JPH047557Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH047557Y2 JPH047557Y2 JP1985133495U JP13349585U JPH047557Y2 JP H047557 Y2 JPH047557 Y2 JP H047557Y2 JP 1985133495 U JP1985133495 U JP 1985133495U JP 13349585 U JP13349585 U JP 13349585U JP H047557 Y2 JPH047557 Y2 JP H047557Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- target
- tube
- analyzer
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本考案は軟Ｘ線領域におけるＸ線吸収端微細構
造の測定等に適するＸ線管に関する。
造の測定等に適するＸ線管に関する。
ロ 従来の技術
Ｘ線管には密閉型と開放型がある。開放型のＸ
線管は陰極フイラメントの交換を可能にするた
め、管球を開いて陰極部を抜出せるようにしたも
ので、真空ポンプを配設して排気しながら使用す
るようになつている。
線管は陰極フイラメントの交換を可能にするた
め、管球を開いて陰極部を抜出せるようにしたも
ので、真空ポンプを配設して排気しながら使用す
るようになつている。
軟Ｘ線領域のＸ線分光測定用のＸ線源として上
記した開放型Ｘ線管を用いた場合、フイラメント
のタングステンがターゲツト表面に蒸着して来る
ため、このタングステンのＸ線吸収作用により、
長期間使用していると、Ｘ線の線源輝度が低下し
て来ると云う問題があつた。
記した開放型Ｘ線管を用いた場合、フイラメント
のタングステンがターゲツト表面に蒸着して来る
ため、このタングステンのＸ線吸収作用により、
長期間使用していると、Ｘ線の線源輝度が低下し
て来ると云う問題があつた。
ハ 考案が解決しようとする問題点
本考案は軟Ｘ線領域の測定に用いるＸ線源の上
述した線源輝度の低下の問題を解決しようとする
ものである。
述した線源輝度の低下の問題を解決しようとする
ものである。
ニ 問題点解決のための手段
Ｘ線管を構成する胴部と陰極フイラメント部と
ターゲツト部のうち、胴部を分析装置本体に直結
し、この胴部に上記陰極フイラメント部とターゲ
ツト部とを夫々着脱可能に取付け、胴部において
分析装置本体側にＸ線取出し窓を設け、窓面に摺
動可能にＸ線透過フイルムを張設した開口を有す
るシヤツターを設け、胴部の他側面開口に真空ポ
ンプを接続してなる要真空領域Ｘ線分析装置を提
供する。
ターゲツト部のうち、胴部を分析装置本体に直結
し、この胴部に上記陰極フイラメント部とターゲ
ツト部とを夫々着脱可能に取付け、胴部において
分析装置本体側にＸ線取出し窓を設け、窓面に摺
動可能にＸ線透過フイルムを張設した開口を有す
るシヤツターを設け、胴部の他側面開口に真空ポ
ンプを接続してなる要真空領域Ｘ線分析装置を提
供する。
ホ 作用
Ｘ線管がターゲツト部、胴部、フイラメント部
の三部分に分解でき、胴部に真空ポンプとＸ線分
光器が接続されるので、Ｘ線分光装置の構造を保
つたまゝで、まつりＸ線分光装置からＸ線管を取
外すことなしに、フイラメント部だけ或はターゲ
ツト部だけを取外すことができ、任意の時にフイ
ラメントの交換及びターゲツトの洗滌ができ、タ
ーゲツト部の洗滌ができるので、線源輝度の低下
が防がれる。
の三部分に分解でき、胴部に真空ポンプとＸ線分
光器が接続されるので、Ｘ線分光装置の構造を保
つたまゝで、まつりＸ線分光装置からＸ線管を取
外すことなしに、フイラメント部だけ或はターゲ
ツト部だけを取外すことができ、任意の時にフイ
ラメントの交換及びターゲツトの洗滌ができ、タ
ーゲツト部の洗滌ができるので、線源輝度の低下
が防がれる。
ヘ 実施例
図は本考案の一実施例を示す。１は陰極フイラ
メント部、２はターゲツト部、３は胴部である。
