JPH0478036A - Disk defect coordinate fetching system - Google Patents
Disk defect coordinate fetching systemInfo
- Publication number
- JPH0478036A JPH0478036A JP18488390A JP18488390A JPH0478036A JP H0478036 A JPH0478036 A JP H0478036A JP 18488390 A JP18488390 A JP 18488390A JP 18488390 A JP18488390 A JP 18488390A JP H0478036 A JPH0478036 A JP H0478036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- pulse
- end point
- disk
- coordinates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分升コ
この発明は、ディスク欠陥の位置を示す座標データの取
り込み方式に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application] The present invention relates to a system for capturing coordinate data indicating the location of a disk defect.
[従来の技術]
磁気ディスク、光ディスクまたは光磁気ディスクなとの
情報記録媒体は、その表面に欠陥があるときはデータの
記録性能の品質が低下するので、ディスク欠陥検査装置
により検査が行われる。検査にはレーザによる光学的な
方法か用いられている。[Prior Art] Information recording media such as magnetic disks, optical disks, or magneto-optical disks are inspected by a disk defect inspection device because if there are defects on the surface, the quality of data recording performance deteriorates. An optical method using a laser is used for inspection.
第2図(a)、(b)、(C)によりディスクの欠陥と
、レーザによるディスク欠陥検査装置の基本的な光学系
および欠陥データの大小方法の概要を説明する。図(a
)において、■は上記の各ディスクでその表面には孤立
した欠陥(イ)、線状に連続した線欠陥(0)、または
面状の面欠陥(ハ)などがいわばランダムに分布してい
る。図(b)において、ディスク1はスピンドル2に装
着されて回転し、これに対して光#3よりレーザビーム
を投光してディスクの表面にスポットSpを形成する。2(a), (b), and (C), an overview of disk defects, a basic optical system of a laser disk defect inspection apparatus, and a method of measuring defect data will be explained. Figure (a
), ■ is each of the above disks, and on its surface, isolated defects (A), continuous line defects (0), or planar surface defects (C) are randomly distributed. . In Figure (b), a disk 1 is mounted on a spindle 2 and rotates, and a laser beam from light #3 is projected onto the disk 1 to form a spot Sp on the surface of the disk.
スポットSpは半径Rの方向に移動して表面をスパイラ
ル状に走査し、欠陥があると散乱光が発生する。散乱光
は集光レンズ4により集光されて光電変換器よりなる受
光器5に受光され、各種の欠陥が検出されて欠陥信号か
マイクロプロセッサに取り込まれる。なお、上記の光学
系は基本的なもので、各種の欠陥をそれぞれ効率的に検
出するために種々の光学系が複合して使用され、また受
光器の受光信号を種々の閾値で識別して欠陥の大きさが
欠陥データとされる。The spot Sp moves in the direction of the radius R and scans the surface in a spiral manner, and if there is a defect, scattered light is generated. The scattered light is condensed by a condensing lens 4 and received by a light receiver 5 consisting of a photoelectric converter, various defects are detected, and defect signals are taken into the microprocessor. Note that the above optical system is a basic one, and various optical systems are used in combination to efficiently detect various defects, and the light reception signal of the photoreceiver is identified using various thresholds. The size of the defect is taken as defect data.
上記によりえられた欠陥データは、適当に集約された上
、観察評価を便利とするように欠陥の存在位置を示すマ
ツプとして表示器に表示される。The defect data obtained above is appropriately aggregated and displayed on a display as a map showing the location of defects for convenient observation and evaluation.
