JPS641455U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS641455U JPS641455U JP9568087U JP9568087U JPS641455U JP S641455 U JPS641455 U JP S641455U JP 9568087 U JP9568087 U JP 9568087U JP 9568087 U JP9568087 U JP 9568087U JP S641455 U JPS641455 U JP S641455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- plasma generation
- generation vessel
- outside
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
のプラズマ生成容器回りを拡大して部分的に示す
概略断面図である。第２図は、第１図の線―
に沿う断面図である。第３図は、従来のイオン源
の一例を示す概略断面図である。第４図は、第３
図の線―に沿う拡大断面図である。第５図は
、アダプタ回りを部分的に示す拡大断面図である
。 ２…プラズマ生成容器、２ａ〜２ｄ…穴、４…
フイラメント、１４…イオンビーム、１８…ガス
導入管。
のプラズマ生成容器回りを拡大して部分的に示す
概略断面図である。第２図は、第１図の線―
に沿う断面図である。第３図は、従来のイオン源
の一例を示す概略断面図である。第４図は、第３
図の線―に沿う拡大断面図である。第５図は
、アダプタ回りを部分的に示す拡大断面図である
。 ２…プラズマ生成容器、２ａ〜２ｄ…穴、４…
フイラメント、１４…イオンビーム、１８…ガス
導入管。
Claims (1)
- プラズマ生成容器内にイオン源ガスを導入する
よう構成したイオン源において、プラズマ生成容
器の側壁内に、当該プラズマ生成容器の内外に通
じる穴であつてしかも内外が直接見通せない穴を
設け、当該穴に、イオン源ガスを導入するための
ガス導入管を接続していることを特徴とするイオ
ン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9568087U JPS641455U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9568087U JPS641455U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS641455U true JPS641455U (ja) | 1989-01-06 |
Family
ID=30960501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9568087U Pending JPS641455U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS641455U (ja) |
-
1987
- 1987-06-22 JP JP9568087U patent/JPS641455U/ja active Pending