JPH0475183B2 - - Google Patents
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- JPH0475183B2 JPH0475183B2 JP60227239A JP22723985A JPH0475183B2 JP H0475183 B2 JPH0475183 B2 JP H0475183B2 JP 60227239 A JP60227239 A JP 60227239A JP 22723985 A JP22723985 A JP 22723985A JP H0475183 B2 JPH0475183 B2 JP H0475183B2
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- C04B35/497—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates based on solid solutions with lead oxides
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- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
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Description
（技術分野）
本発明は、セラミツクコンデンサ、厚膜コンデ
ンサ、セラミツク圧電アクチユエータ等の構成材
料であるセラミツクグリーンシートや加圧成形等
による成形体、並びにペースト材料等に用いられ
る誘電体磁器用セラミツク組成物に関するもので
あり、更に詳しくは非酸化性雰囲気中における焼
成に好適に用いられる誘電体磁器用セラミツク組
成物に関するものである。 （従来技術とその問題点） 従来から、積層セラミツクコンデンサや積層セ
ラミツク圧電アクチユエータは、白金、パラジウ
ム等の、酸化雰囲気中で安定な貴金属を主成分と
する導体ペーストを用い、それにて所定の誘電体
磁器を与えるセラミツクグリーンシートに電極等
を印刷して、それを複数枚積層し、そして酸化雰
囲気中で焼成し、しかる後外部引き出し電極を設
けることによつて、製作されている。 しかしながら、この方法は、空気中で焼成し得
る利点があるものの、白金、パラジウム等の貴金
属が高価であるところから、これを広く実用化す
ることは、経済上において大きな問題がある。 そこで、この種の問題を解決する手法として、
ニツケル、銅、モリブデン等の卑金属を主成分と
する導体ペーストを用い、これをグリーンシート
等に適用したものを非酸化性雰囲気で焼成するこ
とにより、目的とする誘電体磁器を得る方法が考
えられる。 しかしながら、この方法は、非酸化性雰囲気中
での焼成であるために、誘電体磁器を構成するペ
ロブスカイト型あるいは複合ペロブスカイト型の
化合物が還元されたり、変質したりし、また添加
物として加えられるビスマス、亜鉛、鉛等の酸化
物や化合物が蒸発し、焼成中に誘電体磁器の組成
が変化するようになるため、緻密なセラミツクス
を得ることが難しく、また誘電率が小さく、誘電
正接が大きい誘電体磁器しか得られなかつた。 （発明の構成・効果） ここにおいて、本発明は、上記の如き事情を背
景にして為されたものであつて、その目的とする
ところは、非酸化性雰囲気中で焼成することが出
来、しかも絶縁抵抗及び誘電率が高く、誘電正接
の小さい、更には電気機械結合係数が大きく、圧
電歪定数も大きい、電気特性の優れた誘電体磁器
を形成することの出来る、誘電体磁器用セラミツ
ク組成物を提供することにある。 そして、このような目的を達成するために、本
発明は、ペロブスカイト型あるいは複合ペロブス
カイト型化合物を主成分とする誘電体磁器を形成
するセラミツク組成物において、過酸化カルシウ
ム、過酸化ストロンチウム及び過酸化バリウムか
らなる群より選ばれた少なくとも１種の無機過酸
化物を含むことを特徴とする誘電体磁器用セラミ
ツク組成物を用いるようにしたのである。 すなわち、本発明に従うセラミツク組成物は、
過酸化カルシウム、過酸化ストロンチウム及び過
酸化バリウムのうちの少なくとも１種とペロブス
カイト型あるいは複合ペロブスカイト型化合物と
の組合わせの組成である為に、得られる誘電体磁
器が還元や変質を受けず、更には焼結性が良く、
緻密なセラミツクが得られ、また誘電体磁器にし
た時に、高い誘電率と絶縁抵抗、低い誘電正接と
いう優れた誘電特性が安定して得られ、更に圧電
特性としても、大きな電気機械結合定数、圧電歪
定数等が得られるのである。 要するに、ペロブスカイト型あるいは複合ペロ
ブスカイト型化合物が低酸素分圧雰囲気中で焼成
されると、一般に、それが部分的に還元された
り、変質したりすることによつて、誘電損失、絶
縁耐圧等の劣化を来たす傾向があるのであるが、
本発明に従つてCaO2、SrO2あるいはBaO2とい
うアルカリ土類過酸化物を加えることによつて、
この還元や変質を効果的に防止せしめることが出
来るのである。 なお、この組合わせの効果は、恐らく、ペロブ
スカイト型という特別の構造と、CaO2、SrO2、
BaO2というアルカリ土類無機過酸化物独自の物
性との相互作用によるものと考えられている。 （構成の具体的な説明） ところで、かかる本発明に従うセラミツク組成