マツプ表示のために図(C)のように、ディスクの円周
角度θと半径Rをそれぞれ微小なΔθとΔrに分割して
単位セルΔSに区分する。ここで、Δθの分割はディス
クの回転機構のロータリエンコーダよりえられる角度パ
ルスにより、またΔrの分割はディスクの回転に対する
スポットSpの移動によりそれぞれ行われる。従って、
スポットSpに対するΔSの座標は角度パルスと回転数
をカウントすることによりえられ、欠陥信号が入力した
時点のΔSの座標がメモリに記憶されてマツプ表示に使
用される。For map display, the circumferential angle θ and radius R of the disk are divided into minute Δθ and Δr, respectively, and divided into unit cells ΔS, as shown in FIG. Here, the division of Δθ is performed by an angle pulse obtained from a rotary encoder of the disk rotation mechanism, and the division of Δr is performed by the movement of the spot Sp with respect to the rotation of the disk. Therefore,
The coordinate of ΔS for the spot Sp is obtained by counting the angle pulse and the number of revolutions, and the coordinate of ΔS at the time when the defect signal is input is stored in the memory and used for map display.
[解決しようとする課題]
最近においてはディスクの記録密度の向上に伴って許容
される欠陥の大きさはますます微小となり、これに対応
して上記の単位セルΔSはさらに微小とすることが必要
である。例えば、従来てはΔθ、Δrを〜0.5mmと
してΔSはほぼ0゜25mm2であったが、これに対し
てΔθ、Δrを50分の1またはそれ以下とし、ΔSを
2500分の1以下に縮小する場合かある。上記したよ
うに欠陥は単位セルΔSの座標ごとにメモリに記憶され
るので、ΔSを縮小した場合は、上記の例に対してメモ
リ容量を2500倍以上に増加することか必要である。[Problem to be solved] Recently, as the recording density of disks has improved, the allowable defect size has become smaller and smaller, and the above unit cell ΔS needs to be made even smaller to accommodate this. It is. For example, in the past, when Δθ and Δr were set to ~0.5 mm, ΔS was approximately 0°25 mm2, but by setting Δθ and Δr to 1/50 or less, ΔS was reduced to 1/2500 or less. It may be reduced. As described above, defects are stored in the memory for each coordinate of the unit cell ΔS, so when ΔS is reduced, it is necessary to increase the memory capacity by more than 2500 times compared to the above example.
一方、光ディスクの場合はグループ(溝)が形成された
段階でも検査か行われ、グループが潰れたものが欠陥と
されるために欠陥数は、磁気ディスクや光磁気ディスク
のような平滑面の場合より遥かに多量となってますます
多量のメモリ容量が必要である。これに対して、単位セ
ルΔSごとの欠陥データを、マツプ表示に差し支えない
ように可能な限り圧縮してメモリ容量を節約することが
望ましい。On the other hand, in the case of optical disks, inspection is performed even when groups (grooves) are formed, and crushed groups are considered defects. Increasingly large amounts of memory capacity are required. On the other hand, it is desirable to save memory capacity by compressing the defect data for each unit cell ΔS as much as possible so as not to interfere with map display.
この発明は以上に鑑みてなされたもので、ディスク欠陥
検査装置において、欠陥データのマツプ表示に支障せず
、メモリ容量を節約できる欠陥座標の取り込み方式を提
供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above, and it is an object of the present invention to provide a method for importing defect coordinates in a disk defect inspection device that does not interfere with map display of defect data and can save memory capacity.
[課題を解決するための手段コ
この発明は、検査光学系によりえられる被検査ディスク
の欠陥に対する欠陥信号に対して、ロータリエンコーダ
より出力される角度パルスにより、欠陥信号に対する円
周角度および半径位置の座標をRAMに記憶し、マイク
ロプロセッサの処理により、欠陥をその座標に対応した
マツプに表示するディスク欠陥検査装置におけるディス
ク欠陥座標取り込み方式である。欠陥の始点と終点に対
する始点パルスと終点パルスにより、始点と終点に対す
るディスクの円周角度および半径位置の座標をRAMに
記憶し、マイクロプロセンサの処理により、連続した欠
陥を連続した状態でマツプ大小する。[Means for Solving the Problems] This invention detects the circumferential angle and radial position of a defect signal obtained by an inspection optical system for a defect on a disk by using an angular pulse output from a rotary encoder. This is a disk defect coordinate acquisition method in a disk defect inspection apparatus in which the coordinates of the defect are stored in the RAM and the defects are displayed on a map corresponding to the coordinates through processing by a microprocessor. By using the start point pulse and the end point pulse for the start point and end point of the defect, the circumferential angle and radial position coordinates of the disk for the start point and end point are stored in the RAM, and the processing of the micro processor is used to map successive defects in a continuous state. do.
