JPH0478524B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0478524B2 JPH0478524B2 JP60143860A JP14386085A JPH0478524B2 JP H0478524 B2 JPH0478524 B2 JP H0478524B2 JP 60143860 A JP60143860 A JP 60143860A JP 14386085 A JP14386085 A JP 14386085A JP H0478524 B2 JPH0478524 B2 JP H0478524B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- wafer
- height
- guide plate
- pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Framework For Endless Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、例えばLSI用ウエハのような被搬
送物を搬送するウエハ搬送装置に関し、さらに詳
細には、異サイズの複数種類のウエハを搬送可能
なウエハ搬送装置に関する。
送物を搬送するウエハ搬送装置に関し、さらに詳
細には、異サイズの複数種類のウエハを搬送可能
なウエハ搬送装置に関する。
［従来の技術］
例えばウエハの異物検査システムにおいて、ウ
エハを検査部へ搬入したり、検査部からウエハを
搬出したりするためのウエハ搬送装置は、搬送ベ
ルトの両側にガイド板を配置し、そのガイド板に
より搬送中のウエハの側面を案内するようになつ
ている。ガイド板は、ウエハのサイズ別に複数種
類用意されており、搬送すべきウエハのサイズに
適合したガイド板を搬送ベルトの両側に取り付
け、ガイド板間隔をウエハのサイズに合わせてい
る。
エハを検査部へ搬入したり、検査部からウエハを
搬出したりするためのウエハ搬送装置は、搬送ベ
ルトの両側にガイド板を配置し、そのガイド板に
より搬送中のウエハの側面を案内するようになつ
ている。ガイド板は、ウエハのサイズ別に複数種
類用意されており、搬送すべきウエハのサイズに
適合したガイド板を搬送ベルトの両側に取り付
け、ガイド板間隔をウエハのサイズに合わせてい
る。
［解決しようとする問題点］
このように、従来は、複数種類のガイド板を用
意しなければならず、その保管や製作のコストな
どの面で好ましくなかつた。
意しなければならず、その保管や製作のコストな
どの面で好ましくなかつた。
またウエハ・サイズの変更の度に、ガイド板を
交換しなければならないという不便があつた。そ
の交換作業にかなり時間がかかるため、ウエハの
サイズがしばしば変更になるような場合、ガイド
板の交換のための動作停止時間が長いという問題
があつた。
交換しなければならないという不便があつた。そ
の交換作業にかなり時間がかかるため、ウエハの
サイズがしばしば変更になるような場合、ガイド
板の交換のための動作停止時間が長いという問題
があつた。
このよな問題を解決するために、ウエハサイズ
に対応してガイドレールを複数、幅方向に設けて
選択的にガイドレールを上下に進退させてガイド
させることも考えられるが、複数のガイドレール
の進退は、発塵のもとになり、ウエハ搬送上好ま
しくない。さらに、複数のガイドレールは、それ
ぞれのガイドレールの幅方向の調整が必要にな
り、それぞれにおいてその設定と解除との制御が
必要になることから構造が複雑になる欠点があ
る。
に対応してガイドレールを複数、幅方向に設けて
選択的にガイドレールを上下に進退させてガイド
させることも考えられるが、複数のガイドレール
の進退は、発塵のもとになり、ウエハ搬送上好ま
しくない。さらに、複数のガイドレールは、それ
ぞれのガイドレールの幅方向の調整が必要にな
り、それぞれにおいてその設定と解除との制御が
必要になることから構造が複雑になる欠点があ
る。
［発明の目的］
この発明の目的は、部品を交換することなく、
複数種類の異サイズのウエハに対応できるように
し、前述のような問題点を解決したウエハ搬送装
置を提供することにある。
複数種類の異サイズのウエハに対応できるように
し、前述のような問題点を解決したウエハ搬送装
置を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
この目的を達成するために、この発明によれ
ば、このウエハ搬送装置は、ウエハ搬送路と、こ
のウエハ搬送路の少なくとも片側に平行に配置さ
れ、ほぼウエハの厚さに対応する高さでウエハの
サイズに対応して順次ウエハ搬送路からの距離が
異なる複数の案内面を有する階段状の案内部材
と、この案内部材の高さを案内面の高さに対応し
て垂直な方向にシフトさせる高さ調節機構とを備
えて構成される。
ば、このウエハ搬送装置は、ウエハ搬送路と、こ
のウエハ搬送路の少なくとも片側に平行に配置さ
れ、ほぼウエハの厚さに対応する高さでウエハの
サイズに対応して順次ウエハ搬送路からの距離が
異なる複数の案内面を有する階段状の案内部材