物を構成するペロブスカイト型あるいは複合ペロ
ブスカイト型化合物としては、従来より、厚膜コ
ンデンサ材料、セラミツクコンデンサ材料、或い
はセラミツク圧電材料として使用されている何れ
のものをも用いることが出来る。而して、その中
で好ましい化合物としては、BaTiO3、MgTiO3、
CaTiO3、SrTiO3、BaZrO3、CaZrO3、｛（Ba1-x
Cax）Ｏ｝n（Ti1-yZry）O2、BaSnO3、CaSnO3、
｛（BaxCaySrz）Ｏ〕｝n（TioZr1-o）O2、PbTiO3、
PbZrO3、Pb（Fe2/3W1/3）O3、Pb（Fe2/3W1/3）1-x
TixO3、（PbxBay）TiO3、（PbxCay）TiO3、Pb
（Fe2/3W1/3）x・（Zn1/3Nb2/3）1-xO3、（PbxSry）
TiO3、（PbxMgy）TiO3、（１−ｘ−ｙ）Pb
（Ni1/3Nb2/3）O3−xPbZrO3−yPbTiO3、Pb
（Fe2/3W1/3）O3−Pb（Fe1/2Nb1/2）O3−Pb（Zn1/3
Nb2/3）O3等があり、特にその中でも、Ca、Sr、
Ba等を含むペロブスカイト型化合物や、｛（Ba1-x
Cax）Ｏ｝n（Ti1-yZry）O2、｛（BaxCaySrz）Ｏ｝n
（TioZr1-o）O2、Pb（Fe2/3W1/3）O3、Pb（Fe2/3
W1/3）1-xTixO3、Pb（Fe2/3W1/3）x（Zn1/3Nb2/3）1-x
O3、（１−ｘ−ｙ）Pb（Ni1/3Nb2/3）O3−
xPbZrO3−yPbTiO3、Pb（Fe2/3W1/3）O3−Pb
（Fe1/2Nb1/2）O3−Pb（Zn1/3Nb2/3）O3等の複合ペ
ロブスカイト型化合物が、焼結性、電気特性の観
点より、更に好ましいものである。そしてまた、
その中でも、Ca、Sr、Ba等を含むペロブスカイ
ト型化合物あるいは複合ペロブスカイト型化合物
は、同じアルカリ土類の元素を持つCaO2、SrO2
及び／又はBaO2をペロブスカイト型化合物ある
いは複合ペロブスカイト型化合物の構成成分の一
部に用いることができ、誘電体磁器の化学組成の
制御が容易であるところから、目標の電気特性が
正確に安定して得られ、特に好ましいものであ
る。即ち、ペロブスカイトまたは複合ペロブスカ
イトを形成するアルカリ土類酸化物原料として、
過酸化物を用いることも好ましい。 また、本発明に係るセラミツク組成物を構成す
る無機過酸化物としては、CaO2、SrO2、BaO2
のうち少なくとも１種が用いられるが、その中で
も焼結性、電気特性の観点よりSrO2が好ましい。
そして、これらの無機過酸化物の含有量（総量）
は、ペロブスカイト型化合物あるいは複合ペロブ
スカイト型化合物を100重量部とした時、0.1〜40
重量部となるようにすることが、焼結性、電気特
性の観点より好ましく、更に好ましくは１〜30重
量部である。また、その平均粒径は、0.1〜10μm
程度が焼結性の観点より好ましい。 さらに、本発明の誘電体磁器用セラミツク組成
においては、焼結助剤として、必要に応じて
SiO2、Li2O、BaO、SrO、CaO、B2O3、PbO、
MgO、Al2O3、ZnO、TiO2、Na2O、K2O、ZrO2
からなる群より選ばれた少なくとも１種の酸化物
を含むガラスが適当量含有させられてもよく、ま
た必要に応じてカルシウム、ストロンチウム、マ
ンガン、プラセオジウム、サマリウム、ビスマ
ス、ニオブ、亜鉛、鉛、コバルト、白金族元素等
の酸化物や化合物を含有させても、何等差支えな
い。 そして、このような本発明に従うセラミツク組
成物を用いて、好適に、積層セラミツクコンデン
サ、厚膜コンデンサ、積層セラミツクアクチユエ
ータ等を製作することができるのである。この
時、先ず、セラミツクグリーンシートや加圧成形
等による成形体やセラミツクペースト等に関して
は、予め仮焼等によつて形成したペロブスカイト
型あるいは複合ペロブスカイト型化合物と所定の
無機過酸化物とを含む本発明のセラミツク組成物
を用い、有機バインダ等と共に公知の手法に基づ
いて作製しても、或いは焼成によつてペロブスカ
イト型化合物あるいは複合ペロブスカイト型化合
物を生成し得る、例えば炭酸塩、水酸化物、塩化
物、硝酸塩、酸化物等の混合物と該無機過酸化物
とを含む本発明のセラミツク組成物を用い、有機
バインダ等と共に公知の手法に基づいて作製して
もよいが、予め仮焼によつてペロブスカイト型あ
るいは複合ペロブスカイト型化合物を形成して、
本発明のセラミツク組成物を作製する方が、優れ
た電気特性を有する磁器を得ることが出来、好ま
しい。 次いで、本発明に従うセラミツク組成物を用い
て作製されたセラミツクグリーンシートや、厚膜
誘電体やその他の成形体には、金属粉末を含有す
る導電性ペーストが付与されることとなるが、こ
の導電性ペーストとしては卑金属粉末を含有する
ペーストを用いることができ、少なくともニツケ
ル、銅、モリブデン、タングステンの何れかの金
属、合金及び／又は化合物の粉末を含有する導電
性ペーストが好ましく、その中でも特にニツケル
が好ましい。 そして、この金属粉末を付与したセラミツクグ
リーンシートや厚膜誘電体やその他の成形体を、
必要に応じて公知の方法で積層或いは印刷によつ
て多層した後、焼成するが、本発明のセラミツク
組成物を用いた場合は、N2雰囲気、微少酸素を
含むN2雰囲気、N2−H2雰囲気、N2−H2−H2O