上記の始点パルスおよび終点パルスは、欠陥仁写を2個
のフリップフロツプ、排他OR回路およびアンド回路よ
りなる始点・終点検出回路に入力し、角度パルスをトリ
ガとして発生するものである。The above-mentioned start point pulse and end point pulse are generated by inputting a defective image to a start point/end point detection circuit consisting of two flip-flops, an exclusive OR circuit, and an AND circuit, and using the angle pulse as a trigger.
[作用コ
以上のディスク欠陥座標取り込み方式においては、欠陥
の始点と終点に対する始点パルスと終点パルスにより、
始点と終点に対する円周角度および半径位置の座標がR
AMに記憶され、これをマイクロプロセッサによって処
理することにより連続した欠陥が連続した状態でマツプ
表示されるもので、連続した欠陥のすへての点の座標を
必要とせす、メモリ容量が大幅に節約できる。この始点
・・ルスおよび終点パルスは、欠陥信号を始点・終点検
出回路に人力し、ロータリエンコーダよりの角度パルス
をトリガとして容易に発生される。[In the disk defect coordinate capture method described above, the start point pulse and end point pulse for the start point and end point of the defect are used to
The coordinates of the circumferential angle and radial position relative to the start point and end point are R
This is stored in the AM and processed by a microprocessor to display a continuous map of consecutive defects, which requires the coordinates of all points of consecutive defects, which requires a large amount of memory. You can save money. These start point pulses and end point pulses are easily generated by inputting a defect signal to the start point/end point detection circuit and using the angle pulse from the rotary encoder as a trigger.
〔実施例コ
第1図(a)、(b)、(c)は、この発明によるディ
スク欠陥座標取り込み方式の実施例におけるディスク欠
陥検査装置のブロック構成と、始点・終点検出回路およ
びその動作を説明する信号波形のタイムチャートを示す
。図(a)において、受光器5より欠陥による散乱光の
受光信号が出力され、アンプ6により適当に増幅されて
コンパレータ7の+端子に入力する。一方、一端子に対
して、マイクロプロセッサ(MPU)9より供給される
適当なデジタルの閾値[SL]が、D/A変換器9aに
よりアナログ量のSLとされて与えられて欠陥か識別さ
れ、欠陥信号Pdか始点・終点検出回路8に入力する。[Example 1] Figures 1 (a), (b), and (c) show the block configuration of a disk defect inspection apparatus, the start point/end point detection circuit, and its operation in an embodiment of the disk defect coordinate capture method according to the present invention. A time chart of signal waveforms to be explained is shown. In FIG. 3A, a light reception signal of scattered light due to a defect is outputted from a light receiver 5, appropriately amplified by an amplifier 6, and inputted to a + terminal of a comparator 7. On the other hand, an appropriate digital threshold value [SL] supplied from the microprocessor (MPU) 9 is given to one terminal as an analog quantity SL by the D/A converter 9a, and a defect is identified. The defect signal Pd is input to the start point/end point detection circuit 8.
これに対して、回転機構に設けられているロータリエン
コーダ(ENC)+oか出力する角度パルス[Δθ]か
入力し、これをトリガとじで欠陥信号の始点と終点に対
する始点パルスと終点パルスか発生し、これらか欠陥数
カウンタ13に入力してカウントされる。このカウント
数がアドレス信号としてRAMl4aと+4bに′4え
られる。On the other hand, input the angle pulse [Δθ] output from the rotary encoder (ENC) +o installed in the rotating mechanism, and use this as a trigger to generate the start point pulse and end point pulse for the start and end points of the defect signal. , these are input to the defect number counter 13 and counted. This count number is added to RAM14a and +4b as an address signal.
