JPH0473879A

JPH0473879A - ガス入放電管の製造方法

Info

Publication number: JPH0473879A
Application number: JP18389390A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Tsubone; 坪根　大輔; Masatoshi Yonezawa; 米沢　征寿
Original assignee: Hakusan Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Hakusan Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1990-07-13
Filing date: 1990-07-13
Publication date: 1992-03-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、異常サージから電子機器類を保護するため
のガス入放電管の製造方法に関する。

［従来の技術］第５図は、従来のガス入放電管の一例を示す断面図であ
る。

ガス入放電管は、全体として相形で、セラミックスなど
の中空円筒からなる絶縁管１０１の管端接合面１０２．
１０３にそれぞれろう材１０４．１０５を介して電極１
０６．１０７で封着し、内部にアルゴン（Ａ　ｒ　）な
どの不活性ガスを封止し、対向する放電面１０Ｂ、１０
９間の放電ギャップ１１０で放電を得る構造である。１
１１．１１２は電極１０６．１０７の鍔部、１１３．１
１４は電極１０６．１０７のテーパ一部、１１５．１１
６は絶縁管１０１の管端接合面１０２．１０３に設けら
れるメタライズ層である。そして、絶縁管１０１の内壁
１１７にトリガ手段として導電条片１１８が設けられて
いる。

導電条片１１８は、現在のところ炭素条片が実用化され
ている。炭素条片はいずれかの一方の電極、例えば電極
１０６が位置する管端接合面１０２を基端縁とするとと
もに、他方の電極１０７の放電面１０９に近接する壁面
を先端縁として軸線方向にわたって罫書されている。図
示しないが、先端縁を他方の電極１０７の鍔部１１２の
手前まで延設したものや、両管端接合面１０２．１０３
から両端縁を離間したものも実施されている。

また、このようなガス入放電管の製造方法は、−個ずつ
ばらばらになった絶縁管１０１のそれぞれに対して、内
壁１１７に導電条片１１８を形成し、管端接合面１０２
．１０３にろう材１０４．１０５を介して電極１０６．
１０７で封着するものであった。

（発明が解決しようとする課題〕ところで、このような従来のガス入放電管の製造方法で
は、多数の絶縁管１０１がその軸線方向に一本に連設さ
れたものに、−度に導電条片１１８や電極１０６を形成
することは不可能であった。

それは、絶縁管１０１が長くなれば、その内壁１１７に
導電条片１１８を形成することはますます困難になり、
電極１０６．１０７が形成される管端接合面１０２．１
０３は一個ずつばらばらにしなければ現れないためであ
る。

したがって、従来のガス入放電管の製造方法では、この
ような問題のために製造工程の簡略化に限界があった。

そこで、この発明の目的は、上記問題を解決して製造工
程を簡略化したガス入放電管の製造方法を提供すること
にある。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るガス入放電管の製造方法は、絶縁基板と
、この絶縁基板の端部にそれぞれ離間して設けられた電
極と、これらの電極間に設けられたトリガ手段と、この
トリガ手段と上記電極とを放電用のガスを封入して気密
封止する絶縁ケースとを備えたガス入放電管において、
多数の上記絶縁基板が平面的に形成された母基板に上記
ｉｉｉ極と上記トリガ手段との少なくとも一方を形成し
た後、上記母基板を分割して上記絶縁基板を取り出すこ
とを特徴とするものである。

〔作用〕

この発明に係るガス入放電管の製造方法では、多数の絶
縁基板が一枚の母基板に形成され、これらの絶縁基板に
電極やトリガ手段を一度に形成す〔実施例］第１図はこの発明に係るガス入放電管の製造方法の一実
施例を示す平面図、第２図及び第３図は第１図に示す方
法により製造されるガス入放電管を示し、第２図は第３
図における■−汀線縦断面図、第３図は平面図である。

まず、第１図に示す方法により製造されるガス入放電管
について第２図及び第３図に基づき説明する。

ガス入放電管は、絶縁基板１ｏと、絶縁基板の端部１２
．１４にそれぞれ離間して設けられたトリガ放電用の′
ｔ８ｉｉ１６．１８及び主放電用の電極３０．３２と、
電極１６．１８間の絶縁基板１０上に設けられたトリガ
手段としての導電条片２２．２４と、導電条片２２．２
４と電極１６．１８．３０．３２とを放電用のガスを封
入して気密封止する絶縁ケース２６とを備え、トリガ放
電用の電極１６．１８及び導電条片２２．２４が絶縁基
板１０の一面４８に、主放電用の電極３ｏ、３２が絶縁
基板１０の他面５０に配設されている。そして、導電条
片２２．２４間にはギャップ２０が形成されている。

また、絶縁基板１０上にガラスコーティング層２８を形
成することができる。

次に第１図乃至第３図に基づきこの発明に係るガス入放
電管の製造方法の一実施例を工程順に説明する。

第１図の（イ）では、三枚の絶縁基板１０が一枚の母基
板５８に形成されている。絶縁基板１０は、電気的絶縁
性を有するセラミンクス、合成樹脂等からなる。この実
施例では、絶縁１１１０として酸化アルミニウムを主成
分とするセラミ・ンクスを用いている。また、各絶縁基
板１０の境界には、分割溝５９．５９がレーザ光によっ
て形成されている。なお、分割溝５９．５９は、この工
程に限らず他のどの工程で形成してもよい。そして、絶
縁基板１０の一面４８にガラスの微粉末を含むペースト
を塗布し焼成してガラスコーティング層２８を形成する
。