雰囲気等の非酸化性雰囲気中で好適に焼成できる
が、勿論、空気等の酸化性雰囲気中で焼成しても
誘電体としては問題はない。 また、上記の焼成工程における具体的な焼成操
作としては、例えば室温から500℃〜600℃程度ま
で空気中で焼成し、その後必要な焼成温度まで微
少酸素を含むN2雰囲気、N2−H2雰囲気、あるい
はN2−H2−H2O雰囲気等で焼成するというよう
に、焼成温度範囲別に雰囲気を変えて焼成するこ
とも可能である。即ち、本発明の焼成雰囲気とし
ては、導電性ペーストが焼成後、酸化によつて電
極や導体としての作用に問題を起こさなければよ
く、電極材料を考慮して、焼成雰囲気を適宜に選
定することができる。 （実施例） 以下、本発明を更に具体的に明らかにするため
に、本発明の幾つかの実施例を示すが、本発明が
そのような実施例の記載によつて何等制限的に解
釈されるものでないことは、言うまでもないとこ
ろである。 なお、本発明は、上述した本発明の具体的な説
明並びに以下の実施例の他にも各種の態様におい
て実施され得るものであり、本発明の趣旨を逸脱
しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて実
施され得る種々なる態様のものが何れも本発明の
範疇に属するものと理解されるべきである。 先ず、出発原料として、BaCO3、CaCO3、
TiO2、ZrO2、PbO、Fe2O3、NiO、WO3、ZnO、
Nb2O5、SrCO3等を第１表に示した配合比に秤量
し、ボールミルで混合、粉砕した後に乾燥し、
600℃〜1200℃で仮焼し、基本成分を得た。 次いで、この基本成分の100重量部に対して
CaO2、SrO2、BaO2等の過酸化物を第１表に示
す割合になるように添加し、更に必要に応じて、
第１表に示すガラスや酸化物を添加して、第１表
に記載された如き本発明に従うセラミツク組成物
を得た。ただし、第１表の試料No.３に関しては、
TiO2、BaO2、BaO等を第１表に記載した配合比
に秤量し、更にガラスを添加して、ボールミルで
混合、粉砕し、本発明のセラミツク組成物を得た
ものである。この時、TiO2、BaO2、BaOの配合
モル比は、TiO2：BaO2：BaO＝１：0.5：0.5で
ある。 なお、第１表には、比較のために、本発明の範
囲外のセラミツク組成物も含まれている。 そして、この第１表記載のセラミツク組成物に
対してアクリル酸エステルポリマー、グリセリ
ン、縮合リン酸塩等からなる有機バインダを加
え、ボールミルにて混合、粉砕し、ドクターブレ
ード法で60μm厚のグリーンシートを成形した。
また、第１表のセラミツク組成物にポリビニルア
ルコールからなる有機バインダを加え、約1ton／
cm2の圧力で成形して、直径16mm、厚さ0.5mmの円
板状成形物を得た。次に、得られたグリーンシー
トに、ニツケル金属粉末を主成分とする導電ペー
ストと、該グリーンシートと同じセラミツク組成
物よりなる厚膜誘電体ペーストとを交互に印刷
し、電極等を付与しつつ、10層まで印刷多層し
た。一方、円板状成形体の両面には、ニツケルを
主成分とする導電ペーストを印刷した。 かくして得られたセラミツク積層体及び円板状
成形体を500℃まで微少酸素を含むN2ガス（酸素
濃度２％）中で加熱し、その後N2雰囲気下で第
２表記載の焼成温度まで昇温して、焼成を行なう
ことにより、第２表記載のセラミツク積層体及び
円板を得た。 ここで、誘電率及び誘電正接は1KHzで測定し、
比抵抗はDC100Vを印加して室温で測定した。ま
た、電気機械結合係数、圧電歪定数は、それぞれ
90℃の油中にて２〜4kV／mmの直流電界を印加
し、分極した試料について共振周波数、反共振周
波数を測定して、所定の方法で算出した。
ンサ、セラミツク圧電アクチユエータ等の構成材
料であるセラミツクグリーンシートや加圧成形等
による成形体、並びにペースト材料等に用いられ
る誘電体磁器用セラミツク組成物に関するもので
あり、更に詳しくは非酸化性雰囲気中における焼
成に好適に用いられる誘電体磁器用セラミツク組
成物に関するものである。 （従来技術とその問題点） 従来から、積層セラミツクコンデンサや積層セ
ラミツク圧電アクチユエータは、白金、パラジウ
ム等の、酸化雰囲気中で安定な貴金属を主成分と
する導体ペーストを用い、それにて所定の誘電体
磁器を与えるセラミツクグリーンシートに電極等
を印刷して、それを複数枚積層し、そして酸化雰
囲気中で焼成し、しかる後外部引き出し電極を設
けることによつて、製作されている。 しかしながら、この方法は、空気中で焼成し得
る利点があるものの、白金、パラジウム等の貴金
属が高価であるところから、これを広く実用化す
ることは、経済上において大きな問題がある。 そこで、この種の問題を解決する手法として、
ニツケル、銅、モリブデン等の卑金属を主成分と
する導体ペーストを用い、これをグリーンシート
等に適用したものを非酸化性雰囲気で焼成するこ
とにより、目的とする誘電体磁器を得る方法が考
えられる。 しかしながら、この方法は、非酸化性雰囲気中
での焼成であるために、誘電体磁器を構成するペ
ロブスカイト型あるいは複合ペロブスカイト型の
化合物が還元されたり、変質したりし、また添加
物として加えられるビスマス、亜鉛、鉛等の酸化
物や化合物が蒸発し、焼成中に誘電体磁器の組成
が変化するようになるため、緻密なセラミツクス