方、角度パルス[Δθ]はθカウンタ12aに入力して
ディスクの回転角度のデータ[θ]かえられ、また、E
SCIOより出力される回転角度Oの基準点を示す[O
°]信号かRカラ/り12bによりカウントされて半径
位置のデータ[R]かえられる。始点パルスと終点パル
スをイネーブル(EN)信号きして、データ[0コと[
RコがRAM14a、14bの上記のアドレス数のアド
レスにそれぞれ記憶される。記憶されたデータ [θコ
と[R]はMPU9により処理されて表示器9bに出力
され、欠陥か座標に対応したマツプとして表示される。On the other hand, the angle pulse [Δθ] is input to the θ counter 12a to change the rotation angle data [θ] of the disk, and the E
[O] indicates the reference point of the rotation angle O output from SCIO.
[°] signal is counted by the R color/return 12b and the radial position data [R] is changed. Send the start point pulse and end point pulse with the enable (EN) signal, and set the data [0 and [
R is stored in the addresses of the RAMs 14a and 14b with the above number of addresses, respectively. The stored data [θ] and [R] are processed by the MPU 9 and output to the display 9b, where they are displayed as a map corresponding to the coordinates of the defect.
欠陥が連続している場合は連続した状態で表引される。If the defects are consecutive, they are listed as consecutive.
第1図(b)、(c)により、始点・終点検出回路8と
その動作説明する。図(b)に示す始点・終点検出回路
8は2個のフリップフロ、プ(FFl)8dと(FF2
)8bか図示のように接続され、両者の出力Ql、Q
2は排他OR回路8Cを経てアンド回路8dに入力する
。また、(FFI )8a。The start point/end point detection circuit 8 and its operation will be explained with reference to FIGS. 1(b) and 1(c). The start point/end point detection circuit 8 shown in FIG.
)8b is connected as shown in the figure, and both outputs Ql, Q
2 is input to the AND circuit 8d via the exclusive OR circuit 8C. Also, (FFI) 8a.
(FF2 )8bとアンド回路8dに対して角度パルス
[Δθコが与えられる。一方、図(C)において、受光
器5の受光信号を(イ)とし、これをコンパレータ7に
おいて閾値口SL]により識別して欠陥信号Pdかえら
れる。欠陥信号Pdか(FFI)8aのD端子に人力す
ると[Δθ]によりQlか“1”となり、これが(FF
2 )8bのD端子に5えられる。この時点ではQ2は
“O”であるので、排他OR回路8Cより1”が出力さ
れるか、次の[ΔθコによりQ2が“1”となると排他
OR回路8cの出力は“0”となり、この間の出力か始
点信号psである。欠陥信号Pdが終了するとQlは“
O”となるが、Q2が[Δθ]の1個分たけ“1”であ
るので、その間に終点信号peが出力される。ここで、
欠陥信号が図(b)の(ロ)のように短くて[Δθ]と
同程度またはそれ以下のききは、始点信号psと終点信
号peとか図示のように連続するので、これらを分離す
ることか必要である。そこで、アンド回路8dによりこ
れらと[八〇]とのアンド合成により分離し、始点また
は終点パルスpcを発生するものである。An angle pulse [Δθ] is applied to the (FF2) 8b and the AND circuit 8d. On the other hand, in Figure (C), the light reception signal of the light receiver 5 is shown as (A), and this is identified by the threshold port SL] in the comparator 7 and the defect signal Pd is changed. When the defect signal Pd (FFI) is input manually to the D terminal of 8a, Ql becomes "1" due to [Δθ], and this becomes (FFI).
2) 5 is applied to the D terminal of 8b. At this point, Q2 is "O", so when the exclusive OR circuit 8C outputs "1" or when Q2 becomes "1" due to the next [Δθ], the output of the exclusive OR circuit 8c becomes "0", The output during this period is the starting point signal ps.When the defect signal Pd ends, Ql is “
However, since Q2 is "1" for one [Δθ], the end point signal pe is output during that time.Here,
If the defect signal is short as shown in (b) of Figure (b) and is equal to or less than [Δθ], the start point signal ps and end point signal pe are continuous as shown in the figure, so these should be separated. or is necessary. Therefore, the AND circuit 8d separates them by ANDing these and [80] to generate the start point or end point pulse pc.
