JPH0473878A

JPH0473878A - ガス入放電管

Info

Publication number: JPH0473878A
Application number: JP18389290A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Tsubone; 坪根　大輔; Masatoshi Yonezawa; 米沢　征寿
Original assignee: Hakusan Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Hakusan Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1990-07-13
Filing date: 1990-07-13
Publication date: 1992-03-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、異常サージから電子機器類を保護するため
のガス人放電管に関する。

〔従来の技術〕

第４図は、従来のガス人放電管の一例を示す断面図であ
る。

ガス人放電管は、全体として相形で、セラミックスなど
の中空円筒からなる絶縁管１０１の管端接合面１０２．
１０３にそれぞれろう材１０４．１０５を介して電極１
０６．１０７で封着し、内部にアルゴン（Ａｒ）などの
不活性ガスを封止し、対向する放電面１０８．１０９間
の放電ギヤツブ１１０で放電を得る構造である。１１１
．１１２は電極１０６．１０７の鍔部、１１３．１１４
は電極１０６．１０７のテーパ一部、１１５．１１６は
絶縁管１０１の管端接合面１０２．１０３に設けられる
メタライズ層である。そして、絶縁管１０１の内壁１１
７にトリガ手段として導電条片１１８が設けられている
。

導電条片１１８は、現在のところ炭素条片が実用化され
ている。炭素条片はいずれかの一方の電極、例えば電極
１０６が位置する管端接合面１０２を基端縁とするとと
もに、他方の電極１０７の放電面１０９に近接する壁面
を先端縁として軸線方向にわたって罫書されている。図
示しないが、先端縁を他方の電極１０７の鍔部１１２の
手前まで延設したものや、両管端接合面１０２．１０３
から両端縁を離間したものも実施されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、このような炭素条片は治具などを用いずに手
作業で正確に罫書することは非常に困難であった。正確
に形成するためには、絶縁管１０１の内部に一方の管端
接合面１０２又は１０３から弧面を有する治具（図示上
ず）を挿入し、治具の割溝に鉛筆などを差し込んで手作
業により罫書されていた。その際、鉛筆などは、管端接
合面１０２又は１０３から斜めに治具の割溝内に差し込
まなければならず、治具の挿入、位置決めと併せて非常
に面倒で手間のかかる作業となっていた。

しかも、斜めから差し込んで罫書するために、治具を用
いても付着斑が生じ易く、それぞれを均一に罫書するこ
とが困難であって、トリガ特性に微妙な影響が生じてい
た。

そこで、この発明の目的は、導電条片が容易に形成でき
るとともに、導電条片が正確に形成されることによりト
リガ特性のバラツキを抑えたガス人放電管を提供するこ
とにある。

〔ｙＡ題を解決するための手段〕

この発明に係るガス人放電管は、絶縁基板と、この絶縁
基板の端部にそれぞれ離間して設けられた電極と、これ
らの電極間の上記絶縁基板上にギヤノブを介して設けら
れた導電条片と、この導電条片と上記電極とを放電用の
ガスを封入して気密封止する絶縁ケースとを備えたもの
である。

（作用〕この発明に係るガス人放電管では、絶縁基板の端部にそ
れぞれ電極を設け、これらの電極間の上記絶縁基板上に
導電条片を設ける。この導電条片は、形成時に妨げにな
る部分がないので、容易にに設けられる。そして、この
導電条片と上記電極とを放電用のガスを封入して絶縁ケ
ースで気密封止する。

〔実施例〕

第り図及び第２図はこの発明に係るガス人放電管の一実
施例を示し、第１図は第２図におけるＩＩｖＡ縦断面図
、第２図は平面図である。

以下、これらの図面に基づき詳細に説明する。

ガス人放電管は、絶縁基板１０と、絶縁基板の端部Ｉ２
．１４にそれぞれ離間して設けられたトリガ放電用の電
極１６．１８及び主放電用の電極３０．３２と、電極１
６．１８間の絶縁基板１０上に設けられた導電条片２２
．２４と、導電条片２２．２４と電極１６．１８とを放
電用のガスを封入して気密封止する絶縁ケース２６とを
備え、トリガ放電用の電極Ｉ６．１Ｂ及び導電条片２２
．２４が絶縁基板１０の一面４８に、玉数を石の電極３
０．３２が絶縁基板１０の他面５ｏに配設されている。

そして、導電条片２２．２４間にはギヤノブ２０が形成
されている。

また、絶縁基板ｌＯ上にガラスコーティング層２８を形
成することができる。

絶縁基板１０は、電気的絶縁性を存するセラミックス、
合成樹脂等で形成される。この実施例では、絶縁基板１
０として酸化アルミニウムを主成分とするセラミックス
を用いている。このセラミックスの一面にガラスの微粉
末を含むペーストを塗布し焼成してガラスコーティング
層２８を形成する。そして、絶縁基板１０の端部１２．
１４のガラスコーティング層２８上にＣｕを含むベース
トを塗布し焼成して、トリガ放電用の電極１６．１８を
形成する。次いで、レーザＣＶＤ　（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
　　Ｖａｐｏｒ　　Ｄｅｐｏｓｉｔｉ。

−ｎ）によって、電極１６．１８の一部を種として、ガ
ラスコーティング層２８上に幅、厚みともに約３μｍの
導電条片２２．２４を形成する。

電極１６．１８にはそれぞればんだ３４．３６によって
端子３８．４０が接続される。また、電極１６と電極３
０とは接触片５４ａ、５４ｂを介して、電極１８と電極
３２とは接触片５６ａ、５６ｂを介してそれぞれ導通さ
れている。さらに、電極３０．３２は、特性の不安定な
沿面放電を避けて気中放電とするために、この実施例の
ように絶縁基板１０及び絶縁ケース２６から離間して設
けてもよい。