を得ることが難しく、また誘電率が小さく、誘電
正接が大きい誘電体磁器しか得られなかつた。 （発明の構成・効果） ここにおいて、本発明は、上記の如き事情を背
景にして為されたものであつて、その目的とする
ところは、非酸化性雰囲気中で焼成することが出
来、しかも絶縁抵抗及び誘電率が高く、誘電正接
の小さい、更には電気機械結合係数が大きく、圧
電歪定数も大きい、電気特性の優れた誘電体磁器
を形成することの出来る、誘電体磁器用セラミツ
ク組成物を提供することにある。 そして、このような目的を達成するために、本
発明は、ペロブスカイト型あるいは複合ペロブス
カイト型化合物を主成分とする誘電体磁器を形成
するセラミツク組成物において、過酸化カルシウ
ム、過酸化ストロンチウム及び過酸化バリウムか
らなる群より選ばれた少なくとも１種の無機過酸
化物を含むことを特徴とする誘電体磁器用セラミ
ツク組成物を用いるようにしたのである。 すなわち、本発明に従うセラミツク組成物は、
過酸化カルシウム、過酸化ストロンチウム及び過
酸化バリウムのうちの少なくとも１種とペロブス
カイト型あるいは複合ペロブスカイト型化合物と
の組合わせの組成である為に、得られる誘電体磁
器が還元や変質を受けず、更には焼結性が良く、
緻密なセラミツクが得られ、また誘電体磁器にし
た時に、高い誘電率と絶縁抵抗、低い誘電正接と
いう優れた誘電特性が安定して得られ、更に圧電
特性としても、大きな電気機械結合定数、圧電歪
定数等が得られるのである。 要するに、ペロブスカイト型あるいは複合ペロ
ブスカイト型化合物が低酸素分圧雰囲気中で焼成
されると、一般に、それが部分的に還元された
り、変質したりすることによつて、誘電損失、絶
縁耐圧等の劣化を来たす傾向があるのであるが、
本発明に従つてCaO2、SrO2あるいはBaO2とい
うアルカリ土類過酸化物を加えることによつて、
この還元や変質を効果的に防止せしめることが出
来るのである。 なお、この組合わせの効果は、恐らく、ペロブ
スカイト型という特別の構造と、CaO2、SrO2、
BaO2というアルカリ土類無機過酸化物独自の物
性との相互作用によるものと考えられている。 （構成の具体的な説明） ところで、かかる本発明に従うセラミツク組成
物を構成するペロブスカイト型あるいは複合ペロ
ブスカイト型化合物としては、従来より、厚膜コ
ンデンサ材料、セラミツクコンデンサ材料、或い
はセラミツク圧電材料として使用されている何れ
のものをも用いることが出来る。而して、その中
で好ましい化合物としては、BaTiO3、MgTiO3、
CaTiO3、SrTiO3、BaZrO3、CaZrO3、｛（Ba1-x
Cax）Ｏ｝n（Ti1-yZry）O2、BaSnO3、CaSnO3、
｛（BaxCaySrz）Ｏ〕｝n（TioZr1-o）O2、PbTiO3、
PbZrO3、Pb（Fe2/3W1/3）O3、Pb（Fe2/3W1/3）1-x
TixO3、（PbxBay）TiO3、（PbxCay）TiO3、Pb
（Fe2/3W1/3）x・（Zn1/3Nb2/3）1-xO3、（PbxSry）
TiO3、（PbxMgy）TiO3、（１−ｘ−ｙ）Pb
（Ni1/3Nb2/3）O3−xPbZrO3−yPbTiO3、Pb
（Fe2/3W1/3）O3−Pb（Fe1/2Nb1/2）O3−Pb（Zn1/3
Nb2/3）O3等があり、特にその中でも、Ca、Sr、
Ba等を含むペロブスカイト型化合物や、｛（Ba1-x
Cax）Ｏ｝n（Ti1-yZry）O2、｛（BaxCaySrz）Ｏ｝n
（TioZr1-o）O2、Pb（Fe2/3W1/3）O3、Pb（Fe2/3
W1/3）1-xTixO3、Pb（Fe2/3W1/3）x（Zn1/3Nb2/3）1-x
O3、（１−ｘ−ｙ）Pb（Ni1/3Nb2/3）O3−
xPbZrO3−yPbTiO3、Pb（Fe2/3W1/3）O3−Pb
（Fe1/2Nb1/2）O3−Pb（Zn1/3Nb2/3）O3等の複合ペ
ロブスカイト型化合物が、焼結性、電気特性の観
点より、更に好ましいものである。そしてまた、
その中でも、Ca、Sr、Ba等を含むペロブスカイ
ト型化合物あるいは複合ペロブスカイト型化合物
は、同じアルカリ土類の元素を持つCaO2、SrO2
及び／又はBaO2をペロブスカイト型化合物ある
いは複合ペロブスカイト型化合物の構成成分の一
部に用いることができ、誘電体磁器の化学組成の
制御が容易であるところから、目標の電気特性が
正確に安定して得られ、特に好ましいものであ
る。即ち、ペロブスカイトまたは複合ペロブスカ
イトを形成するアルカリ土類酸化物原料として、
過酸化物を用いることも好ましい。 また、本発明に係るセラミツク組成物を構成す
る無機過酸化物としては、CaO2、SrO2、BaO2
のうち少なくとも１種が用いられるが、その中で
も焼結性、電気特性の観点よりSrO2が好ましい。
そして、これらの無機過酸化物の含有量（総量）
は、ペロブスカイト型化合物あるいは複合ペロブ
スカイト型化合物を100重量部とした時、0.1〜40
重量部となるようにすることが、焼結性、電気特
性の観点より好ましく、更に好ましくは１〜30重
量部である。また、その平均粒径は、0.1〜10μm
程度が焼結性の観点より好ましい。 さらに、本発明の誘電体磁器用セラミツク組成
においては、焼結助剤として、必要に応じて
SiO2、Li2O、BaO、SrO、CaO、B2O3、PbO、
