JPH0475171U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0475171U JPH0475171U JP11818390U JP11818390U JPH0475171U JP H0475171 U JPH0475171 U JP H0475171U JP 11818390 U JP11818390 U JP 11818390U JP 11818390 U JP11818390 U JP 11818390U JP H0475171 U JPH0475171 U JP H0475171U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold trap
- casing
- vacuum device
- cold
- panels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
第１図はこの考案の第１の実施例の真空装置を
示す模式図、第２図はその装置の要部断面図、第
３図はその装置に適用された低温バツフルを示す
斜視図、第４図はこの考案の第２の実施例の真空
装置を示す要部断面図、第５図は第４図の−
線断面図、第６図は第４図の−線断面図、第
７図は従来の真空装置の要部断面図である。 １１……真空チヤンバ、１３……油拡散ポンプ
、２１，３１……ケーシング、２４，３４……低
温バツフル、２４ｂ，３４ｂ……クライオパネル
、２５，３５……水冷バツフル、２５ｂ，３５ｂ
……水冷パネル。
示す模式図、第２図はその装置の要部断面図、第
３図はその装置に適用された低温バツフルを示す
斜視図、第４図はこの考案の第２の実施例の真空
装置を示す要部断面図、第５図は第４図の−
線断面図、第６図は第４図の−線断面図、第
７図は従来の真空装置の要部断面図である。 １１……真空チヤンバ、１３……油拡散ポンプ
、２１，３１……ケーシング、２４，３４……低
温バツフル、２４ｂ，３４ｂ……クライオパネル
、２５，３５……水冷バツフル、２５ｂ，３５ｂ
……水冷パネル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空チヤンバから油拡散ポンプまでの吸引
経路上に、被処理流体が通過するケーシングとそ
のケーシング内に配置されるコールドトラツプ本
体とをそれぞれ有する第１および第２コールドト
ラツプが配置される真空装置において、 前記第１コールドトラツプのケーシングと、前
記第２コールドトラツプのケーシングとが一体的
に形成されたことを特徴とする真空装置。 (2) 請求項１記載の真空装置であつて、 前記第１コールドトラツプのコールドトラツプ
本体および前記第２コールドトラツプのコールド
トラツプ本体のうち一方側のコールドトラツプ本
体には非平板状の複数枚のパネルが設けられるこ
とにより、各パネル間で構成される前記被処理流
体の経路が非直線状となるようにされた真空装置
。 (3) 請求項１記載の真空装置であつて、 前記第１コールドトラツプのコールドトラツプ
本体には、第１の方向に沿つて相互に略平行に配
置されたプレート状の複数枚の第１パネルが設け
られるとともに、前記第２コールドトラツプのコ
ールドトラツプ本体には、第２の方向に沿つて相
互に略平行に配置されたプレート状の複数枚の第
２パネルが設けられ、前記第１および第２の方向
を異なる方向としたことを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990118183U JP2522383Y2 (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990118183U JP2522383Y2 (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475171U true JPH0475171U (ja) | 1992-06-30 |
| JP2522383Y2 JP2522383Y2 (ja) | 1997-01-16 |
Family
ID=31866087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990118183U Expired - Lifetime JP2522383Y2 (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522383Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109141010A (zh) * | 2018-07-10 | 2019-01-04 | 益发施迈茨工业炉（上海）有限公司 | 可变叶片冷井装置及其抽真空方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6137468A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-22 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感熱記録シ−ト |
-
1990
- 1990-11-08 JP JP1990118183U patent/JP2522383Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6137468A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-22 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感熱記録シ−ト |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109141010A (zh) * | 2018-07-10 | 2019-01-04 | 益发施迈茨工业炉（上海）有限公司 | 可变叶片冷井装置及其抽真空方法 |
| CN109141010B (zh) * | 2018-07-10 | 2023-10-20 | 益发施迈茨工业炉（上海）有限公司 | 可变叶片冷井装置及其抽真空方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2522383Y2 (ja) | 1997-01-16 |