胴部３は両端が開口した筒状で、一方の端に陰極
フイラメント部１、他方の端にターゲツト部２が
接続されて、三者の結合によつてＸ線管が構成さ
れ、陰極フイラメント部１及びターゲツト部２は
夫々締結ボルトによつて着脱自在に胴部３に接続
されている。胴部３には一側面にＸ線取出し窓
４、他の一側面に排気口５が設けられ、排気口５
には排気ポンプ（不図示）が接続され、Ｘ線管内
は10-6〜10-7toorに排気されるようになつてい
る。Ｘ線取出し窓４の外側には胴部３に摺接して
シヤツター板６が設けられ、このシヤツター板は
胴部３のＸ線取出し窓４の周囲に形成されたＸ線
分光器接続用フランジ７の側面を気密に貫通して
いる操作棒８の先端に取り付けられており、操作
棒８を図で左右に動かすことにより、胴部３側面
を摺動する。シヤツター板６には透孔６ｈが穿設
してあり、この透溝を覆つてＸ線透過フイルムＦ
が張設してある。３０はシヤツター板６と胴部３
側面との間の気密を保持するＯリングである。
メント部、２はターゲツト部、３は胴部である。
胴部３は両端が開口した筒状で、一方の端に陰極
フイラメント部１、他方の端にターゲツト部２が
接続されて、三者の結合によつてＸ線管が構成さ
れ、陰極フイラメント部１及びターゲツト部２は
夫々締結ボルトによつて着脱自在に胴部３に接続
されている。胴部３には一側面にＸ線取出し窓
４、他の一側面に排気口５が設けられ、排気口５
には排気ポンプ（不図示）が接続され、Ｘ線管内
は10-6〜10-7toorに排気されるようになつてい
る。Ｘ線取出し窓４の外側には胴部３に摺接して
シヤツター板６が設けられ、このシヤツター板は
胴部３のＸ線取出し窓４の周囲に形成されたＸ線
分光器接続用フランジ７の側面を気密に貫通して
いる操作棒８の先端に取り付けられており、操作
棒８を図で左右に動かすことにより、胴部３側面
を摺動する。シヤツター板６には透孔６ｈが穿設
してあり、この透溝を覆つてＸ線透過フイルムＦ
が張設してある。３０はシヤツター板６と胴部３
側面との間の気密を保持するＯリングである。
胴部３にはＸ線分光器接続用フランジ７にＸ線
分光器９が接続され、Ｘ線分光器９は排気系に接
続されて、軟Ｘ線領域のＸ線の大気による吸収を
防いでいる。Ｘ線管もＸ線分光器も排気されてい
るが、両者の要求される真空度は異なつており、
Ｘ線管内部は高真空を要求されるので、Ｘ線管と
Ｘ線分光器９とは内部空間を連通させておくこと
ができないので、測定中はシヤツター板６の透孔
６ｈが胴部３のＸ線取出し窓４と重なるように
し、Ｘ線透過フイルムＦを通してＸ線を取出すよ
うにする。Ｘ線分光器９は試料の交換等で内部が
大気圧になる場合があるが、この場合予めシヤツ
ター板６を操作して、透孔６ｈをＸ線取出し窓４
から外し、同窓をシヤツター板６で覆つておく。
このようにしておくと、Ｘ線透過フイルムＦは片
面が大気圧、反対面が真空と云う大きな圧力差を
受けることがないから、薄くすることができる。
従来、Ｘ線管のＸ線取出し窓には300μm程度の厚
さのBe板等を用いていたので、Ｘ線の吸収損失
が大きかつたが、上述シヤツターの構成で、Ｘ線
透過フイルムは充分薄くでき、Ｘ線の損失が低減
される。
分光器９が接続され、Ｘ線分光器９は排気系に接
続されて、軟Ｘ線領域のＸ線の大気による吸収を
防いでいる。Ｘ線管もＸ線分光器も排気されてい
るが、両者の要求される真空度は異なつており、
Ｘ線管内部は高真空を要求されるので、Ｘ線管と
Ｘ線分光器９とは内部空間を連通させておくこと
ができないので、測定中はシヤツター板６の透孔
６ｈが胴部３のＸ線取出し窓４と重なるように
し、Ｘ線透過フイルムＦを通してＸ線を取出すよ
うにする。Ｘ線分光器９は試料の交換等で内部が
大気圧になる場合があるが、この場合予めシヤツ
ター板６を操作して、透孔６ｈをＸ線取出し窓４
から外し、同窓をシヤツター板６で覆つておく。
このようにしておくと、Ｘ線透過フイルムＦは片
面が大気圧、反対面が真空と云う大きな圧力差を
受けることがないから、薄くすることができる。
従来、Ｘ線管のＸ線取出し窓には300μm程度の厚
さのBe板等を用いていたので、Ｘ線の吸収損失