MgO、Al2O3、ZnO、TiO2、Na2O、K2O、ZrO2
からなる群より選ばれた少なくとも１種の酸化物
を含むガラスが適当量含有させられてもよく、ま
た必要に応じてカルシウム、ストロンチウム、マ
ンガン、プラセオジウム、サマリウム、ビスマ
ス、ニオブ、亜鉛、鉛、コバルト、白金族元素等
の酸化物や化合物を含有させても、何等差支えな
い。 そして、このような本発明に従うセラミツク組
成物を用いて、好適に、積層セラミツクコンデン
サ、厚膜コンデンサ、積層セラミツクアクチユエ
ータ等を製作することができるのである。この
時、先ず、セラミツクグリーンシートや加圧成形
等による成形体やセラミツクペースト等に関して
は、予め仮焼等によつて形成したペロブスカイト
型あるいは複合ペロブスカイト型化合物と所定の
無機過酸化物とを含む本発明のセラミツク組成物
を用い、有機バインダ等と共に公知の手法に基づ
いて作製しても、或いは焼成によつてペロブスカ
イト型化合物あるいは複合ペロブスカイト型化合
物を生成し得る、例えば炭酸塩、水酸化物、塩化
物、硝酸塩、酸化物等の混合物と該無機過酸化物
とを含む本発明のセラミツク組成物を用い、有機
バインダ等と共に公知の手法に基づいて作製して
もよいが、予め仮焼によつてペロブスカイト型あ
るいは複合ペロブスカイト型化合物を形成して、
本発明のセラミツク組成物を作製する方が、優れ
た電気特性を有する磁器を得ることが出来、好ま
しい。 次いで、本発明に従うセラミツク組成物を用い
て作製されたセラミツクグリーンシートや、厚膜
誘電体やその他の成形体には、金属粉末を含有す
る導電性ペーストが付与されることとなるが、こ
の導電性ペーストとしては卑金属粉末を含有する
ペーストを用いることができ、少なくともニツケ
ル、銅、モリブデン、タングステンの何れかの金
属、合金及び／又は化合物の粉末を含有する導電
性ペーストが好ましく、その中でも特にニツケル
が好ましい。 そして、この金属粉末を付与したセラミツクグ
リーンシートや厚膜誘電体やその他の成形体を、
必要に応じて公知の方法で積層或いは印刷によつ
て多層した後、焼成するが、本発明のセラミツク
組成物を用いた場合は、N2雰囲気、微少酸素を
含むN2雰囲気、N2−H2雰囲気、N2−H2−H2O
雰囲気等の非酸化性雰囲気中で好適に焼成できる
が、勿論、空気等の酸化性雰囲気中で焼成しても
誘電体としては問題はない。 また、上記の焼成工程における具体的な焼成操
作としては、例えば室温から500℃〜600℃程度ま
で空気中で焼成し、その後必要な焼成温度まで微
少酸素を含むN2雰囲気、N2−H2雰囲気、あるい
はN2−H2−H2O雰囲気等で焼成するというよう
に、焼成温度範囲別に雰囲気を変えて焼成するこ
とも可能である。即ち、本発明の焼成雰囲気とし
ては、導電性ペーストが焼成後、酸化によつて電
極や導体としての作用に問題を起こさなければよ
く、電極材料を考慮して、焼成雰囲気を適宜に選
定することができる。 （実施例） 以下、本発明を更に具体的に明らかにするため
に、本発明の幾つかの実施例を示すが、本発明が
そのような実施例の記載によつて何等制限的に解
釈されるものでないことは、言うまでもないとこ
ろである。 なお、本発明は、上述した本発明の具体的な説
明並びに以下の実施例の他にも各種の態様におい
て実施され得るものであり、本発明の趣旨を逸脱
しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて実
施され得る種々なる態様のものが何れも本発明の
範疇に属するものと理解されるべきである。 先ず、出発原料として、BaCO3、CaCO3、
TiO2、ZrO2、PbO、Fe2O3、NiO、WO3、ZnO、
Nb2O5、SrCO3等を第１表に示した配合比に秤量
し、ボールミルで混合、粉砕した後に乾燥し、
600℃〜1200℃で仮焼し、基本成分を得た。 次いで、この基本成分の100重量部に対して
CaO2、SrO2、BaO2等の過酸化物を第１表に示
す割合になるように添加し、更に必要に応じて、
第１表に示すガラスや酸化物を添加して、第１表
に記載された如き本発明に従うセラミツク組成物
を得た。ただし、第１表の試料No.３に関しては、
TiO2、BaO2、BaO等を第１表に記載した配合比
に秤量し、更にガラスを添加して、ボールミルで
混合、粉砕し、本発明のセラミツク組成物を得た
ものである。この時、TiO2、BaO2、BaOの配合
モル比は、TiO2：BaO2：BaO＝１：0.5：0.5で
ある。 なお、第１表には、比較のために、本発明の範
囲外のセラミツク組成物も含まれている。 そして、この第１表記載のセラミツク組成物に
対してアクリル酸エステルポリマー、グリセリ
ン、縮合リン酸塩等からなる有機バインダを加
え、ボールミルにて混合、粉砕し、ドクターブレ
ード法で60μm厚のグリーンシートを成形した。
また、第１表のセラミツク組成物にポリビニルア
ルコールからなる有機バインダを加え、約1ton／
cm2の圧力で成形して、直径16mm、厚さ0.5mmの円
板状成形物を得た。次に、得られたグリーンシー
トに、ニツケル金属粉末を主成分とする導電ペー
ストと、該グリーンシートと同じセラミツク組成
物よりなる厚膜誘電体ペーストとを交互に印刷
し、電極等を付与しつつ、10層まで印刷多層し
た。一方、円板状成形体の両面には、ニツケルを
主成分とする導電ペーストを印刷した。 かくして得られたセラミツク積層体及び円板状
