JPH0472547U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0472547U JPH0472547U JP11552590U JP11552590U JPH0472547U JP H0472547 U JPH0472547 U JP H0472547U JP 11552590 U JP11552590 U JP 11552590U JP 11552590 U JP11552590 U JP 11552590U JP H0472547 U JPH0472547 U JP H0472547U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- plasma generation
- vessel
- lead part
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案のイオン源の一実施例を示
す概略部分断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′視
断面図である。第３図は、従来例の概略部分断面
図である。 １……スリツト、２……プラズマ生成容器、３
……フイラメント、５……上部リード部、１３…
…オーブン、１４……おもり、１７……下部リー
ド部、１８……ガイド。
す概略部分断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′視
断面図である。第３図は、従来例の概略部分断面
図である。 １……スリツト、２……プラズマ生成容器、３
……フイラメント、５……上部リード部、１３…
…オーブン、１４……おもり、１７……下部リー
ド部、１８……ガイド。
Claims (1)
- オーブンからイオンガスを導入し、プラズマを
生成するプラズマ生成容器と、この内部に垂直方
向に設けられたフイラメントと、前記プラズマ生
成容器の上部および下部より導出される前記フイ
ラメントと接続される上部および下部リード部と
からなるイオン源において、前記上部リード部に
前記フイラメントの上端部を接続固定し、下端部
におもりを設けるとともに、前記下部リード部の
プラズマ生成容器の近傍に前記おもりを案内する
ガイドを設けてなることを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11552590U JPH0472547U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11552590U JPH0472547U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472547U true JPH0472547U (ja) | 1992-06-25 |
Family
ID=31863298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11552590U Pending JPH0472547U (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0472547U (ja) |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP11552590U patent/JPH0472547U/ja active Pending