と、この案内部材の高さを案内面の高さに対応し
て垂直な方向にシフトさせる高さ調節機構とを備
えて構成される。
［作 用］
このように階段状の案内部材を設けることによ
り、案内部材、いわゆるガイドレールが１つで済
み、幅方向にガイドレールを移動させるようなガ
イドではないので、ガイドレール自体の幅方向の
位置ずれは生じない。したがつて、正確な位置で
ウエハを搬送することができる。また、上下方向
の移動は、ほぼウエハの厚さ対応の移動で済むた
め、ストロークが小さく、機構が簡単で小型にな
り、これによる発塵もほとんど生じない。
り、案内部材、いわゆるガイドレールが１つで済
み、幅方向にガイドレールを移動させるようなガ
イドではないので、ガイドレール自体の幅方向の
位置ずれは生じない。したがつて、正確な位置で
ウエハを搬送することができる。また、上下方向
の移動は、ほぼウエハの厚さ対応の移動で済むた
め、ストロークが小さく、機構が簡単で小型にな
り、これによる発塵もほとんど生じない。
［実施例］ 以下、図面を参照し、この発明の一
実施例につき詳細に説明する。
実施例につき詳細に説明する。
第１図は、この発明によるウエハ搬送装置の概
略平面図である。この図において、ウエハの搬送
路１０には、１対の搬送ベルト１２が設けられて
おり、その両側には、１対の案内板１４が設けら
れている。
略平面図である。この図において、ウエハの搬送
路１０には、１対の搬送ベルト１２が設けられて
おり、その両側には、１対の案内板１４が設けら
れている。
第２図は第１図の−線断面図であり、案内
板１４と、それを高さ調節可能に支持する手段を
示している。図示のように、案内板１４には、搬
送路１０からの距離が異なる３つの案内面１６，
１８，２０が階段状に形成されている。各案内面
は、それぞれ異なつたサイズのウエハに対応付け
られている。すなわち、対向する１対の案内面１
６の間隔L1が最小サイズのウエハの直径より微
小量だけ大きく、案内面１８の間隔L2が中サイ
ズのウエハの直径より微小量だけ大きく、下段の
案内面２０の間隔L3の間隔が最大サイズの直径
よりわずかに大きくなるように、案内板１４の配
置および各案内面の形成位置が選ばれている（第
１図）。
板１４と、それを高さ調節可能に支持する手段を
示している。図示のように、案内板１４には、搬
送路１０からの距離が異なる３つの案内面１６，
１８，２０が階段状に形成されている。各案内面
は、それぞれ異なつたサイズのウエハに対応付け
られている。すなわち、対向する１対の案内面１
６の間隔L1が最小サイズのウエハの直径より微
小量だけ大きく、案内面１８の間隔L2が中サイ
ズのウエハの直径より微小量だけ大きく、下段の
案内面２０の間隔L3の間隔が最大サイズの直径
よりわずかに大きくなるように、案内板１４の配
置および各案内面の形成位置が選ばれている（第
１図）。
なお、第２図に示すように、各案内面１６，１
８，２０は、ほぼウエハ４０の厚さに対応する程
度の高さの側面となつている。
８，２０は、ほぼウエハ４０の厚さに対応する程
度の高さの側面となつている。
案内板１４に形成された貫通孔２２に、径大頭
部２４を有する高さ調節ピン２６が挿通され、そ
の下端部分は固定板２８の貫通孔３０を介してス
リーブ３２に挿入せしめられている。このスリー
ブ３２は固定板２８に固着されており、その下端
には、第３図、第２図に示すように、深さの異な
る複数の溝が形成されている。３４Ａは最も浅い
溝であり、３４Ｂは溝３４Ａよりも案内面の高さ
分だけ深い溝であり、また３４Ｃは溝３４Ｂより
も案内面の高さ分だけ深い溝である。高さ調節ピ
ン２６の下端には、それらの溝に係止する１対の
係止ピン３６が突設されている。
部２４を有する高さ調節ピン２６が挿通され、そ
の下端部分は固定板２８の貫通孔３０を介してス
リーブ３２に挿入せしめられている。このスリー
ブ３２は固定板２８に固着されており、その下端
には、第３図、第２図に示すように、深さの異な
る複数の溝が形成されている。３４Ａは最も浅い
溝であり、３４Ｂは溝３４Ａよりも案内面の高さ
分だけ深い溝であり、また３４Ｃは溝３４Ｂより
も案内面の高さ分だけ深い溝である。高さ調節ピ
ン２６の下端には、それらの溝に係止する１対の
係止ピン３６が突設されている。
また第４図（第１図の−線概略断面図）に
示すように、各案内板１４には、ガイドピン４２
が２本、下向きに植設されている。ベース板２８
には、ガイドピン４２が嵌挿されるガイドスリー
ブ４４が設けられている。これらガイドピン４２
および高さ調節ピン２６には、案内板１４を押し
上げるための圧縮ばね３８が挿着されている。
示すように、各案内板１４には、ガイドピン４２
が２本、下向きに植設されている。ベース板２８
には、ガイドピン４２が嵌挿されるガイドスリー
ブ４４が設けられている。これらガイドピン４２
および高さ調節ピン２６には、案内板１４を押し
上げるための圧縮ばね３８が挿着されている。
以上の構成において、高さ調節ピン２６を、そ
の径大頭部２４を持つて押し下げると（案内板１
４も、ガイドピン４２およびガイドスリーブ４４
に案内されながら、ばね３８に抗して下降する）、
