-12-12 | 2015-10-06 | Solar Turbines Incorporated | Free-state seal plate functional gage tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2554952B2 (ja) | 1996-11-20 |
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