が大きかつたが、上述シヤツターの構成で、Ｘ線
透過フイルムは充分薄くでき、Ｘ線の損失が低減
される。
ターゲツト部２において、２１がターゲツト本
体であり、２２は冷却水流通空所である。ターゲ
ツト２１の表面を清掃する場合、胴部３に排気ポ
ンプ、Ｘ線分光器９、フイラメント部１の各部を
接続したままの状態で、ターゲツト部２だけを胴
部３から外して、ターゲツト洗滌を行うことがで
きる。同様にしてフイラメント交換の場合、陰極
フイラメント部１だけを胴部３から取外せばよ
い。
体であり、２２は冷却水流通空所である。ターゲ
ツト２１の表面を清掃する場合、胴部３に排気ポ
ンプ、Ｘ線分光器９、フイラメント部１の各部を
接続したままの状態で、ターゲツト部２だけを胴
部３から外して、ターゲツト洗滌を行うことがで
きる。同様にしてフイラメント交換の場合、陰極
フイラメント部１だけを胴部３から取外せばよ
い。
ト 効果
本考案は上述したようにＸ線管を陰極フイラメ
ント部とターゲツト部を中間の胴部を介して着脱
自在に結合し、胴部に排気系およびＸ線分光器を
接続したので、Ｘ線管と排気系とＸ線分光器とで
構成されるＸ線分光装置において、Ｘ線分光装置
の全体的構成を分解する必要無しにＸ線管からタ
ーゲツト部だけを取り外してターゲツトの洗滌を
行うことができることになり、ターゲツトにフイ
ラメント蒸着物が付着してＸ線源の輝度が低下す
るのを簡単に回復することができ、Ｘ線管を常に
良い状態に保つことができる。
ント部とターゲツト部を中間の胴部を介して着脱
自在に結合し、胴部に排気系およびＸ線分光器を
接続したので、Ｘ線管と排気系とＸ線分光器とで
構成されるＸ線分光装置において、Ｘ線分光装置
の全体的構成を分解する必要無しにＸ線管からタ
ーゲツト部だけを取り外してターゲツトの洗滌を
行うことができることになり、ターゲツトにフイ
ラメント蒸着物が付着してＸ線源の輝度が低下す
るのを簡単に回復することができ、Ｘ線管を常に
良い状態に保つことができる。
図面は本考案の一実施例Ｘ線管の縦断側面図で
ある。
ある。
Claims (1)
- Ｘ線管を構成する胴部と陰極フイラメント部と
ターゲツト部のうち、胴部を分析装置本体に直結
し、この胴部に上記陰極フイラメント部とターゲ
ツト部とを夫々着脱可能に取付け、胴部におい
て、分析装置本体側にＸ線取出し窓を設け、この
窓面に摺動可能にＸ線透過フイルムを張設した開
口を有するシヤツターを設け、胴部の他側面開口
に真空ポンプを接続してなる要真空領域Ｘ線分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985133495U JPH047557Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985133495U JPH047557Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241656U JPS6241656U (ja) | 1987-03-12 |
| JPH047557Y2 true JPH047557Y2 (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=31033867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985133495U Expired JPH047557Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047557Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP1985133495U patent/JPH047557Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6241656U (ja) | 1987-03-12 |
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