または案内板１４を直接押し下げると（高さ調節
ピン２６も自重により下降する）、係止ピン３６
がスリーブ３２の溝から脱出するので、高さ調節
ピン２６は回転可能となる。この状態で径大頭部
２４を持つて高さ調節ピン２６を所定の角度に回
し、径大頭部２６を放すと、押し上げばねの力に
より、案内板１４とともに高さ調節ピン２４が押
し上げられ、係止ピン３６が所望の溝３４に入り
係止される。
の径大頭部２４を持つて押し下げると（案内板１
４も、ガイドピン４２およびガイドスリーブ４４
に案内されながら、ばね３８に抗して下降する）、
または案内板１４を直接押し下げると（高さ調節
ピン２６も自重により下降する）、係止ピン３６
がスリーブ３２の溝から脱出するので、高さ調節
ピン２６は回転可能となる。この状態で径大頭部
２４を持つて高さ調節ピン２６を所定の角度に回
し、径大頭部２６を放すと、押し上げばねの力に
より、案内板１４とともに高さ調節ピン２４が押
し上げられ、係止ピン３６が所望の溝３４に入り
係止される。
例えば係止ピン３６を中間の深さの溝３４Ｂに
係止させた場合、案内板１４は第２図に示す高さ
に保持される。この場合、中段の案内面１８が有
効となり、搬送ベルト１２上を搬送されるウエハ
４０の側面に案内面１８が対向する。したがつ
て、両方の案内板１４をこの中間高さに調節すれ
ば、中間サイズのウエハを案内面１８で案内しな
がら搬送することができる。
係止させた場合、案内板１４は第２図に示す高さ
に保持される。この場合、中段の案内面１８が有
効となり、搬送ベルト１２上を搬送されるウエハ
４０の側面に案内面１８が対向する。したがつ
て、両方の案内板１４をこの中間高さに調節すれ
ば、中間サイズのウエハを案内面１８で案内しな
がら搬送することができる。
高さ調節ピン２６の係止ピン３６を最も浅い溝
３４Ａに係止させると、案内板１４は最も低い位
置に保持され、上段の案内面２０がウエハの側面
に対向する位置に来る。したがつて、両方の案内
板１４をこの高さに調節すれば、最大のウエハの
搬送が可能となる。
３４Ａに係止させると、案内板１４は最も低い位
置に保持され、上段の案内面２０がウエハの側面
に対向する位置に来る。したがつて、両方の案内
板１４をこの高さに調節すれば、最大のウエハの
搬送が可能となる。
係止ピン３６を最も深い溝に係止させれば、案
内板１４は最も高い位置に保持され、下段の案内
面１６が有効となる。最小のウエハを搬送する場
合、両方の案内板１４を、最も高い位置に調節す
ればよい。
内板１４は最も高い位置に保持され、下段の案内
面１６が有効となる。最小のウエハを搬送する場
合、両方の案内板１４を、最も高い位置に調節す
ればよい。
このように、案内板１４の高さを調節するだけ
で、３種類の異サイズのウエハの搬送が可能であ
り、ウエハの種類変更にも迅速容易に対応でき
る。
で、３種類の異サイズのウエハの搬送が可能であ
り、ウエハの種類変更にも迅速容易に対応でき
る。
なお、搬送ベルト１２の駆動機構の詳細説明は
割愛する。
割愛する。
ここで、前記実施例においては、搬送路の両側
に高さ調節可能な案内板１４が設けられている
が、搬送路の一方の側に固定の案内部材を設け、
他方の側に前記案内板１４または同様の高さ調整
可能な案内部材を設けることも可能である。
に高さ調節可能な案内板１４が設けられている
が、搬送路の一方の側に固定の案内部材を設け、
他方の側に前記案内板１４または同様の高さ調整
可能な案内部材を設けることも可能である。
前記実施例の案内板１４には３つの案内面が形
成されていたが、２つまたは４つ以上の案内面を
形成してもよい。
成されていたが、２つまたは４つ以上の案内面を
形成してもよい。
前記案内板１４は一体構造であつたが、例えば
３枚の幅の異なる板を重ね合わせて作ることも可
能である。
３枚の幅の異なる板を重ね合わせて作ることも可
能である。
搬送ベルトの代わりに、他の搬送手段を用いる
こともできる。
こともできる。
さらに、傾斜した搬送面に沿つて、ウエハを自
重により滑走させて搬送するようなウエハ搬送装
置においても、この発明を適用できる。その場
合、搬送面の片側または両側に前記案内板１４の
ような高さ調整可能な案内部材を設ければよい。
重により滑走させて搬送するようなウエハ搬送装
置においても、この発明を適用できる。その場
合、搬送面の片側または両側に前記案内板１４の
ような高さ調整可能な案内部材を設ければよい。
前記の案内板１４の高さ調節手段は、構造が簡
易で高さ調節操作も簡単であるが、これに限定さ
れるものではなく、適宜変更してもよい。
易で高さ調節操作も簡単であるが、これに限定さ
れるものではなく、適宜変更してもよい。
［発明の効果］
この発明は以上説明した通りであるから、案内
部材の高さを調節するだけで、異サイズのウエハ
に容易かつ迅速に対応することができるようにな
り、また、案内部材は複数サイズに共通に利用さ
れるため、従来のようにサイズ別に何種類も用意
する必要がなくなり、その保管や製作のコストを
削減できる、などの効果が得られる。また、上下
方向の移動は、ほぼウエハの厚さ対応の移動で済
むため、ストロークが小さく、機構が簡単で小型