絶縁ケース２６は、セラミックスなどの上部材４ンと下
部材４４と低融点ガラスなどの封着層４６とからなる。

上部材４２と下部材４４との間に、端子３８．４０を外
部へ出した状態で絶縁基板１０全体を入れるとともにＡ
ｒ等の放電用ガスを封入する。そして、封着層４６を溶
融して絶縁基板１０全体を絶縁ケース２６で気密封止す
る。なお、絶縁ケース２６の内壁５８には、プロメチウ
ム（Ｐｍ）やニッケル（Ｎｉ）などの放射性同位体を付
着させてもよい。

また、導電条片２２．２４間のギャップ２０の長さＡと
主放電用の電極３０．３２間の距離Ｂとは、Ａ＜Ｂとな
るように設定されている。そして、トリガ放電によって
イオン化したガスが主放電用の電極３０．３２側へ拡散
しやすいように、絶縁基板１０と絶縁ケース２６とに間
隙５２が設けられている。

このように、この実施例ではトリガ放電用の電極１６．
１８と主放電用の電極３０．３２とを絶縁基板１０の一
面４８と他面５０とに配設することにより、主放電のス
パンタリング現象によって電極３０．３２を構成する金
属が飛散しても、その金属は主に電極３０．３２に対向
する絶縁ケース２６の内壁に付着し一面４８側へはほと
んど回り込まない、したがって、主放電によるスパンタ
リング現象によって導電条片２２．２４近辺が汚染され
、トリガ特性が劣化することを防げる。

なお、この実施例では、トリガ放電用の電極１６．１８
と主放電用の電極３０．３２とを区別しているが、主放
電用の電極３０．３２を省いて、トリガ放電用の電極１
６．１８に主放電も兼ねさせてもよい。

また、ギャップ２０は、導電条片２２．２４をどちらか
一方のみにして、導電条片２２と電極１８との間又は導
電条片２４と電極１６との間に形成してもよい。また、
導電条片２２．２４のそれらの長さの和が、電極１６．
１８間の距離よりも長くなるようにして、導電条片２２
．２４が互いに接触しないように対向させてもよい。さ
らに、導電条片２２．２４を長さ方向に分割して多数の
ギャップを設けてもよい。さらにまた、導電条片２２．
２４は複数本以上設けてもよい。

次に、導電条片２２．２４をレーザＣＶＤで形成する方
法について第３図に基づき説明する。第３閲は導電条片
２２．２４をレーザＣＶＤで形成する方法を示す概略図
である。

チャンバ６０内には、絶縁基板１０が載置されるととも
にＡｒとＷ　（ＣＯ）、との混合ガス６２が流れる。光
源６４にはＹＡＧレーザの第２高調波の波長５３２ｎｍ
を用いる。このレーザー光５６を光学系６８で収束して
、チャンバ６０のガラス窓７０を通して絶縁基板１０に
垂直に照射する。

すると、絶縁基板１０では、レーザー光６６が照射され
た部分の温度が上昇してその周囲のＷ（ＣＯ）６が熱分
解されてタングステンが堆積する。

そして、絶縁基板ｌＯを移動させれば、レーザー光６６
が照射された部分にタングステンからなる導電条片２２
．２４が形成される。この方法によれば、極めて精度よ
く導電条片２２．２４を形成テキる。特に、絶縁基板１
０上にガラスコーティング層２８を形成して絶縁基板１
０上を平坦化すれば、幅は１ミクロン単位、厚みは０．
１ミクロン単位で導電条片２２．２４を描くことができ
る。

また、導電条片２２．２４は鉛筆等による罫書によって
形成してもよい。どのような方法にょっても、導電条片
２２．２４は、形成の妨げとなる物がないので、容易に
形成できる。つまり、従来の中空円筒絶縁管の内壁に導
電条片を形成する場合には、この導電条片に対向する内
壁面が導電条片の形成の妨げになって、導電条片を形成
する治具、装置等の動きを制限していた。ところが、こ
の発明に係るガス人放電管では、絶縁基板１０上に導電
条片２２．２４を形成するので、導電条片２２．２４を
形成する治具、装置等を自由に使える空間が絶縁基板１
０上に十分に確保されている。

なお、上記実施例では二極のガス人放電管を示したが、
三極以上のガス人放電管に対しても同様に実施できる。

〔発明の効果〕

この発明に係るガス人放電管によれば、絶縁基板上に導
電条片を形成するので、導電条片が容易にしかも精度よ
く形成でき、作業性を向上できるとともにトリガ特性の
バラツキを抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はこの発明に係るガス人放電管の一実
施例を示し、第１図は第２図における１１線縦断面図、
第２図は平面図、第３図は導電条片をレーザＣＶＤで形
成する方法を示す概略図、第４図は従来のガス人放電管
の一例を示す断面図である。１０・・・絶縁基板　　１２．１４・・・絶縁基板の端
部１６．１８・・・トリガ放電用の電極２０・・・ギャンブ　　２２．２４・・・導電条片２６
・・・絶縁ケース　３０．３２・・・主放電用の電極４
８・・・絶縁基板の一面　　５０・・・絶縁基板の他面
特許出願人・・・株式会社　白山製作所代　理　人・・
・弁理士　吉１）万券２２．２４

Claims

【特許請求の範囲】

絶縁基板と、この絶縁基板の端部にそれぞれ離間して設
けられた電極と、これらの電極間の上記絶縁基板上にギ
ャップを介して設けられた導電条片と、この導電条片と
上記電極とを放電用のガスを封入して気密封止する絶縁
ケースとを備えたガス入放電管。