JPH0478036A - ディスク欠陥検査装置 - Google Patents
ディスク欠陥検査装置Info
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- JPH0478036A JPH0478036A JP18488390A JP18488390A JPH0478036A JP H0478036 A JPH0478036 A JP H0478036A JP 18488390 A JP18488390 A JP 18488390A JP 18488390 A JP18488390 A JP 18488390A JP H0478036 A JPH0478036 A JP H0478036A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分升コ
この発明は、ディスク欠陥の位置を示す座標データの取
り込み方式に関するものである。
り込み方式に関するものである。
［従来の技術］
磁気ディスク、光ディスクまたは光磁気ディスクなとの
情報記録媒体は、その表面に欠陥があるときはデータの
記録性能の品質が低下するので、ディスク欠陥検査装置
により検査が行われる。検査にはレーザによる光学的な
方法か用いられている。
情報記録媒体は、その表面に欠陥があるときはデータの
記録性能の品質が低下するので、ディスク欠陥検査装置
により検査が行われる。検査にはレーザによる光学的な
方法か用いられている。
第２図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）によりディスクの欠陥と
、レーザによるディスク欠陥検査装置の基本的な光学系
および欠陥データの大小方法の概要を説明する。図（ａ
）において、■は上記の各ディスクでその表面には孤立
した欠陥（イ）、線状に連続した線欠陥（０）、または
面状の面欠陥（ハ）などがいわばランダムに分布してい
る。図（ｂ）において、ディスク１はスピンドル２に装
着されて回転し、これに対して光＃３よりレーザビーム
を投光してディスクの表面にスポットＳｐを形成する。
、レーザによるディスク欠陥検査装置の基本的な光学系
および欠陥データの大小方法の概要を説明する。図（ａ
）において、■は上記の各ディスクでその表面には孤立
した欠陥（イ）、線状に連続した線欠陥（０）、または
面状の面欠陥（ハ）などがいわばランダムに分布してい
る。図（ｂ）において、ディスク１はスピンドル２に装
着されて回転し、これに対して光＃３よりレーザビーム
を投光してディスクの表面にスポットＳｐを形成する。
スポットＳｐは半径Ｒの方向に移動して表面をスパイラ
ル状に走査し、欠陥があると散乱光が発生する。散乱光
は集光レンズ４により集光されて光電変換器よりなる受
光器５に受光され、各種の欠陥が検出されて欠陥信号か
マイクロプロセッサに取り込まれる。なお、上記の光学
系は基本的なもので、各種の欠陥をそれぞれ効率的に検
出するために種々の光学系が複合して使用され、また受
光器の受光信号を種々の閾値で識別して欠陥の大きさが
欠陥データとされる。
ル状に走査し、欠陥があると散乱光が発生する。散乱光
は集光レンズ４により集光されて光電変換器よりなる受
光器５に受光され、各種の欠陥が検出されて欠陥信号か
マイクロプロセッサに取り込まれる。なお、上記の光学
系は基本的なもので、各種の欠陥をそれぞれ効率的に検
出するために種々の光学系が複合して使用され、また受
光器の受光信号を種々の閾値で識別して欠陥の大きさが
欠陥データとされる。
上記によりえられた欠陥データは、適当に集約された上
、観察評価を便利とするように欠陥の存在位置を示すマ
ツプとして表示器に表示される。
、観察評価を便利とするように欠陥の存在位置を示すマ
ツプとして表示器に表示される。
マツプ表示のために図（Ｃ）のように、ディスクの円周
角度θと半径Ｒをそれぞれ微小なΔθとΔｒに分割して
単位セルΔＳに区分する。ここで、Δθの分割はディス
クの回転機構のロータリエンコーダよりえられる角度パ
ルスにより、またΔｒの分割はディスクの回転に対する
スポットＳｐの移動によりそれぞれ行われる。従って、
スポットＳｐに対するΔＳの座標は角度パルスと回転数
をカウントすることによりえられ、欠陥信号が入力した
時点のΔＳの座標がメモリに記憶されてマツプ表示に使
用される。
角度θと半径Ｒをそれぞれ微小なΔθとΔｒに分割して
単位セルΔＳに区分する。ここで、Δθの分割はディス
クの回転機構のロータリエンコーダよりえられる角度パ
ルスにより、またΔｒの分割はディスクの回転に対する
スポットＳｐの移動によりそれぞれ行われる。従って、
スポットＳｐに対するΔＳの座標は角度パルスと回転数
をカウントすることによりえられ、欠陥信号が入力した
時点のΔＳの座標がメモリに記憶されてマツプ表示に使
用される。
［解決しようとする課題］
最近においてはディスクの記録密度の向上に伴って許容
される欠陥の大きさはますます微小となり、これに対応
して上記の単位セルΔＳはさらに微小とすることが必要
である。例えば、従来てはΔθ、Δｒを〜０．５ｍｍと
してΔＳはほぼ０゜２５ｍｍ２であったが、これに対し
てΔθ、Δｒを５０分の１またはそれ以下とし、ΔＳを
２５００分の１以下に縮小する場合かある。上記したよ
うに欠陥は単位セルΔＳの座標ごとにメモリに記憶され
るので、ΔＳを縮小した場合は、上記の例に対してメモ
リ容量を２５００倍以上に増加することか必要である。
される欠陥の大きさはますます微小となり、これに対応
して上記の単位セルΔＳはさらに微小とすることが必要
である。例えば、従来てはΔθ、Δｒを〜０．５ｍｍと
してΔＳはほぼ０゜２５ｍｍ２であったが、これに対し
てΔθ、Δｒを５０分の１またはそれ以下とし、ΔＳを
２５００分の１以下に縮小する場合かある。上記したよ
うに欠陥は単位セルΔＳの座標ごとにメモリに記憶され
るので、ΔＳを縮小した場合は、上記の例に対してメモ
リ容量を２５００倍以上に増加することか必要である。
一方、光ディスクの場合はグループ（溝）が形成された
段階でも検査か行われ、グループが潰れたものが欠陥と
されるために欠陥数は、磁気ディスクや光磁気ディスク
のような平滑面の場合より遥かに多量となってますます
多量のメモリ容量が必要である。これに対して、単位セ
ルΔＳごとの欠陥データを、マツプ表示に差し支えない
ように可能な限り圧縮してメモリ容量を節約することが
望ましい。
段階でも検査か行われ、グループが潰れたものが欠陥と
されるために欠陥数は、磁気ディスクや光磁気ディスク
のような平滑面の場合より遥かに多量となってますます
多量のメモリ容量が必要である。これに対して、単位セ
ルΔＳごとの欠陥データを、マツプ表示に差し支えない
ように可能な限り圧縮してメモリ容量を節約することが
望ましい。
この発明は以上に鑑みてなされたもので、ディスク欠陥
検査装置において、欠陥データのマツプ表示に支障せず
、メモリ容量を節約できる欠陥座標の取り込み方式を提
供することを目的とするものである。
検査装置において、欠陥データのマツプ表示に支障せず
、メモリ容量を節約できる欠陥座標の取り込み方式を提
供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段コ
この発明は、検査光学系によりえられる被検査ディスク
の欠陥に対する欠陥信号に対して、ロータリエンコーダ
より出力される角度パルスにより、欠陥信号に対する円
周角度および半径位置の座標をＲＡＭに記憶し、マイク
ロプロセッサの処理により、欠陥をその座標に対応した
マツプに表示するディスク欠陥検査装置におけるディス
ク欠陥座標取り込み方式である。欠陥の始点と終点に対
する始点パルスと終点パルスにより、始点と終点に対す
るディスクの円周角度および半径位置の座標をＲＡＭに
記憶し、マイクロプロセンサの処理により、連続した欠
陥を連続した状態でマツプ大小する。
の欠陥に対する欠陥信号に対して、ロータリエンコーダ
より出力される角度パルスにより、欠陥信号に対する円
周角度および半径位置の座標をＲＡＭに記憶し、マイク
ロプロセッサの処理により、欠陥をその座標に対応した
マツプに表示するディスク欠陥検査装置におけるディス
ク欠陥座標取り込み方式である。欠陥の始点と終点に対
する始点パルスと終点パルスにより、始点と終点に対す
るディスクの円周角度および半径位置の座標をＲＡＭに
記憶し、マイクロプロセンサの処理により、連続した欠
陥を連続した状態でマツプ大小する。
上記の始点パルスおよび終点パルスは、欠陥仁写を２個
のフリップフロツプ、排他ＯＲ回路およびアンド回路よ
りなる始点・終点検出回路に入力し、角度パルスをトリ
ガとして発生するものである。
のフリップフロツプ、排他ＯＲ回路およびアンド回路よ
りなる始点・終点検出回路に入力し、角度パルスをトリ
ガとして発生するものである。
［作用コ
以上のディスク欠陥座標取り込み方式においては、欠陥
の始点と終点に対する始点パルスと終点パルスにより、
始点と終点に対する円周角度および半径位置の座標がＲ
ＡＭに記憶され、これをマイクロプロセッサによって処
理することにより連続した欠陥が連続した状態でマツプ
表示されるもので、連続した欠陥のすへての点の座標を
必要とせす、メモリ容量が大幅に節約できる。この始点
・・ルスおよび終点パルスは、欠陥信号を始点・終点検
出回路に人力し、ロータリエンコーダよりの角度パルス
をトリガとして容易に発生される。
の始点と終点に対する始点パルスと終点パルスにより、
始点と終点に対する円周角度および半径位置の座標がＲ
ＡＭに記憶され、これをマイクロプロセッサによって処
理することにより連続した欠陥が連続した状態でマツプ
表示されるもので、連続した欠陥のすへての点の座標を
必要とせす、メモリ容量が大幅に節約できる。この始点
・・ルスおよび終点パルスは、欠陥信号を始点・終点検
出回路に人力し、ロータリエンコーダよりの角度パルス
をトリガとして容易に発生される。
〔実施例コ
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、この発明によるディ
スク欠陥座標取り込み方式の実施例におけるディスク欠
陥検査装置のブロック構成と、始点・終点検出回路およ
びその動作を説明する信号波形のタイムチャートを示す
。図（ａ）において、受光器５より欠陥による散乱光の
受光信号が出力され、アンプ６により適当に増幅されて
コンパレータ７の＋端子に入力する。一方、一端子に対
して、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）９より供給される
適当なデジタルの閾値［ＳＬ］が、Ｄ／Ａ変換器９ａに
よりアナログ量のＳＬとされて与えられて欠陥か識別さ
れ、欠陥信号Ｐｄか始点・終点検出回路８に入力する。
スク欠陥座標取り込み方式の実施例におけるディスク欠
陥検査装置のブロック構成と、始点・終点検出回路およ
びその動作を説明する信号波形のタイムチャートを示す
。図（ａ）において、受光器５より欠陥による散乱光の
受光信号が出力され、アンプ６により適当に増幅されて
コンパレータ７の＋端子に入力する。一方、一端子に対
して、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）９より供給される
適当なデジタルの閾値［ＳＬ］が、Ｄ／Ａ変換器９ａに
よりアナログ量のＳＬとされて与えられて欠陥か識別さ
れ、欠陥信号Ｐｄか始点・終点検出回路８に入力する。
これに対して、回転機構に設けられているロータリエン
コーダ（ＥＮＣ）＋ｏか出力する角度パルス［Δθ］か
入力し、これをトリガとじで欠陥信号の始点と終点に対
する始点パルスと終点パルスか発生し、これらか欠陥数
カウンタ１３に入力してカウントされる。このカウント
数がアドレス信号としてＲＡＭｌ４ａと＋４ｂに′４え
られる。
コーダ（ＥＮＣ）＋ｏか出力する角度パルス［Δθ］か
入力し、これをトリガとじで欠陥信号の始点と終点に対
する始点パルスと終点パルスか発生し、これらか欠陥数
カウンタ１３に入力してカウントされる。このカウント
数がアドレス信号としてＲＡＭｌ４ａと＋４ｂに′４え
られる。
方、角度パルス［Δθ］はθカウンタ１２ａに入力して
ディスクの回転角度のデータ［θ］かえられ、また、Ｅ
ＳＣＩＯより出力される回転角度Ｏの基準点を示す［Ｏ
°］信号かＲカラ／り１２ｂによりカウントされて半径
位置のデータ［Ｒ］かえられる。始点パルスと終点パル
スをイネーブル（ＥＮ）信号きして、データ［０コと［
ＲコがＲＡＭ１４ａ、１４ｂの上記のアドレス数のアド
レスにそれぞれ記憶される。記憶されたデータ ［θコ
と［Ｒ］はＭＰＵ９により処理されて表示器９ｂに出力
され、欠陥か座標に対応したマツプとして表示される。
ディスクの回転角度のデータ［θ］かえられ、また、Ｅ
ＳＣＩＯより出力される回転角度Ｏの基準点を示す［Ｏ
°］信号かＲカラ／り１２ｂによりカウントされて半径
位置のデータ［Ｒ］かえられる。始点パルスと終点パル
スをイネーブル（ＥＮ）信号きして、データ［０コと［
ＲコがＲＡＭ１４ａ、１４ｂの上記のアドレス数のアド
レスにそれぞれ記憶される。記憶されたデータ ［θコ
と［Ｒ］はＭＰＵ９により処理されて表示器９ｂに出力
され、欠陥か座標に対応したマツプとして表示される。
欠陥が連続している場合は連続した状態で表引される。
第１図（ｂ）、（ｃ）により、始点・終点検出回路８と
その動作説明する。図（ｂ）に示す始点・終点検出回路
８は２個のフリップフロ、プ（ＦＦｌ）８ｄと（ＦＦ２
）８ｂか図示のように接続され、両者の出力Ｑｌ、Ｑ
２は排他ＯＲ回路８Ｃを経てアンド回路８ｄに入力する
。また、（ＦＦＩ ）８ａ。
その動作説明する。図（ｂ）に示す始点・終点検出回路
８は２個のフリップフロ、プ（ＦＦｌ）８ｄと（ＦＦ２
）８ｂか図示のように接続され、両者の出力Ｑｌ、Ｑ
２は排他ＯＲ回路８Ｃを経てアンド回路８ｄに入力する
。また、（ＦＦＩ ）８ａ。
（ＦＦ２ ）８ｂとアンド回路８ｄに対して角度パルス
［Δθコが与えられる。一方、図（Ｃ）において、受光
器５の受光信号を（イ）とし、これをコンパレータ７に
おいて閾値口ＳＬ］により識別して欠陥信号Ｐｄかえら
れる。欠陥信号Ｐｄか（ＦＦＩ）８ａのＤ端子に人力す
ると［Δθ］によりＱｌか“１”となり、これが（ＦＦ
２ ）８ｂのＤ端子に５えられる。この時点ではＱ２は
“Ｏ”であるので、排他ＯＲ回路８Ｃより１”が出力さ
れるか、次の［ΔθコによりＱ２が“１”となると排他
ＯＲ回路８ｃの出力は“０”となり、この間の出力か始
点信号ｐｓである。欠陥信号Ｐｄが終了するとＱｌは“
Ｏ”となるが、Ｑ２が［Δθ］の１個分たけ“１”であ
るので、その間に終点信号ｐｅが出力される。ここで、
欠陥信号が図（ｂ）の（ロ）のように短くて［Δθ］と
同程度またはそれ以下のききは、始点信号ｐｓと終点信
号ｐｅとか図示のように連続するので、これらを分離す
ることか必要である。そこで、アンド回路８ｄによりこ
れらと［八〇］とのアンド合成により分離し、始点また
は終点パルスｐｃを発生するものである。
［Δθコが与えられる。一方、図（Ｃ）において、受光
器５の受光信号を（イ）とし、これをコンパレータ７に
おいて閾値口ＳＬ］により識別して欠陥信号Ｐｄかえら
れる。欠陥信号Ｐｄか（ＦＦＩ）８ａのＤ端子に人力す
ると［Δθ］によりＱｌか“１”となり、これが（ＦＦ
２ ）８ｂのＤ端子に５えられる。この時点ではＱ２は
“Ｏ”であるので、排他ＯＲ回路８Ｃより１”が出力さ
れるか、次の［ΔθコによりＱ２が“１”となると排他
ＯＲ回路８ｃの出力は“０”となり、この間の出力か始
点信号ｐｓである。欠陥信号Ｐｄが終了するとＱｌは“
Ｏ”となるが、Ｑ２が［Δθ］の１個分たけ“１”であ
るので、その間に終点信号ｐｅが出力される。ここで、
欠陥信号が図（ｂ）の（ロ）のように短くて［Δθ］と
同程度またはそれ以下のききは、始点信号ｐｓと終点信
号ｐｅとか図示のように連続するので、これらを分離す
ることか必要である。そこで、アンド回路８ｄによりこ
れらと［八〇］とのアンド合成により分離し、始点また
は終点パルスｐｃを発生するものである。
以上の欠陥座標取り込み方式は、単一の閾値ＳＬより識
別された欠陥信号に対するものであるか、実際のディス
ク欠陥検査装置では前記したように各種の光学系を複合
し、さらに閾値ＳＬを複数の段階として欠陥の大きさが
検出されるもので、これらの光学系または複数の閾値に
よりえられる各欠陥信号に対してＬ記の座標取り込み方
式をそれぞれ適用し、えられた欠陥データをＭＰＵによ
り集約して、１枚のマツプに表示することができる。
別された欠陥信号に対するものであるか、実際のディス
ク欠陥検査装置では前記したように各種の光学系を複合
し、さらに閾値ＳＬを複数の段階として欠陥の大きさが
検出されるもので、これらの光学系または複数の閾値に
よりえられる各欠陥信号に対してＬ記の座標取り込み方
式をそれぞれ適用し、えられた欠陥データをＭＰＵによ
り集約して、１枚のマツプに表示することができる。
［発明の効果コ
以上の説明により明らかなように、この発明によるディ
スク欠陥座標取り込み方式においては、欠陥の始点と終
点に対する円周角度および半径位置の座標がＲＡＭに記
憶され、これをマイクロプロセッサによって処理するこ
とにより連続した欠陥か連続した状態でマ、プ表示され
、連続した欠陥のすへての点の座標を必要とせすメモリ
容量か大幅に節約できるもので、情報記録媒体に使用さ
れる高密度の各種のディスクに対する欠陥検査装置に適
用してえられる効果には大きいものかある。
スク欠陥座標取り込み方式においては、欠陥の始点と終
点に対する円周角度および半径位置の座標がＲＡＭに記
憶され、これをマイクロプロセッサによって処理するこ
とにより連続した欠陥か連続した状態でマ、プ表示され
、連続した欠陥のすへての点の座標を必要とせすメモリ
容量か大幅に節約できるもので、情報記録媒体に使用さ
れる高密度の各種のディスクに対する欠陥検査装置に適
用してえられる効果には大きいものかある。
第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）は、この発明による
ディスク欠陥座標取り込み方式の実施例のプロ。 り構成図と、始点・終点検出回路およびその動作に対す
る信号波形のタイムチャート、第２図（ａ）。 （ｂ）および（Ｃ）は、ディスクの欠陥の説明図と、デ
ィスク検査装置の光学系の基本構成図、および欠陥デー
タのマツプ表示方法の説明図である。
ディスク欠陥座標取り込み方式の実施例のプロ。 り構成図と、始点・終点検出回路およびその動作に対す
る信号波形のタイムチャート、第２図（ａ）。 （ｂ）および（Ｃ）は、ディスクの欠陥の説明図と、デ
ィスク検査装置の光学系の基本構成図、および欠陥デー
タのマツプ表示方法の説明図である。
Claims (2)
- （１）検査光学系によりえられる被検査ディスクの欠陥
に対する欠陥信号に対して、ロータリエンコーダより出
力される角度パルスにより、該欠陥信号に対する円周角
度および半径位置の座標をＲＡＭに記憶し、マイクロプ
ロセッサの処理により、該欠陥を該座標に対応したマッ
プに表示するディスク欠陥検査装置において、該欠陥の
始点と終点に対する始点パルスと終点パルスにより、該
始点と終点に対する上記ディスクの円周角度および半径
位置の座標を上記ＲＡＭに記憶し、上記マイクロプロセ