になり、これによる発塵もほとんど生じない。し
たがつて、ウエハの搬送に適する搬送装置が実現
できる。
部材の高さを調節するだけで、異サイズのウエハ
に容易かつ迅速に対応することができるようにな
り、また、案内部材は複数サイズに共通に利用さ
れるため、従来のようにサイズ別に何種類も用意
する必要がなくなり、その保管や製作のコストを
削減できる、などの効果が得られる。また、上下
方向の移動は、ほぼウエハの厚さ対応の移動で済
むため、ストロークが小さく、機構が簡単で小型
になり、これによる発塵もほとんど生じない。し
たがつて、ウエハの搬送に適する搬送装置が実現
できる。
第１図は、この発明によるウエハ搬送装置の概
略平面図、第２図は第１図−線概略断面図、
第３図は第２図のＡ矢視図、第４図は第１図の
−線概略断面図である。 １０…搬送路、１２…搬送ベルト、１４…案内
板、１６，１８，２０…案内面、２６…高さ調節
ピン、３２…スリーブ、３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ
…溝、３６…係止ピン、３８…ばね、４２…ガイ
ドピン、４４…ガイドスリーブ。
略平面図、第２図は第１図−線概略断面図、
第３図は第２図のＡ矢視図、第４図は第１図の
−線概略断面図である。 １０…搬送路、１２…搬送ベルト、１４…案内
板、１６，１８，２０…案内面、２６…高さ調節
ピン、３２…スリーブ、３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ
…溝、３６…係止ピン、３８…ばね、４２…ガイ
ドピン、４４…ガイドスリーブ。
Claims (1)
- １ ウエハ搬送路と、このウエハ搬送路の少なく
とも片側に平行に配置され、ほぼウエハの厚さに
対応する高さで前記ウエハのサイズに対応して順
次前記ウエハ搬送路からの距離が異なる複数の案
内面を有する階段状の案内部材と、この案内部材
の高さを前記案内面の高さに対応して垂直な方向
にシフトさせる高さ調節機構とを備えることを特
徴とするウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14386085A JPS6212509A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14386085A JPS6212509A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | ウェハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6212509A JPS6212509A (ja) | 1987-01-21 |
| JPH0478524B2 true JPH0478524B2 (ja) | 1992-12-11 |
Family
ID=15348657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14386085A Granted JPS6212509A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6212509A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01179166A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 両極性帯電型電子写真感光体 |
| US8132666B2 (en) | 2004-09-01 | 2012-03-13 | Zepf Technologies Uk Limited | Adjustable conveyor guide |
| GB0419393D0 (en) * | 2004-09-01 | 2004-10-06 | Diageo Plc | Adjustable conveyor guide |
| FR3037329A1 (fr) * | 2015-06-10 | 2016-12-16 | Sidel Participations | Dispositif pour le transport de corps creux comportant un col, notamment des preformes ou des recipients |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS579287Y2 (ja) * | 1979-08-24 | 1982-02-23 | ||
| JPS57121197U (ja) * | 1981-01-21 | 1982-07-28 |
-
1985
- 1985-07-02 JP JP14386085A patent/JPS6212509A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6212509A (ja) | 1987-01-21 |
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