JPH0478212A - 弾性表面波フィルタの電極構造 - Google Patents
弾性表面波フィルタの電極構造Info
- Publication number
- JPH0478212A JPH0478212A JP18970490A JP18970490A JPH0478212A JP H0478212 A JPH0478212 A JP H0478212A JP 18970490 A JP18970490 A JP 18970490A JP 18970490 A JP18970490 A JP 18970490A JP H0478212 A JPH0478212 A JP H0478212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- regular
- electrode fingers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001808 coupling effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 229910012463 LiTaO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009924 canning Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は１弾性表面波を利用してなる二重モードフィル
タの電極構造に関する。
タの電極構造に関する。
従来の弾性表面波フィルタの電極構造としては、特開昭
５６−２０６８１６号及び特開昭５７−１３１８５５号
等があった。
５６−２０６８１６号及び特開昭５７−１３１８５５号
等があった。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、前述の従来技術では、弾性表面波の振動領域を
横断して走る接続導体により加えられる直下の弾性表面
波にともなう電位と独立な電位が、正常な共振子の振動
変位を妨害する他、弾性表面波伝播路の音響インピーダ
ンスのミスマツチを発生する等の問題点を有する。又、
特開昭５７−１３１８５５の例に於てもインターデジタ
ルトランスデユーサの電極のバスバー導体の一部と反射
器の一部又は全部と一体化すれば、当然前述の問題点を
有することは明らかである。そこで本発明はこのような
問題点を解決するもので、その目的とするところは、安
定でＱ値が高く、フィルタ特性に優れた弾性表面波二重
モードフィルタを市場に提供するところにある。
横断して走る接続導体により加えられる直下の弾性表面
波にともなう電位と独立な電位が、正常な共振子の振動
変位を妨害する他、弾性表面波伝播路の音響インピーダ
ンスのミスマツチを発生する等の問題点を有する。又、
特開昭５７−１３１８５５の例に於てもインターデジタ
ルトランスデユーサの電極のバスバー導体の一部と反射
器の一部又は全部と一体化すれば、当然前述の問題点を
有することは明らかである。そこで本発明はこのような
問題点を解決するもので、その目的とするところは、安
定でＱ値が高く、フィルタ特性に優れた弾性表面波二重
モードフィルタを市場に提供するところにある。
〔課題を解決するための手段１
本発明の弾性表面波フィルタの電極構造は、圧電体平板
上に、相隣接して２つの弾性表面波共振子を構成し両者
の弾性的横結合効果を利用して二重モードフィルタとす
る弾性表面波フィルタに於て、前記弾性表面波の電極が
、圧電体平板上に金１２ＥＩＩＪｊで形成され、平行に
配置する２つの正規型電極指を電気的に直列接続とした
上でさらに、接続された電極指のバスバー導体を一体化
して共通電極として、前記共通電極の両端に接続してケ
ースに接地するための第１と第２の接地端子部を設ける
他、前記２つの正規型電極指の電気的に開放された電極
に接続して各々入力、出力端子部を形成し、さらにまた
前記入力と出力側の正規型電極指のバスバー導体を各々
２ケ所で切断した上で、両端のバスバー導体を前記第１
と第２の接地端子部に接続したことを特徴とする。
上に、相隣接して２つの弾性表面波共振子を構成し両者
の弾性的横結合効果を利用して二重モードフィルタとす
る弾性表面波フィルタに於て、前記弾性表面波の電極が
、圧電体平板上に金１２ＥＩＩＪｊで形成され、平行に
配置する２つの正規型電極指を電気的に直列接続とした
上でさらに、接続された電極指のバスバー導体を一体化
して共通電極として、前記共通電極の両端に接続してケ
ースに接地するための第１と第２の接地端子部を設ける
他、前記２つの正規型電極指の電気的に開放された電極
に接続して各々入力、出力端子部を形成し、さらにまた
前記入力と出力側の正規型電極指のバスバー導体を各々
２ケ所で切断した上で、両端のバスバー導体を前記第１
と第２の接地端子部に接続したことを特徴とする。
本発明の上記構成によれば、弾性表面波共振子の振動領
域を横断して接続導体が走らないために共振子の振動を
妨害することがなく良好なフィルタ特性が得られる。
域を横断して接続導体が走らないために共振子の振動を
妨害することがなく良好なフィルタ特性が得られる。
［実 施 例］
第１図は本発明の実施例に於る弾性表面波フィルタの平
面図である０図中の各部位について説明すると１００は
圧電体平板であって、水晶、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ
５等の圧電材料からなる。１２０と１２１は正規型電極
指１０１，１０２，１０３は出力側バスバー導体、１０
４．１０５．１０６は入力側バスバー導体であって、前
記正規型電極指のバスバー導体を４ケ所で切断してでき
る部分である０次に１０７と１０８は各々出力側及び入
力側バスバー導体に接続する出力端子部（１０７）と入
力端子部（１０８）であって、さらにこれらは、ワイヤ
ーボンデング、キャブボンド等の手段により出力端子１
０９と入力端子１１０に接続される０次に１２２は共通
電極であって、２つの正規型電極指１２０と１２１の相
接続する側のバスバー導体を一体として形成されたもの
である。１１３と１１７は各々第１の接地端子部と第２
の接地端子部であって、前記１２２の共通電極に接続す
る。さらに１１４と１１８は本実施例の弾性表面波フィ
ルタのチップをマウントするメタル又はセラミック等の
ケース側の接地部位であって、ワイヤーボンデング、キ
ャングボンド等の手段により前記１１７及び１１３に接
続する。つぎに１１１．１１２．１１５，１１６の各導
体は各々１０１．１０４及び１０３．１０６（７）各バ
スバー導体と第１の接地端子部及び第２の接地端子部を
接続するための導体である６以上述べた各電極及び導体
の製法は、圧電体平板１００の表面を鏡面とした上で１
．ｌ、Ａｕ、Ａｇ等の金属を蒸着、スパッタ等の手段に
より薄膜形成して、さらにホトリゾグラフィ等の加工に
よりパターン形成してなる。８記１２０及び１２１の正
規型電極指については、必ずしも等ピッチである必要は
なく、可変ピッチ又は段階状に変化するピッチの電極指
であっても良いし、又正規型電極指の膜厚が一様でな（
でも良く適切に設定されるべきである。
面図である０図中の各部位について説明すると１００は
圧電体平板であって、水晶、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ
５等の圧電材料からなる。１２０と１２１は正規型電極
指１０１，１０２，１０３は出力側バスバー導体、１０
４．１０５．１０６は入力側バスバー導体であって、前
記正規型電極指のバスバー導体を４ケ所で切断してでき
る部分である０次に１０７と１０８は各々出力側及び入
力側バスバー導体に接続する出力端子部（１０７）と入
力端子部（１０８）であって、さらにこれらは、ワイヤ
ーボンデング、キャブボンド等の手段により出力端子１
０９と入力端子１１０に接続される０次に１２２は共通
電極であって、２つの正規型電極指１２０と１２１の相
接続する側のバスバー導体を一体として形成されたもの
である。１１３と１１７は各々第１の接地端子部と第２
の接地端子部であって、前記１２２の共通電極に接続す
る。さらに１１４と１１８は本実施例の弾性表面波フィ
ルタのチップをマウントするメタル又はセラミック等の
ケース側の接地部位であって、ワイヤーボンデング、キ
ャングボンド等の手段により前記１１７及び１１３に接
続する。つぎに１１１．１１２．１１５，１１６の各導
体は各々１０１．１０４及び１０３．１０６（７）各バ
スバー導体と第１の接地端子部及び第２の接地端子部を
接続するための導体である６以上述べた各電極及び導体
の製法は、圧電体平板１００の表面を鏡面とした上で１
．ｌ、Ａｕ、Ａｇ等の金属を蒸着、スパッタ等の手段に
より薄膜形成して、さらにホトリゾグラフィ等の加工に
よりパターン形成してなる。８記１２０及び１２１の正
規型電極指については、必ずしも等ピッチである必要は
なく、可変ピッチ又は段階状に変化するピッチの電極指
であっても良いし、又正規型電極指の膜厚が一様でな（
でも良く適切に設定されるべきである。
次に本実施例によって得られる二重モードフィルタの特
徴につき第２図と第３図を使って説明する。第２図は、
第１図実施例の水平方向をＸ軸とした場合のどちらか一
方の弾性表面波共振子の示す分極分布Ｐの振幅の大きさ
の変化を示す曲Ａｌ２０１と、第１図実施例中の共通電
極１２２上に発生する電圧分布ｖ６を示す曲線２０２で
ある。まず曲線２０１の分極分布Ｐは前述の正規型電極
指下に於て入力端子１１０と接地端子部１１４と１１８
間に加えられる交番電圧によって励振された弾性表面波
が作る共振状態での変位が作るものである。なお充分な
振動エネルギーの閉込めが達成された状態にあっては、
第１と第２の接地端子部での変位は極めて小さく特性に
影響を与えない。
徴につき第２図と第３図を使って説明する。第２図は、
第１図実施例の水平方向をＸ軸とした場合のどちらか一
方の弾性表面波共振子の示す分極分布Ｐの振幅の大きさ
の変化を示す曲Ａｌ２０１と、第１図実施例中の共通電
極１２２上に発生する電圧分布ｖ６を示す曲線２０２で
ある。まず曲線２０１の分極分布Ｐは前述の正規型電極
指下に於て入力端子１１０と接地端子部１１４と１１８
間に加えられる交番電圧によって励振された弾性表面波
が作る共振状態での変位が作るものである。なお充分な
振動エネルギーの閉込めが達成された状態にあっては、
第１と第２の接地端子部での変位は極めて小さく特性に
影響を与えない。
又さらに改善する場合には１１３と１１７の接地端子部
を弾性表面波の伝播路よりはずして設けてもよい１次に
前記Ｖ６について説明すると、■。
を弾性表面波の伝播路よりはずして設けてもよい１次に
前記Ｖ６について説明すると、■。
は第１図実施例中の共通電極１２２の幅がｌＯ〜５０ｔ
ｉｍとバスバー導体に比較して数倍以上狭いために発生