以上の欠陥座標取り込み方式は、単一の閾値SLより識
別された欠陥信号に対するものであるか、実際のディス
ク欠陥検査装置では前記したように各種の光学系を複合
し、さらに閾値SLを複数の段階として欠陥の大きさが
検出されるもので、これらの光学系または複数の閾値に
よりえられる各欠陥信号に対してL記の座標取り込み方
式をそれぞれ適用し、えられた欠陥データをMPUによ
り集約して、1枚のマツプに表示することができる。The above defect coordinate acquisition method is for a defect signal identified by a single threshold value SL, or in an actual disk defect inspection apparatus, various optical systems are combined as described above, and the threshold value SL is The size of the defect is detected in stages, and the coordinate acquisition method described in L is applied to each defect signal obtained by these optical systems or multiple threshold values, and the obtained defect data is aggregated by the MPU. can be displayed on one map.
[発明の効果コ
以上の説明により明らかなように、この発明によるディ
スク欠陥座標取り込み方式においては、欠陥の始点と終
点に対する円周角度および半径位置の座標がRAMに記
憶され、これをマイクロプロセッサによって処理するこ
とにより連続した欠陥か連続した状態でマ、プ表示され
、連続した欠陥のすへての点の座標を必要とせすメモリ
容量か大幅に節約できるもので、情報記録媒体に使用さ
れる高密度の各種のディスクに対する欠陥検査装置に適
用してえられる効果には大きいものかある。[Effects of the Invention] As is clear from the above explanation, in the disk defect coordinate import method according to the present invention, the circumferential angle and radial position coordinates for the starting point and ending point of the defect are stored in the RAM, and these are stored by the microprocessor. By processing, continuous defects can be displayed as a map in a continuous state, and the memory capacity required for determining the coordinates of all points of continuous defects can be greatly reduced, and it is used in information recording media. The effects obtained when applied to a defect inspection device for various types of high-density disks are significant.
第1図(a)、(b)および(C)は、この発明による
ディスク欠陥座標取り込み方式の実施例のプロ。
り構成図と、始点・終点検出回路およびその動作に対す
る信号波形のタイムチャート、第2図(a)。
(b)および(C)は、ディスクの欠陥の説明図と、デ
ィスク検査装置の光学系の基本構成図、および欠陥デー
タのマツプ表示方法の説明図である。FIGS. 1(a), (b), and (C) show an embodiment of the disk defect coordinate capturing method according to the present invention. FIG. 2(a) is a configuration diagram of the start point/end point detection circuit and a time chart of signal waveforms for its operation. (b) and (C) are explanatory diagrams of defects on a disc, a basic configuration diagram of an optical system of a disc inspection apparatus, and an explanatory diagram of a method of displaying a map of defect data.
Claims (2)
に対する欠陥信号に対して、ロータリエンコーダより出
力される角度パルスにより、該欠陥信号に対する円周角
度および半径位置の座標をRAMに記憶し、マイクロプ
ロセッサの処理により、該欠陥を該座標に対応したマッ
プに表示するディスク欠陥検査装置において、該欠陥の
始点と終点に対する始点パルスと終点パルスにより、該
始点と終点に対する上記ディスクの円周角度および半径
位置の座標を上記RAMに記憶し、上記マイクロプロセ
ッサの処理により、連続した欠陥を連続した状態でマッ
プ表示することを特徴とする、ディスク欠陥座標取り込
み方式。(1) In response to a defect signal for a defect on the disk to be inspected obtained by the inspection optical system, the coordinates of the circumferential angle and radial position for the defect signal are stored in the RAM by the angle pulse output from the rotary encoder, and In a disk defect inspection device that displays the defect on a map corresponding to the coordinates through processing by a processor, the circumferential angle and radius of the disk relative to the start point and end point are determined by the start point pulse and end point pulse for the start point and end point of the defect. A disk defect coordinate importing method characterized in that position coordinates are stored in the RAM, and continuous defects are displayed as a map in a continuous state through processing by the microprocessor.