成形体を500℃まで微少酸素を含むN2ガス（酸素
濃度２％）中で加熱し、その後N2雰囲気下で第
２表記載の焼成温度まで昇温して、焼成を行なう
ことにより、第２表記載のセラミツク積層体及び
円板を得た。 ここで、誘電率及び誘電正接は1KHzで測定し、
比抵抗はDC100Vを印加して室温で測定した。ま
た、電気機械結合係数、圧電歪定数は、それぞれ
90℃の油中にて２〜4kV／mmの直流電界を印加
し、分極した試料について共振周波数、反共振周
波数を測定して、所定の方法で算出した。
【表】
【表】
【表】
【表】
かかる第２表及び第３表の結果に見られるよう
に、CaO2、SrO2及びBaO2のうちの１種或いは
それらを組み合わせて含む本発明に従うセラミツ
ク組成物を用いた誘電体磁器にあつては、それが
非酸化性雰囲気中で焼成して製造されても、優れ
た焼結性、電気特性を得ることが出来るのであ
る。 以上、説明したように、本発明のセラミツク組
成物はセラミツクコンデンサ、厚膜コンデンサ、
セラミツク圧電アクチユエータ等をはじめ、広く
電子部品の分野で誘電体磁器用組成物として好適
に用いられるものである。
に、CaO2、SrO2及びBaO2のうちの１種或いは
それらを組み合わせて含む本発明に従うセラミツ
ク組成物を用いた誘電体磁器にあつては、それが
非酸化性雰囲気中で焼成して製造されても、優れ
た焼結性、電気特性を得ることが出来るのであ
る。 以上、説明したように、本発明のセラミツク組
成物はセラミツクコンデンサ、厚膜コンデンサ、
セラミツク圧電アクチユエータ等をはじめ、広く
電子部品の分野で誘電体磁器用組成物として好適
に用いられるものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ペロブスカイト型あるいは複合ペロブスカイ
ト型化合物を主成分とする誘電体磁器を形成する
セラミツク組成物において、 過酸化カルシウム、過酸化ストロンチウム及び
過酸化バリウムからなる群より選ばれた少なくと
も１種の無機過酸化物を含むことを特徴とする誘
電体磁器用セラミツク組成物。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227239A JPS6287456A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 誘電体磁器用セラミツク組成物 |
| US06/915,540 US4755493A (en) | 1985-10-11 | 1986-10-06 | Ceramic composition for dielectric ceramic bodies |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227239A JPS6287456A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 誘電体磁器用セラミツク組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6287456A JPS6287456A (ja) | 1987-04-21 |
| JPH0475183B2 true JPH0475183B2 (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=16857694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60227239A Granted JPS6287456A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 誘電体磁器用セラミツク組成物 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4755493A (ja) |
| JP (1) | JPS6287456A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| US5061683A (en) * | 1987-06-09 | 1991-10-29 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for making superconductors using barium hydroxide |
| DE3885961D1 (de) * | 1987-07-24 | 1994-01-13 | Asea Brown Boveri | Verfahren zur Herstellung eines ummantelten Drahtes aus einem keramischen Hochtemperatur-Supraleiter. |
| JPH01148749A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Mitsubishi Kasei Corp | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
| US5106830A (en) * | 1988-01-15 | 1992-04-21 | University Of Arkansas | High temperature superconductor system having the formula Tl-Ba-Cu-O |