する共通電極の分布抵抗ｒと共通電極を流れる共振電流
ｉの積で与えられる電位である。１ｉ４ｆｌｙ、はＰを
Ａから０又はＢから０まで積分して得られる曲線に比例
する０次に第３図を用いて電位Ｖ０のはだす機能につき
説明する。第３図は第１図実施例の内、入力側にある正
規型電極指の中央に於て水平方向ケことった断面図であ
って、図中各部位の名称は、３０１は圧電体平板、３０
２は交流電源、３０３は入力端子、３０４は接地端子、
３０５．３０６．３０７等は正規型電極指、３０８は共
振現象をていする弾性表面波の分極波Ｐの波形、３０９
．３１０等は共通電極の分布抵抗ｒ、３２０，３２１等
は正規型電極指の直下に発生する電界強度Ｅの方向と大
きさである。特に３３０，３３１等は、入力、出力側の
バスバー導体が接地された領域の示す電界である。
ｉｍとバスバー導体に比較して数倍以上狭いために発生
する共通電極の分布抵抗ｒと共通電極を流れる共振電流
ｉの積で与えられる電位である。１ｉ４ｆｌｙ、はＰを
Ａから０又はＢから０まで積分して得られる曲線に比例
する０次に第３図を用いて電位Ｖ０のはだす機能につき
説明する。第３図は第１図実施例の内、入力側にある正
規型電極指の中央に於て水平方向ケことった断面図であ
って、図中各部位の名称は、３０１は圧電体平板、３０
２は交流電源、３０３は入力端子、３０４は接地端子、
３０５．３０６．３０７等は正規型電極指、３０８は共
振現象をていする弾性表面波の分極波Ｐの波形、３０９
．３１０等は共通電極の分布抵抗ｒ、３２０，３２１等
は正規型電極指の直下に発生する電界強度Ｅの方向と大
きさである。特に３３０，３３１等は、入力、出力側の
バスバー導体が接地された領域の示す電界である。
バスバー導体の幅は充分広いため分布抵抗はほぼ零と考
えてよいので省略しである。まず３２０と３２１等の電
界Ｅ、 はＥ、＝ （Ｖ−ＶＯ，）／２押Ｖ／２で与、
ｔ ラｔＬ６．又、Ｅ、＝Ｖ、、／’２Ｆ与えられる。
えてよいので省略しである。まず３２０と３２１等の電
界Ｅ、 はＥ、＝ （Ｖ−ＶＯ，）／２押Ｖ／２で与、
ｔ ラｔＬ６．又、Ｅ、＝Ｖ、、／’２Ｆ与えられる。
このＥ２の向きはＥ、と逆向きとなることに注意を要す
る。Ｅ２は３０８の弾性表面波の変位ｕ、の位相と１８
０°逆相となる弾性表面変位ｕ２を新たに励振する。従
ってｕ、 十ｕ、の和はＵ、より小さくなり従来より急
速な弾性表面波の振幅減衰が得られてエネルギ閉込効果
が増すことになる。
る。Ｅ２は３０８の弾性表面波の変位ｕ、の位相と１８
０°逆相となる弾性表面変位ｕ２を新たに励振する。従
ってｕ、 十ｕ、の和はＵ、より小さくなり従来より急
速な弾性表面波の振幅減衰が得られてエネルギ閉込効果
が増すことになる。
［発明の効果］
以上述べたように本発明によれば、正規型電極を分割し
て構成することにより、弾性表面波の伝播路の状態を一
様に保って変動させないため良好な共振現象が実現でき
る他、共通電極に発生する電圧をエネルギ閉込効果の増
大に使うためＱ値の高いフィルタが実現される。さらに
又、共通電極に発生する電圧が、フィルタへの流入電流
に合せて増加する結果、過大な励振電圧にも破壊しにく
い弾性表面波フィルタを市場に提供できる。さらには、
製造に於て電極パターンが基本的に正蜆型ｉ極構造をと
るため、ホトエツチングの電極加工が均一にでき、バラ
ツキの少ない弾性表面波フィルタを市場に提供できる。
て構成することにより、弾性表面波の伝播路の状態を一
様に保って変動させないため良好な共振現象が実現でき
る他、共通電極に発生する電圧をエネルギ閉込効果の増
大に使うためＱ値の高いフィルタが実現される。さらに
又、共通電極に発生する電圧が、フィルタへの流入電流
に合せて増加する結果、過大な励振電圧にも破壊しにく
い弾性表面波フィルタを市場に提供できる。さらには、
製造に於て電極パターンが基本的に正蜆型ｉ極構造をと
るため、ホトエツチングの電極加工が均一にでき、バラ
ツキの少ない弾性表面波フィルタを市場に提供できる。
第１図は本発明の弾性表面波フィルタの電極構造の一実
施例を示す平面図、第２図は第１図実施例が示す特性図
、第３図は第１図実施例の動作を示す説明図である。 １００・・・・・・・圧電体平板 １２０．１２１・・・正規型電極指 １２２・・・・・・・共通電極 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
施例を示す平面図、第２図は第１図実施例が示す特性図
、第３図は第１図実施例の動作を示す説明図である。 １００・・・・・・・圧電体平板 １２０．１２１・・・正規型電極指 １２２・・・・・・・共通電極 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (1)
- 圧電体平板上に、相隣接して２つの弾性表面波共振子を
構成し両者の弾性的横結合効果を利用して二重モードフ
ィルタとする弾性表面波フィルタに於て、前記弾性表面
波の電極が、圧電体平板上に金属膜で形成され、平行に
配置する２つの正規型電極指を電気的に直列接続とした
上でさらに、接続された電極指のバスバー導体を一体化
して共通電極として、前記共通電極の両端に接続してケ
ースに接地するための第１と第２の接地端子部を設ける
他、前記２つの正規型電極指の電気的に開放された電極
に接続して各々入力、出力端子部を形成し、さらにまた
前記入力と出力側の正規型電極指のバスバー導体を各々
