JPH04738U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH04738U JPH04738U JP4096390U JP4096390U JPH04738U JP H04738 U JPH04738 U JP H04738U JP 4096390 U JP4096390 U JP 4096390U JP 4096390 U JP4096390 U JP 4096390U JP H04738 U JPH04738 U JP H04738U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer carrier
- spraying
- carrier
- rotates
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、本考案の残渣除去製の主要部構成図
、第２図は、残渣が付着したウエハの模式図、第
３図は、ウエハキヤリアの平面図、第４図は、ウ
エハキヤリアの部分断面斜視図である。 １……Ｎ２ガス噴射ノズル、２……エタノール
噴射ノズル、３……ガラスベルジヤー、４……ウ
エハキヤリア、５……ホツトプレート、６……Ｇ
ａＡｌＡｓエピタキシヤルウエハ、６ａ……ウエ
ハ表面に付着したＧａ、６ｂ……ウエハ表面端部
に付着したＧａ、８……ウエハキヤリアの打抜き
穴、９……空間。
、第２図は、残渣が付着したウエハの模式図、第
３図は、ウエハキヤリアの平面図、第４図は、ウ
エハキヤリアの部分断面斜視図である。 １……Ｎ２ガス噴射ノズル、２……エタノール
噴射ノズル、３……ガラスベルジヤー、４……ウ
エハキヤリア、５……ホツトプレート、６……Ｇ
ａＡｌＡｓエピタキシヤルウエハ、６ａ……ウエ
ハ表面に付着したＧａ、６ｂ……ウエハ表面端部
に付着したＧａ、８……ウエハキヤリアの打抜き
穴、９……空間。
Claims (1)
- ウエハを載せて回転するウエハキヤリアと、ウ
エハおよびウエハキヤリアを所定の雰囲気に保持
する手段と、ウエハキヤリアに載置されたウエハ
面上に向つて溶剤を噴射する手段及び不活性ガス
を噴射する手段とを備えたことを特徴とするウエ
ハ面上の残渣除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4096390U JPH04738U (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4096390U JPH04738U (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04738U true JPH04738U (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=31551219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4096390U Pending JPH04738U (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04738U (ja) |
-
1990
- 1990-04-17 JP JP4096390U patent/JPH04738U/ja active Pending