第１図の（ロ）では、絶縁基板１０の端部１２．１４の
ガラスコーティング層２８上にＣｕを含むペーストを塗
布し焼成して放電用の電極１６．１８が形成される。そ
して、レーザＣＶＤ　（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　　Ｖａｐｏ
ｒ　　Ｄｅｐｏｓｉｔｉ。

ｎ）によって、電極１６．１８の一部を種として、ガラ
スコーティング層２８上に幅、厚みともに約３μｍの導
電条片２２．２４を形成する。

第１図の（ハ）では、電極１６．１８に端子３８．４０
がそれぞれはんだ３４．３６によって接続される。また
、電極１６と電極３０とは接触片５４ａ、５４ｂによっ
て、電極１８と電極３２とは接触片５６ａ、５６ｂによ
ってそれぞれ導通されている。

第１図の（ニ）では、母基板５８を分割溝５９．５９に
沿って各絶縁基板１０に分割する。このとき、端子３８
．４０も各絶縁基板１０毎に切り離す。

最後に、セラミンクスなどからなる絶縁ケース２６の上
部材４２と下部材４４との間に、Ａｒ等の放電用ガスを
封入するとともに端子３８．４０を外部へ出した状態で
絶縁基板１０全体を入れる。

そして、低融点ガラスなどからなる封着層４６を溶融し
て絶縁基板１０全体を絶縁ケース２６で気密封止する。

なお、絶縁ケース２６の内壁５７には、プロメチウム（
Ｐｔ）やニッケル（Ｎｉ）などの放射性同位体を付着さ
せてもよい。

また、導電条片２２．２４間のギャップ２０の長さＡと
主放電用の電極３０．３２間の距離Ｂとは、Ａ＜Ｂとな
るように設定されている。そして、トリガ放電によって
イオン化したガスが玉数電用の電極３０．３２側へ拡散
しやすいように、絶縁基板１０と絶縁ケース２６とに間
隙５２が設けられている。

さらに、電極３０．３２は、特性の不安定な沿面放電を
避けて気中放電とするために、絶縁基板１０及び絶縁ケ
ース２６から離間して設けている。

次に、導電条片２２．２４をレーザＣＶＤで形成する方
法について第４図に基づき説明する。第４図は第１図に
示す製造方法において導電条片２２．２４をレーザＣＶ
Ｄで形成する方法を示す概略図である。

チャンバ６０内には、母基板５８から分割される以前の
絶縁基板ＩＯが載置されるとともにＡｒとＷ（Ｃｏ）ａ
との混合ガス６２が流れる。光源６４にはＹＡＧレーザ
の第２高調波の波長５３２ｎｍを用いる。このレーザー
光６６を光学系６８で収束して、チャンバ６０のガラス
窓７０を通して絶縁基板１０に垂直に照射する。すると
、絶縁基板１０では、レーザー光６６が照射された部分
の温度が上昇してその周囲のＷ（Ｃｏ）、が熱分解され
てタングステンが堆積する。そして、絶縁基板１０を移
動させれば、レーザー光６６が照射された部分にタング
ステンからなる導電条片２２．２４が形成される。この
方法によれば、極めて精度よく導電条片２２．２４を形
成できる。特に、絶縁基板１０上にガラスコーティング
層２８を形成して絶縁基板１０上を平坦化すれば、幅は
１ミクロン単位、厚みは０．１ミクロン単位で導電条片
２２．２４を描くことができる。

また、導電条片２２．２４は鉛筆等による罫書によって
形成してもよい。どのような方法によっても、導電条片
２２．２４は、多数の絶縁基板１０が形成された母基板
５日に一度に連続して形成でき、極めて能率よく形成で
きる。

なお、トリガ手段として導電条片２２．２４について説
明したが、絶縁基板１０の一面４８の大部分にカーボン
コーティングなどの導電皮膜を形成し、画電極１６．１
８の略中央の導電皮膜にスリット状のギャップを形成す
ることによりトリガ手段を設けてもよい。

また、上記実施例では二極のガス入放電管を示したが、
三極以上のガス入放電管に対しても同様に実施できる。

［発明の効果］この発明に係るガス入放電管の製造方法によれば、多数
の絶縁基板が一枚の母基板に形成され、これらの絶縁基
板に電極やトリガ手段を一度に形成することにより、−
個ずつ電極やトリガ手段を形成する方法に比べて工程を
簡略化できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るガス入放電管の製造方法の一実
施例を示す平面図、第２図及び第３図は第１図に示す方
法により製造されるガス入放電管を示し、第２図は第３
図における■−■線縦線面断面図３図は平面図、第４図
は第１図に示す製造方法において導電条片をレーザＣＶ
Ｄで形成する方法を示す概略図、第５図は従来のガス入
放電管の一例を示す断面図である。１０・・・絶縁基板１２．１４・・・絶縁基板の端部１６．１８・・・トリガ放電用の電極２２．２４・・・導電条片（トリガ手段）２６・・・絶
縁ケース３０．３２・・・主放電用の電極５８・・・母基板特許出願人・・・株式会社　白山製作所代　理　人・・
・弁理士　吉１）万券第１図５８母基板ノ２２．２４

Claims

【特許請求の範囲】絶縁基板と、この絶縁基板の端部にそれぞれ離間して設
けられた電極と、これらの電極間に設けられたトリガ手
段と、このトリガ手段と上記電極とを放電用のガスを封
入して気密封止する絶縁ケースとを備えたガス入放電管
において、多数の上記絶縁基板が平面的に形成された母基板に上記
電極と上記トリガ手段との少なくとも一方を形成した後
、上記母基板を分割して上記絶縁基板を取り出すことを
特徴とするガス入放電管の製造方法。