２ヶ所で切断した上で、両端のバスバー導体を前記第１
と第２の接地端子部に接続したことを特徴とする弾性表
面波フィルタの電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18970490A JPH0478212A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | 弾性表面波フィルタの電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18970490A JPH0478212A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | 弾性表面波フィルタの電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478212A true JPH0478212A (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=16245802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18970490A Pending JPH0478212A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | 弾性表面波フィルタの電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0478212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210010314A (ko) | 2019-07-19 | 2021-01-27 | 아즈빌주식회사 | 발진 회로 |
-
1990
- 1990-07-18 JP JP18970490A patent/JPH0478212A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210010314A (ko) | 2019-07-19 | 2021-01-27 | 아즈빌주식회사 | 발진 회로 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1075154A (ja) | 音波フィルタ | |
| US6127769A (en) | Surface acoustic wave device | |
| JPH1075155A (ja) | 音波フィルタ | |
| US20220123727A1 (en) | Electromechanical device with adjustable resonance frequency | |
| US12425001B2 (en) | Acoustic wave device and ladder filter | |
| JPS62188512A (ja) | 表面弾性波共振器、表面弾性波共振器フイルタおよびこれらの製造方法 | |
| EP1005153A3 (en) | Surface acoustic wave filter | |
| JPH1093388A (ja) | 差分入力および／または差分出力並置結合型表面弾性波フィルタおよびその方法 | |
| US6172580B1 (en) | Surface acoustic wave ladder filter with specific gap length between electrode tips and the opposing bus bar | |
| US20250260388A1 (en) | Acoustic wave device | |
| JP3253568B2 (ja) | 多段接続型弾性表面波フィルタ | |
| JPH0478212A (ja) | 弾性表面波フィルタの電極構造 | |
| TW587367B (en) | Edge reflection type surface acoustic wave filter | |
| JP2000312125A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS61158207A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0652853B2 (ja) | 反射器型高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタの電極構造 | |
| JP3595034B2 (ja) | 三重モード圧電フィルタ及びその周波数調整方法 | |
| JPH07303023A (ja) | 表面弾性波共振器 | |
| KR910003441B1 (ko) | 탄성표면파 필터 | |
| JPH0423444B2 (ja) | ||
| JP2542348B2 (ja) | 表面弾性波多重モ―ドフィルタ | |
| US20240030885A1 (en) | Acoustic wave device | |
| JP2547718B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH0435515A (ja) | 表面弾性波装置 | |
| JP3355039B2 (ja) | 弾性表面波デバイス |