JPH0477247U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0477247U JPH0477247U JP12190690U JP12190690U JPH0477247U JP H0477247 U JPH0477247 U JP H0477247U JP 12190690 U JP12190690 U JP 12190690U JP 12190690 U JP12190690 U JP 12190690U JP H0477247 U JPH0477247 U JP H0477247U
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- electrode
- electrodes
- semiconductor wafer
- measuring device
- stage
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す半導体ウエハ測
定装置の概略の構成図、第２図は従来の半導体ウ
エハ測定装置の構成図、第３図は第２図中のステ
ージ部の全体斜視図、第４図は第３図の拡大上面
部、第５図は第２図の等価回路図、第６図は第１
図中のステージ部の上面図、第７図は第６図Ａ−
ａ断面図である。 １１１ａ，１１１ｂ……第１、第２の電極、１
４０−１〜１４０−ｎ……トランジスタ、１４０
−１ｃ……第１の非制御電極、１４０……半導体
ウエハ、１１０……ステージ、１４０−１ａ……
第２の非制御電極、１２０ａ，１２０ｂ……第３
、第４の電極、１３０ａ……電圧測定装置、１３
０ｂ……電流供給装置。
定装置の概略の構成図、第２図は従来の半導体ウ
エハ測定装置の構成図、第３図は第２図中のステ
ージ部の全体斜視図、第４図は第３図の拡大上面
部、第５図は第２図の等価回路図、第６図は第１
図中のステージ部の上面図、第７図は第６図Ａ−
ａ断面図である。 １１１ａ，１１１ｂ……第１、第２の電極、１
４０−１〜１４０−ｎ……トランジスタ、１４０
−１ｃ……第１の非制御電極、１４０……半導体
ウエハ、１１０……ステージ、１４０−１ａ……
第２の非制御電極、１２０ａ，１２０ｂ……第３
、第４の電極、１３０ａ……電圧測定装置、１３
０ｂ……電流供給装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 絶縁された第１及び第２の電極が上部面に形成
され、裏面に複数のトランジスタの第１の非制御
電極が共通形成された半導体ウエハを搭載するス
テージと、前記ステージの上方に設けられ、前記
半導体ウエハの表面に形成された前記各トランジ
スタの第２の非制御電極と接触するための第３及
び第４の電極と、前記第２及び第４の電極間に一
定電流を供給する電流供給装置と、前記第１及び
第３の電極間の電圧を測定する電圧測定装置とを
、備えた半導体ウエハ測定装置において、 前記第１及び第２の電極は、それぞれ電気的に
絶縁させて複数に分割し、且つ所定の間隔で交互
に配列して複数の電極対として構成し、 前記複数の電極対中の任意の電極対に切換え接
続して該電極対中の前記第２の電極を前記電流供
給装置を介して前記第４の電極に、該電極対中第
１の電極を前記電圧測定器を介して前記第３の電
極にそれぞれ接続する電極切換手段を、 設けたことを特徴とする半導体ウエハ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12190690U JPH0477247U (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12190690U JPH0477247U (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0477247U true JPH0477247U (ja) | 1992-07-06 |
Family
ID=31869727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12190690U Pending JPH0477247U (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0477247U (ja) |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP12190690U patent/JPH0477247U/ja active Pending