| US5112800A (en) * | 1988-08-25 | 1992-05-12 | The University Of Arkansas | Preparation of superconducting Tl-Ba-Ca-Cu-O thin films by Tl2 O3 |
| JPH0265186A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電性磁器組成物 |
| JP2710639B2 (ja) * | 1988-09-20 | 1998-02-10 | ティーディーケイ株式会社 | 誘電体磁器組成物 |
| US5036044A (en) * | 1988-09-29 | 1991-07-30 | University Of Arkansas | R-Tl-Sr-Ca-Cu-O superconductors |
| US5164362A (en) * | 1988-09-29 | 1992-11-17 | University Of Arkansas | Tl-Sr-Ca-Cu-O superconductors |
| US5215962A (en) * | 1990-02-26 | 1993-06-01 | The University Of Arkansas | 90 K Tl-Ba-Ce-Cu-O superconductor and processes for making same |
| US5096881A (en) * | 1990-03-15 | 1992-03-17 | The University Of Arkansas | Preparation of a superconducting Tl2 Ca2 Ba2 Cu3 O.sub.x2 O3 vapor |
| US5240903A (en) * | 1990-05-10 | 1993-08-31 | Asahi Glass Company Ltd. | Oxide superconductor comprising babo3 dispersions (where b is zr, sn, ce or ti) |
| US5219809A (en) * | 1990-07-03 | 1993-06-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dielectric ceramic composition and dielectric resonator |
| CA2043894A1 (en) * | 1990-09-12 | 1992-03-13 | Zhengzhi Sheng | M-r-t1-sr-cu-o based superconductors above liquid nitrogen temperature and processes for making same |
| JPH04130682A (ja) * | 1990-09-20 | 1992-05-01 | Mitsubishi Kasei Corp | アクチュエータ用圧電セラミック組成物 |
| BE1004605A4 (fr) * | 1990-11-08 | 1992-12-22 | Solvay | Poudres d'oxydes metalliques mixtes presentant des proprietes dielectriques et dielectriques obtenus a partir de ces poudres. |
| JP3152700B2 (ja) * | 1991-10-14 | 2001-04-03 | 京セラ株式会社 | マイクロ波用誘電体磁器の製法 |
| JP3435607B2 (ja) * | 1992-05-01 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 非還元性誘電体磁器組成物 |
| US5632833A (en) * | 1993-10-29 | 1997-05-27 | Nec Corporation | Method of manufacturing laminated ceramic capacitor |
| JP3302594B2 (ja) * | 1997-02-10 | 2002-07-15 | 太陽誘電株式会社 | 積層電子部品及びその製造方法 |
| JPH11309380A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-11-09 | Nippon Soken Inc | コーディエライトハニカム構造体の製造方法 |
| JP3356741B2 (ja) | 1999-11-09 | 2002-12-16 | 三井金属鉱業株式会社 | 表面修飾ニッケル微粉及びその製造方法 |
| DE50015994D1 (en) * | 1999-12-16 | 2010-10-28 | Epcos Ag | Nt |
| JP3733860B2 (ja) * | 2000-02-01 | 2006-01-11 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子およびその製造方法 |