R回路およびアンド回路よりなる始点・終点検出回路に
入力し、上記角度パルスをトリガとして、上記始点パル
スおよび終点パルスを発生する、請求項1記載のディス
ク欠陥座標取り込み方式。(2) The above defect signal is connected to two flip-flops, exclusive O
2. The disk defect coordinate acquisition method according to claim 1, wherein the input is input to a start point/end point detection circuit comprising an R circuit and an AND circuit, and the start point pulse and end point pulse are generated using the angle pulse as a trigger.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184883A JP2824864B2 (en) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | Disk defect inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184883A JP2824864B2 (en) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | Disk defect inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478036A true JPH0478036A (en) | 1992-03-12 |
| JP2824864B2 JP2824864B2 (en) | 1998-11-18 |
Family
ID=16160983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2184883A Expired - Lifetime JP2824864B2 (en) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | Disk defect inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2824864B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6850379B2 (en) * | 2001-03-05 | 2005-02-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for registering a defect map within a hard disk drive |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61211876A (en) * | 1985-03-16 | 1986-09-19 | Hitachi Maxell Ltd | Device for estimating optical disk defect |
| JPS63159703A (en) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Nec Corp | Resist film thickness inspecting instrument |
| JPS63253242A (en) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Daicel Chem Ind Ltd | Inspecting device for flaw |
-
1990
- 1990-07-12 JP JP2184883A patent/JP2824864B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61211876A (en) * | 1985-03-16 | 1986-09-19 | Hitachi Maxell Ltd | Device for estimating optical disk defect |
| JPS63159703A (en) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Nec Corp | Resist film thickness inspecting instrument |
| JPS63253242A (en) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Daicel Chem Ind Ltd | Inspecting device for flaw |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6850379B2 (en) * | 2001-03-05 | 2005-02-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for registering a defect map within a hard disk drive |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2824864B2 (en) | 1998-11-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5914495A (en) | Inspection apparatus for inspecting a defect of an optical disc | |
| JP2842358B2 (en) | Track count device for optical disk | |
| JPH0478036A (en) | Disk defect coordinate fetching system | |
| US5936789A (en) | Off-track tester for testing MR head and method of testing the same | |
| JPS62501999A (en) | Scanning speed detection device for non-contact scanning audio disc | |
| JP3920669B2 (en) | Defect inspection machine | |
| JPS62255861A (en) | Signal memory-processor | |
| JPS60125510A (en) | Defect examining device of disc body | |
| JP2927515B2 (en) | Disk defect inspection method | |
| JPS62235511A (en) | Surface condition inspecting apparatus | |
| JPS63317748A (en) | Display method of concentrated place of defects in map display of defect in magnetic disk | |
| JPH05227710A (en) | Motor eccentricity measuring device | |
| JPS62121341A (en) | Damage inspection device for optical disk | |
| JPH10222843A (en) | Defect measurement data recording device for information recording medium and recording method thereof | |
| JPH01316643A (en) | Device for inspecting fault of disk | |
| JPH0227241A (en) | Defect inspecting device for optical disc | |
| JPH0664025B2 (en) | Material inspection recorder | |
| JPH0369037A (en) | Automatic detector for optical disk preformat part | |
| JPH0887838A (en) | Bit error measuring unit | |
| JPH0324671A (en) | Defect inspection equipment | |
| JPH01209344A (en) | Defect inspection device and method for optical disks and optical disk substrates | |
| JPS61190720A (en) | Detector for disk defect | |
| JPH08110205A (en) | Position coordinate measuring device for foreign matter on rotating body | |
| JPS6024510B2 (en) | pattern inspection equipment | |
| JPS63238681A (en) | Data taking-in circuit |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090911 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090911 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100911 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |