JPH0478038A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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JPH0478038A
JPH0478038A JP18449590A JP18449590A JPH0478038A JP H0478038 A JPH0478038 A JP H0478038A JP 18449590 A JP18449590 A JP 18449590A JP 18449590 A JP18449590 A JP 18449590A JP H0478038 A JPH0478038 A JP H0478038A
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JP
Japan
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recording layer
magneto
layer
recording medium
optical recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP18449590A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junichi Aso
阿相 順一
Yoshihiro Arai
芳博 荒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tonen General Sekiyu KK
Original Assignee
Tonen Corp
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Publication date
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Publication of JPH0478038A publication Critical patent/JPH0478038A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain the magneto-optical recording medium provided with a recording layer having high C/N by providing the recording layer consisting of an amorphous alloy having a specific compsn. CONSTITUTION:This medium has a substrate 1 and the recording layer 3 laminated on the substrate 1 and may further have an enhancement layer 5 laminated between the substrate 1 and the recording layer 3, a protective layer 7 laminated on the recording layer 3, etc. The amorphous alloy having the compsn. expressed by formula I is used as the recording material to form the recording layer 3. In the formula I, A to D denote the rational numbers satisfying O<A<=10, O<=B<=1, 20<=C<=26, 80<=D<=100. Consequently, the Kerr rotating angle thetakappa and signal component are large and noises are decreased. The magneto-optical recording medium provided with the recording layer which imparts the high C/N is obtd. in this way.

Description

【発明の詳細な説明】 産業−にの利用分野 本発明は、繰り返し記録・再生することが可能で、かつ
再生特性に優れた記録層を備えた光磁気記録媒体に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium that can be repeatedly recorded and reproduced and has a recording layer with excellent reproduction characteristics.

従来の技術 情報の記録・再生を繰り返すこと、すなわち情報の書換
えが可能な記録層を備えた記録媒体として、記録層の微
細な区域を光によってキュリー点まで加熱し、この区域
の保磁力が極端に低下した状態で外部磁界を印加し磁化
方向の反転を生じさせ、情報を記録する光磁気記録媒体
か実用化されている。
Conventional technology: By repeatedly recording and reproducing information, in other words, as a recording medium with a recording layer that allows information to be rewritten, a minute area of the recording layer is heated to the Curie point with light, and the coercive force in this area is extremely high. Magneto-optical recording media have been put into practical use in which information is recorded by applying an external magnetic field in a state where the magnetic field is lowered to cause a reversal of the magnetization direction.

光磁気記録媒体では、情報は0,1−に対応する磁化方
向の反転区域と未反転区域との繰り返しとして記録され
る。記録された情報は、たとえばレーサー先か記録層の
表面で反射する際に、その偏光面か磁化の方向によって
異なる方向に回転するカー効果を利用し、この回転角(
カー回転角θに)の変化を読み取ることにより再生され
る。
In a magneto-optical recording medium, information is recorded as repetitions of areas where the magnetization direction is reversed and areas where the magnetization direction is not reversed, corresponding to 0, 1-. When the recorded information is reflected from the laser tip or the surface of the recording layer, the Kerr effect rotates in different directions depending on the plane of polarization or the direction of magnetization, and this rotation angle (
It is reproduced by reading the change in the Kerr rotation angle θ).

発明が解決しようとする3題 このような光磁気記録媒体の記録層を形成する記録材料
としては、希土類−遷移金属系、たとえばTb−Fe系
の非晶質合金が用いられてきた。
Three Problems to be Solved by the Invention As a recording material forming the recording layer of such a magneto-optical recording medium, an amorphous alloy of rare earth-transition metals, such as Tb-Fe, has been used.

ところがTb−Fe系の非晶質合金は、カー回転角θに
か小さいためにC/N比か低く記録の再生精度が低いと
いう問題かあった。
However, since the Tb--Fe type amorphous alloy has a small Kerr rotation angle .theta., the C/N ratio is low and there is a problem in that recording reproduction accuracy is low.

従来より、カー回転角θにを大きくしてC/N比を向上
させるために、遷移金属としてCOを用いたり、軽希土
類を加えたりする方法か採られてきた。しかしなから、
このような元素を用いた場合、カー回転角θには増加す
るものの、反射率の低下による信号成分の減少、記録膜
面の粗面化によるノイズの増加などを招くため、やはり
高いC/N比を有する非晶質合金を得られないという問
題があった。
Conventionally, in order to increase the Kerr rotation angle θ and improve the C/N ratio, methods have been adopted in which CO is used as the transition metal or light rare earth elements are added. However, because
When such elements are used, although the Kerr rotation angle θ increases, the signal component decreases due to a decrease in reflectance, and noise increases due to the roughening of the recording film surface, so the C/N is still high. There was a problem in that it was not possible to obtain an amorphous alloy having a certain ratio.

本発明は、このような従来技術に伴う問題点を解決しよ
うとするものであり、カー回転角θにおよび信号成分か
大きく、かつノイズか少なく、高C/N比を与える非晶
質合金からなる記録層を備えた光磁気記録媒体を提供す
ることを目的としている。
The present invention aims to solve the problems associated with the prior art, and is based on an amorphous alloy that provides a large Kerr rotation angle θ and a large signal component, low noise, and a high C/N ratio. The object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium having a recording layer.

課題を解決するための手段 本発明に係る光磁気記録媒体は、 下記組成式; %式%) (たた゛し式中、A、B、CおよびDは、0<As2O
,0≦B≦too 、 20≦C≦26.80≦D≦1
00を満たす有理数である) で示される組成を有する非晶質合金からなる記録層を備
えることを特徴としている。
Means for Solving the Problems The magneto-optical recording medium according to the present invention has the following compositional formula;
, 0≦B≦too, 20≦C≦26.80≦D≦1
It is characterized by comprising a recording layer made of an amorphous alloy having a composition represented by (a rational number satisfying 00).

本発明に係る光磁気記録媒体によれば、記録層を形成す
る記録材料として上記組成式CIEで示される組成を有
する非晶質合金を用いるため、カー回転角θにおよび信
号成分か大きく、かつノイズが少なく、高C/N比を与
える記録層を備えた光磁気記録媒体を提供することがで
きる。
According to the magneto-optical recording medium of the present invention, since an amorphous alloy having the composition represented by the above compositional formula CIE is used as the recording material forming the recording layer, the Kerr rotation angle θ and the signal component are large, and It is possible to provide a magneto-optical recording medium with a recording layer that has less noise and provides a high C/N ratio.

以下、本発明に係る光磁気記録媒体をさらに詳細に説明
する。
Hereinafter, the magneto-optical recording medium according to the present invention will be explained in more detail.

本発明に係る光磁気記録媒体は、たとえば第1図に示す
ように、基板1と、基板1上に積層される記録層3とを
有しており、さらに基板1と記録層3との間に積層され
るエンハンス層5、記録層3上に積層される保護層7な
どを有していてもよい。
The magneto-optical recording medium according to the present invention has a substrate 1 and a recording layer 3 laminated on the substrate 1, as shown in FIG. It may include an enhancement layer 5 laminated on the recording layer 3, a protective layer 7 laminated on the recording layer 3, and the like.

このような光磁気記録媒体の基板1の材料としては、具
体的には、カラスなどの無機材料の他、ポリカーボネー
ト、ポリメチルメタアクリレート、エポキシ樹脂などの
樹脂材料を挙げることができる。
Specific examples of the material for the substrate 1 of such a magneto-optical recording medium include inorganic materials such as glass, as well as resin materials such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, and epoxy resin.

エンハンス層5は、多重反射を利用してカー効果を高め
カー回転角θにを増大させる誘電体層である。エンハン
ス層5を形成する誘電体としては、SiN、Sin、A
IN、ZnSなどが挙げられる。
The enhancement layer 5 is a dielectric layer that utilizes multiple reflections to enhance the Kerr effect and increase the Kerr rotation angle θ. As the dielectric material forming the enhancement layer 5, SiN, Sin, A
Examples include IN and ZnS.

このようなエンハンス層5は、公知薄膜形成方法のいず
れて形成してもよく、たとえばスパッタ法、真空蒸着法
、イオンブレーティング法、気相成長法などで形成する
ことができる。この内、特にスパッタ法が好ましく、直
流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波スパッ
タ法などが好ましく用いられる。
Such an enhancement layer 5 may be formed by any known thin film forming method, such as a sputtering method, a vacuum evaporation method, an ion blasting method, a vapor phase growth method, or the like. Among these, sputtering is particularly preferred, and DC sputtering, high-frequency sputtering, reactive high-frequency sputtering, and the like are preferably used.

エンハンス層5の膜厚は、カー効果が最も高められる値
に設定されるか、通常500〜100OA、好ましくは
600〜800 Aである。
The thickness of the enhancement layer 5 is set to a value that maximizes the Kerr effect, or is usually 500 to 100 OA, preferably 600 to 800 Å.

保護層7は、酸化されやすい記録層3への酸素、水など
の透過を防止するために形成される。
The protective layer 7 is formed to prevent oxygen, water, etc. from permeating the recording layer 3, which is easily oxidized.

このような保護層7を形成する材料としては、S i3
N4 、  S t O,An N、 ZnSなどを用
いることかでき、これら材料からなる保護層7は、エン
ハンス層5と同様の方法で形成することかできる。
As a material for forming such a protective layer 7, Si3
N4, S t O, An N, ZnS, etc. can be used, and the protective layer 7 made of these materials can be formed by the same method as the enhancement layer 5.

このようにして形成される保護層7の膜厚は、通常50
0〜100OA 、好ましくは800〜100OAであ
る。
The thickness of the protective layer 7 formed in this way is usually 50 mm.
It is 0-100OA, preferably 800-100OA.

本発明に係る光磁気記録媒体で用いられる記録層3は、
軽希土類としてのPrと、希土類としてのTbおよびD
yのいずれか少なくとも一方と、遷移金属としてのFe
およびCOのいずれか少なくとも一方とを特定の組成比
で含んた希土類−遷移金属系の非晶質合金であり、上記
組成式[I]で示される。
The recording layer 3 used in the magneto-optical recording medium according to the present invention is
Pr as a light rare earth and Tb and D as rare earths
at least one of y and Fe as a transition metal
and CO in a specific composition ratio, and is represented by the above compositional formula [I].

組成式CI)で示される組成を有する非晶質合金では、
上記のような量でPrを含んでいるため、prによるカ
ー効果の向上が達成できる他、反磁場などの問題がなく
、また充分な反射率および高C/N比の記録層3を形成
することかできる。また、このような組成を有する非晶
質合金では、見かけに磁化か0となりかつ保磁力か非常
に大きくなる補償温度を有するとともに、この補償温度
か常温近傍に来るため、常温での保磁力か大きく安定し
た記録層を備えた情報記録媒体を提供できる。
In an amorphous alloy having a composition represented by the composition formula CI),
Since it contains Pr in the above amount, it is possible to improve the Kerr effect due to pr, and there is no problem such as demagnetizing field, and a recording layer 3 with sufficient reflectance and high C/N ratio can be formed. I can do it. In addition, in an amorphous alloy having such a composition, there is a compensation temperature at which the magnetization appears to be 0 and the coercive force becomes very large, and since this compensation temperature is close to room temperature, the coercive force at room temperature is An information recording medium having a large and stable recording layer can be provided.

このような記録層3を形成する方法としては、公知薄膜
形成方法のいずれを採用してもよく、たとえばスパッタ
法、CVD法、PVD法、イオンブレーテインク法、気
相成長法などて形成することができる。この内、特にス
パッタ法か好ましく、直流スパッタ法、高周波スパッタ
法、反応性高周波スパッタ法などが好ましく用いられる
As a method for forming such a recording layer 3, any known thin film forming method may be adopted, such as a sputtering method, a CVD method, a PVD method, an ion brate ink method, a vapor phase growth method, etc. be able to. Among these, the sputtering method is particularly preferred, and DC sputtering, high frequency sputtering, reactive high frequency sputtering, etc. are preferably used.

このようにして得られた記録層3の膜厚は、連想11、
本発明に係る光磁気記録媒体を、基板]上に、エンハン
ス層5、記録層3、保護層7を順次この順番で積層した
場合を例示して説明した。
The film thickness of the recording layer 3 obtained in this way is associative 11,
The magneto-optical recording medium according to the present invention has been described by exemplifying the case where the enhancement layer 5, the recording layer 3, and the protective layer 7 are sequentially laminated in this order on the substrate.

しかしながら、本発明では、」−記記録層を有するかき
りいかなる層構造を有していてもよく、たとえば保護層
と記録層との間に反射層を設け、ファラデー効果も合わ
せて利用できるようにしてもよい。
However, in the present invention, it is possible to have any layer structure including a recording layer, for example, a reflective layer is provided between a protective layer and a recording layer so that the Faraday effect can also be utilized. It's okay.

発明の効果 本発明に係る光磁気記録媒体は、 上記組成式[T)で示される組成をf]−する非晶質合
金からなる記録層を備えるので、カー回転角θにおよび
信す−成分か大きく、かつノイスか少へく、高C/N比
を与える記録層を備えた光磁気記録媒体を提供すること
かできる。
Effects of the Invention The magneto-optical recording medium according to the present invention includes a recording layer made of an amorphous alloy having a composition represented by the above compositional formula [T]. It is possible to provide a magneto-optical recording medium having a recording layer that is large, has low noise, and provides a high C/N ratio.

以下、実施例により、本発明に係る光磁気記録媒体をさ
らに具体的に説明するか、本発明はこれら実施例に限定
して解釈されるものではない。
Hereinafter, the magneto-optical recording medium according to the present invention will be explained in more detail with reference to Examples, but the present invention should not be construed as being limited to these Examples.

実施例 1 ポリカーホネート基板上に、A r + N 2雰囲気
下、到達真空度2 X 1.0’Torr以下でSiタ
ーケットを用いた反応性高周波スパッタリンクによりS
iNからなるエンハンス層を形成した。また、エンハン
ス層の膜厚は、得られた光磁気記録媒体のC/N比が最
大となるように、800Aとした。
Example 1 S was deposited on a polycarbonate substrate by a reactive high-frequency sputter link using a Si target in an atmosphere of Ar + N2 at an ultimate vacuum of 2 x 1.0'Torr or less.
An enhancement layer made of iN was formed. Further, the film thickness of the enhancement layer was set to 800A so that the obtained magneto-optical recording medium had a maximum C/N ratio.

次に、このエンハンス層−にに、Ar雰囲i下、到達真
空度I X lO’Torr以下てPrTbFeCo複
合ターケットを用いた直流スパッタリンクにより表1に
示された組成を有する膜厚]、 000 Aの記録層を
形成した。次いで、この記録層上に、エンハンス層を形
成したときと同様の方法で、SiNからなる膜厚800
Aの保護層を形成した。
Next, this enhancement layer was coated with a film thickness having the composition shown in Table 1 by direct current sputtering using a PrTbFeCo composite target under an Ar atmosphere at an ultimate vacuum of IX1O'Torr or less. A recording layer A was formed. Next, a film made of SiN with a thickness of 800 mm was formed on this recording layer in the same manner as when forming the enhancement layer.
A protective layer of A was formed.

このようにして得られた光磁気記録媒体のC/N比を、
ディスク回転数180orpm、記録周波数3.7M)
fz、分解能帯域幅30kHz、レーサ波長830nm
にて、ディスク内周部において測定した。得られた結果
を表1に示す。
The C/N ratio of the magneto-optical recording medium obtained in this way is
Disc rotation speed 180 orpm, recording frequency 3.7M)
fz, resolution bandwidth 30kHz, laser wavelength 830nm
Measurements were taken at the inner circumference of the disk. The results obtained are shown in Table 1.

実施例 2〜5 記録層の組成を表1に示される組成に変更した以外は、
実施例1と同様にして光磁気記録媒体を製造し、C/N
比を測定した。なお、記録層の組成変更は、基準となる
L記ターゲット」二に、適当な合金あるいは金属チップ
を載置することにより行なった。
Examples 2 to 5 Except for changing the composition of the recording layer to the composition shown in Table 1,
A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, and the C/N
The ratio was measured. The composition of the recording layer was changed by placing an appropriate alloy or metal chip on the reference L target.

得られた結果を表1に示す。The results obtained are shown in Table 1.

実施例 6〜lO 形成する記録層の組成を、基準となるターゲットを変更
することにより、表2に示される組成とした以外は、実
施例1と同様にして光磁気記録媒体を製造し、C/N比
を測定した。
Example 6-lO A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the composition of the recording layer to be formed was changed to the composition shown in Table 2 by changing the reference target, and C /N ratio was measured.

得られた結果を表2に示す。The results obtained are shown in Table 2.

比較例 1〜4 Pr、Tb、Fe、Coを含み、表3に示されるような
本発明と異なる組成比を有する記録層を形成した以外は
、実施例と同様にして光磁気記録媒体を製造し、C/N
比を測定した。
Comparative Examples 1 to 4 Magneto-optical recording media were manufactured in the same manner as in Examples, except that a recording layer containing Pr, Tb, Fe, and Co and having a composition ratio different from that of the present invention as shown in Table 3 was formed. C/N
The ratio was measured.

得られた結果を表3に示す。The results obtained are shown in Table 3.

比較例 5〜10 Prを含まない表3に示される組成の記録層を形成した
以外は、実施例と同様にして光磁気記録媒体を製造し、
C/N比を測定した。
Comparative Examples 5 to 10 Magneto-optical recording media were manufactured in the same manner as in Examples, except that a recording layer containing no Pr and having the composition shown in Table 3 was formed.
The C/N ratio was measured.

得られた結果を表3に示す。The results obtained are shown in Table 3.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

添付第1図は、本発明に係る光磁気記録媒体の好ましい
1態様を示す断面図である。 1・・・基 板       3・・・記録層5・・・
エンハンス層    7・・・保護層イ) ト÷〈I 手続補正書 平成3年2月S日
FIG. 1 attached herewith is a sectional view showing one preferred embodiment of the magneto-optical recording medium according to the present invention. 1...Substrate 3...Recording layer 5...
Enhancement layer 7...Protective layer a) ÷〈I Procedural amendment dated February S, 1991

Claims (1)

【特許請求の範囲】 下記組成式; {Pr_A(Tb_BDy_1_0_0_−_B)_1
_0_0_−_A}_C(Fe_DCo_1_0_0_
−_D)_1_0_0_−_C・・・〔 I 〕(ただし
式中、A、B、CおよびDは、0<A≦10、0≦B≦
100、20≦C≦26、80≦D≦100を満たす有
理数である) で示される組成を有する非晶質合金からなる記録層を備
えることを特徴とする光磁気記録媒体。
[Claims] The following compositional formula; {Pr_A(Tb_BDy_1_0_0_-_B)_1
_0_0_-_A}_C(Fe_DCo_1_0_0_
-_D)_1_0_0_-_C...[I] (In the formula, A, B, C and D are 0<A≦10, 0≦B≦
100, 20≦C≦26, and 80≦D≦100) A magneto-optical recording medium comprising a recording layer made of an amorphous alloy having the following composition.
JP18449590A 1990-07-12 1990-07-12 Magneto-optical recording medium Pending JPH0478038A (en)

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