ッサの処理により、連続した欠陥を連続した状態でマッ
プ表示することを特徴とする、ディスク欠陥座標取り込
み方式。 - （２）上記欠陥信号を２個のフリップフロップ、排他Ｏ
Ｒ回路およびアンド回路よりなる始点・終点検出回路に
入力し、上記角度パルスをトリガとして、上記始点パル
スおよび終点パルスを発生する、請求項１記載のディス
ク欠陥座標取り込み方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184883A JP2824864B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | ディスク欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184883A JP2824864B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | ディスク欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478036A true JPH0478036A (ja) | 1992-03-12 |
| JP2824864B2 JP2824864B2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=16160983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2184883A Expired - Lifetime JP2824864B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | ディスク欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2824864B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6850379B2 (en) * | 2001-03-05 | 2005-02-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for registering a defect map within a hard disk drive |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61211876A (ja) * | 1985-03-16 | 1986-09-19 | Hitachi Maxell Ltd | 光デイスク欠陥評価装置 |
| JPS63159703A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Nec Corp | レジスト膜厚検査装置 |
| JPS63253242A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Daicel Chem Ind Ltd | 傷の検査装置 |
-
1990
- 1990-07-12 JP JP2184883A patent/JP2824864B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61211876A (ja) * | 1985-03-16 | 1986-09-19 | Hitachi Maxell Ltd | 光デイスク欠陥評価装置 |
| JPS63159703A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Nec Corp | レジスト膜厚検査装置 |
| JPS63253242A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Daicel Chem Ind Ltd | 傷の検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6850379B2 (en) * | 2001-03-05 | 2005-02-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for registering a defect map within a hard disk drive |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2824864B2 (ja) | 1998-11-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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