| US6673274B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-01-06 | Cabot Corporation | Dielectric compositions and methods to form the same |
| JP4332748B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2009-09-16 | セイコーエプソン株式会社 | セラミックス膜の製造方法およびセラミックス膜製造装置 |
| US20070253140A1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Randall Michael S | Base metal electrode multilayer capacitor with localized oxidizing source |
| JP5839157B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2016-01-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー |
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| JP5854183B2 (ja) | 2010-03-02 | 2016-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー |
| JP5716897B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-05-13 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー |
| JP5707047B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2015-04-22 | Fdk株式会社 | 圧電材料、および圧電材料の製造方法 |
| JP5677756B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2015-02-25 | Fdk株式会社 | 圧電磁器材料 |
| JPWO2012029956A1 (ja) * | 2010-09-02 | 2013-10-31 | 日本特殊陶業株式会社 | 誘電体磁器、その製造方法、及び誘電体共振器 |
| EP2674409B1 (en) * | 2011-02-08 | 2019-10-23 | Ceilook, SL | Ceramic composition |
| EP3293874B1 (en) * | 2011-07-05 | 2019-10-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, multilayered piezoelectric element, liquid discharge head, liquid discharge apparatus, ultrasonic motor, optical apparatus, and electronic apparatus |
| JP5979992B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2016-08-31 | キヤノン株式会社 | 圧電材料 |
| EP2729971B1 (en) * | 2011-07-05 | 2017-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material |
| CN104302598A (zh) * | 2012-03-16 | 2015-01-21 | 佳能株式会社 | 压电材料、压电元件和电子装置 |
| US9660175B2 (en) | 2012-03-30 | 2017-05-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for manufacturing piezoelectric ceramic, piezoelectric element, and electronic device |
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|---|---|---|---|---|
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1985
- 1985-10-11 JP JP60227239A patent/JPS6287456A/ja active Granted
-
1986
- 1986-10-06 US US06/915,540 patent/US4755493A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6287456A (ja) | 1987-04-21 |
| US4755493A (en) | 1988-07-05 |
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