JPH0474864B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、テープボンダー（インナーリードボ
ンダー及びアウターリードボンダー）、ペレツト
ボンダー等に用いるツール保持機構に関する。

［従来の技術］ 従来、ツールが固定されたツールホルダーは、
ボンダーのツール保持部に水平なＸ方向及びこの
Ｘ方向に直交した水平なＹ方向にそれぞれ調整ね
じで調整可能であり、かつ固定ねじで固定されて
いる。

そこで、Ｘ方向及びＹ方向の調整ねじでツール
の下面とボンドステージとの平行出しを行い、そ
の後固定ねじでツールホルダーをツール保持部に
固定している。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来技術は、調整ねじの微妙な動きによつ
てツールの平行出しを行うので、ツールの平行出
しが難しく、多大の調整時間を要する。またツー
ルに自由度が無く、傾きのある試料は良好なボン
デイングが行なかつた。

本発明の目的は、ツールの平行出しが容易で、
かつ試料のボンデイング面の傾きに調整なしで対
応できるボンダー用ツール保持機構を提供するこ
とにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、ツールが固定された
ツールホルダーと、このツールホルダーに相対向
する両端が固定された第１の板ばねと、ボンダー
のツール保持部に固定される取付体と、この取付
体に相対向する両端が固定され、かつフリー状態
の相対向する両端が前記第１の板ばねのフリー状
態の相対向する両端に固定された第２の板ばねと
から構成することより解決される。

［作用］ 第１の板ばねのＸ方向の両端は、第２の板ばね
に対してフリー状態にあり、上下にたわむことが
でき、第２の板ばねのＹ方向の両端は、取付体に
対してフリー状態であり、上下にたわむことがで
きる。そこで、ツールが下降してテープのリード
部を押圧した時、リード部のボンデイング面のＸ
方向の上下に傾きがある場合には、ツールの下面
がボンデイング面に倣うように第１の板ばねがＸ
方向にたわむ。またリード部のボンデイング面の
Ｙ方向の上下に傾きがある場合には、ツールの下
面がボンデイング面に倣うように第２の板ばねが
Ｙ方向にたわむ。このように、第１の板ばねのＸ
方向の上下にたわみと、第２の板ばねのＹ方向の
上下のたわみとにより、ツールは任意の方向にた
わむことができるので、ツールの下面は常にボン
デイング面の任意の傾きに倣うことができる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第５図に
より説明する。ツール１の軸部１ａは、ツールホ
ルダー２に設けられた穴２ａに挿入され、ツール
ホルダー２の側面に配設された押え板３をねじ４
でツールホルダー２に固定することによつてツー
ルホルダー２に固定される。前記ツールホルダー
２の下面には、第１の板ばね５の相対向する２隅
（Ｘ方向の両端）がスペーサ６を介してねじ７で
固定されている。

一方、ボンダーの図示しないツール保持部に固
定される取付体１０の平面上には、第２の板ばね
１１の相対向する２隅（Ｘ方向の両端）がスペー
サ１２を介してねじ１３で固定されている。そし
て、第２の板ばね１１のねじ１３で取付体１０に
固定されていないフリー状態の相対向する２隅
（Ｙ方向の両端）と、前記第１の板ばね５のねじ
７でツールホルダー２に固定されていないフリー
状態の相対向する２隅（Ｙ方向の両端）の間に
は、カラー１４，１５が配設され、更にカラー１
４と１５との間にはスペーサ１６が配設され、こ
れら第２の板ばね１１、カラー１４、スペーサ１
６、カラー１５及び第１の板ばね５は、ボルト１
７とナツト１８とで一体に固定されている。ここ
で、取付体１０、第２の板ばね１１、スペーサ１
６、第１の板ばね５の中心部には、ツール１の軸
部１ａより十分大きな穴１０ａ，１１ａ，１６
ａ，５ａが設けられている。

次に作用について説明する。前記したように、
第１の板ばね５は、Ｘ方向の両端がツールホルダ
ー２に固定され、第２の板ばね１１は、Ｘ方向の
両端が取付体１０に固定され、第１の板ばね５の
Ｙ方向のフリー状態の両端と、第２の板ばね１１
のＹ方向のフリー状態の両端とが固定されている
ので、第１の板ばね５はＸ方向の両端が第２の板
ばね１１、即ち取付体１０に対して上下にたわむ
ことができ、第２の板ばね１１のＹ方向の両端が
取付体１０に対して上下にたわむことができる。

今、一例として、インナーリードボンダーの場
合について説明すると、インナーリードボンダー
の場合には、取付体１０が下降してツール１でテ
ープのリード部をペレツトに押圧することによつ
てボンデイングする。そこで、ツール１が下降し
てテープのリード部を押圧した時、リード部のボ
ンデイング面のＸ方向の上下に傾きがある場合に
は、ツール１の下面がボンデイング面に倣うよう
に第１の板ばね５がＸ方向にたわむ。またリード
部のボンデイング面のＹ方向の上下に傾きがある
場合には、ツール１の下面がボンデイング面に倣
うように第２の板ばね１１がＹ方向にたわむ。こ
のように、第１の板ばね５のＸ方向の上下にたわ
みと、第２の板ばね１１のＹ方向の上下のたわみ
とにより、ツール１は任意の方向にたわむことが
できるので、ツール１の下面は常にボンデイング
面の任意に傾きに倣うことができる。

第６図は本発明の他の実施例で、前記実施例の
全体を上下逆にして用いた場合を示す。本実施例
の場合は、ツール１の軸部１ａを取付体１０、第
２の板ばね１１、スペーサ１６及び第１の板ばね
５に通す必要がないので、穴１０ａ，１１ａ，１
６ａ，５ａは特に設ける必要はない。このように
して用いても前記実施例と同様の効果が得られ
る。

なお、上記各実施例においては、板ばね５，１
１は四角形の場合を図示したが、円形であつても
よい。またスペーサ１６は特に設けなくてもよ
い。またツール１は、テープボンダー用の場合を
図示したが、ペレツトボンダー用でもよい。この
場合には、ツール１にはペレツトを吸着する吸着
穴が設けられ、かつツール１の上端には真空装置
に接続されたパイプを接続することはいうまでも
ない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、試料のボンデイング面にツールのボンデイン
グ面が倣うので、ツールをツールホルダーに取付
けるのみで調整は不要である。また傾きのある試
料も完全なボンデイングが行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す分解斜視図、
第２図は正面図、第３図は左側面図、第４図は右
側面図、第５図は平面図、第６図は本発明の他の
実施例を示す分解斜視図である。 １：ツール、２：ツールホルダー、５：第１の
板ばね、１０：取付体、１１：第２の板ばね。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ツールが固定されたツールホルダーと、この
   ツールホルダーに相対向する両端が固定された第
   １の板ばねと、ボンダーのツール保持部に固定さ
   れる取付体と、この取付体に相対向する両端が固
   定され、かつフリー状態の相対向する両端が前記
   第１の板ばねのフリー状態の相対向する両端に固
   定された第２の板ばねとからなり、前記ツールの
   下面がボンデイング面に倣つて傾き得ることを特
   徴とするボンダー用ツール保持機構。