JPH04799A - 電子部品実装装置 - Google Patents
電子部品実装装置Info
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- JPH04799A JPH04799A JP2014999A JP1499990A JPH04799A JP H04799 A JPH04799 A JP H04799A JP 2014999 A JP2014999 A JP 2014999A JP 1499990 A JP1499990 A JP 1499990A JP H04799 A JPH04799 A JP H04799A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は、吸着手段により電子部品を真空吸着保持し、
基板上に搭載する電子部品実装装置に係り、特に吸着手
段の状態良否や電子部品の吸着状態の良否を判定する手
段を有する電子部品実装装置に関する。 （従来の技術） 従来の電子部品実装装置において吸着保持された電子部
品の吸着状態の良否判定は、吸着手段中心に対する電子
部品の位置ずれによって生じる吸着孔からのエア漏れを
真空度低下として真空センサにより検知し、その検知結
果を吸着状態の良否判定基準に適用する方法が用いられ
ていた。 （発明が解決しようとする課題） しかし、上記従来の電子部品の吸着状態の良否判定では
、第４図（ｂ）に示すような吸着手段（以下、ノズルと
いう）の吸着孔をふさぐ状態で電子部品を吸着保持した
場合、電子部品が正常に吸着されなくても吸着状態から
「良」と判定され、基板に搭載されてしまうので、電子
部品の実装位置ずれや吸着位置すれ等が発生していた。 また、従来の電子部品実装装置には、ノズルが部品供給
部から部品を取り出す時や基板上に部品を搭載する時に
部品表面に接触するためノズルの先端が徐々に磨耗し、
部品搭載ミスを起こすなどの問題があったがこの磨耗状
態は目視で判断されたり、部品装着ミスによるトライの
状況によって判断される場合が多く、人手に頼っていた
。 さらに、従来の電子部品実装装置の吸着状態の良否判定
では、第８図に示すような真空吸着時にノズルに半田、
接着剤などの粘着性物質やごみなどを吸い込みノズルつ
まりを起こす場合、真空度が高くなり、部品を保持して
いなくても吸着保持していると判断することがあり、装
着安定性に欠くため、ノズルの状態を常に管理する必要
があった。 そこで、発明の目的は、上記問題点を鑑みて、電子部品
を真空吸着により保持させる場合に、電子部品の吸着状
態の良否を適確に判定したり、リズルの磨耗量の検知、
ノズルのつまり等のノズル状態の適確に判定できる電子
部品実装装置を提供することにある。 ［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するために、［電子部品を真
空吸着保持する吸着手段と、この吸着手段及び前記電子
部品の有無を検出する有無検出手段と、前記吸着手段の
位置を検出する位置検出手段と、前記吸着手段の基準位
置を設定記憶する基準位置設定手段と、前記位置検出手
段からの検出信号と前記基準位置設定手段からの出力信
号とを比較演算する比較手段と、この比較手段からの出
力信号と前記有無検出手段からの検出信号とを基に、前
記吸着手段に真空吸着保持された前記電子部品の吸着状
態の良否及び前記吸着手段の状態の良否のうち少なくと
もどちらか一方を判断する判断手段とを具備した電子部
品実装装置」及び、 「少なくとも１つの吸着孔を有し、電子部品を真空吸着
保持する吸着手段と、この吸着手段及び前記電子部品の
有無を検出する有無検出手段と、前記吸着手段の真空状
態を検出する真空検出手段と、前記有無検出手段からの
検出信号と前記真空検出手段からの検出信号を基に、前
記吸着手段の吸着孔の状態を判定する判定手段とを具備
した電子部品実装装置」を提供する。 （作用） このように構成された電子部品実装装置は、予め設定記
憶された吸着手段の上下基準位置等の情報により、吸着
手段の基準位置と電子部品を真空吸着した吸着手段り実
検出位置とを比較し、両者が同−或いは両者の差が許容
範囲で、かつ吸着手段に電子部品が吸着されたことを検
出したとき電子部品が正常に吸着手段に吸着されたと判
定する。また、予め設定記憶された他の吸着手段の基準
位置情報により、第２の吸着手段の基準位置と吸着手段
の実検出位置とを比較し、両者の間に差が生じ、かつ吸
着手段に電子部品が吸着されていないことを検出したと
き、その差を吸着手段先端部の磨耗量として算出できる
。更に、電子部品が吸着されていないことを検出したと
き真空状態を検出した場合、吸着手段の吸着孔の異常を
検知することができる。 （実施例） 本発明の一実施例を図面を用いて説明する。 第１図及び第２図に示すように、本実施例の電子部品実
装装置のヘッド部は、電子部品の供給部と基板との間を
移動する移動体１には、基枠２が固定されている。この
基枠２の側部に取付けられた軸受装置３には、外軸４が
回転可能に挿通支持されており、この外軸４に内軸５が
スプライン係合により上下動可能に挿通支持されている
。なお、外軸４はプーリ６に掛けられるベルトを介して
モータ（いずれも図示せず）により回転されるようにな
っており、その外軸４の回転は内軸５にスプライン係合
によって伝達される。 上記内軸５の下端部には、電子部品をいわゆる真空吸引
により吸着するノズル７が取付けられており、そのノズ
ル７は内輪５の上端部に取付けられる吸気装置としての
真空発生装置Ａに接続されるようになっている。また、
外軸４の下端部にはガイド盤８が取付けられており、そ
のガイド盤８の下面にはノズル７に吸着された電子部品
の位置決めを行うための位置決め部材たる４個の爪部材
９が前後方向及び左右方向に移動可能に支持され、また
、その外側には、ノズル７及びノズル７に真空吸着され
た電子部品Ｅを検出する有無検出器１０が設けられてい
る。これら爪部材９は、ガイド盤８の上部のレバー支え
１１に軸１２を介して支持されたレバー１３に連結され
、このレバー１３の回動により前後方向及び左右方向に
移動される。 一方、基枠２の後部には、減速機を内蔵した第１及び第
２のモータ１４及び１５が取付けられており、その回転
軸１４ａ、１５ａは基枠２の前部に配設された第１及び
第２のカム軸１６及び１７にカップリング１６ａ、１７
ａにより連結されている。そして、第１及び第２のカム
軸１６及び１７には、略円形をなす第１及び第２のカム
１８及び１９が偏心状態に取付けられている。この第１
及び第２のカム１８及び１９に接触する第１及び第２の
カムフォロアたる第１及び第２のローラ２０及び２１は
、第１及び第２のアーム２２及び２３に設けられている
。この第１及び第２のアーム２２及び２３は、基枠２の
上下両側に軸２４及び２５により回動可能に支持され、
引張りコイルばね２６及び２７により第１及び第２のロ
ーラ２０及び２１を第１及び第２のカム１８及び１９に
押し付ける方向に回動付勢されている。そして、第１及
び第２のアーム２２及び２３の一端部にはローラ２８及
び２９か設けられている。このうち第１のアーム２２の
ローラ２８は内軸５の上方部に取付けられた第１の受は
リング３０の上下両フランジ３０ａ及び３０ｂ間に配置
されている。また、第２のアーム２３のローラ２９は外
軸４の下方部に上下動可能に支持された第２の受はリン
グ３１の上下両フランジ３１ａ及び３１ｂ間に配置され
ている。この第２の受はリング３１の下方には、外軸４
に上下動可能に支持された昇降リング３２が配置されて
おり、この昇降リング３２と第２の受はリング３１との
間には、外軸４に挿入保持された圧縮コイルばね３３に
よって連結されている。 そして、昇降リング３２に取付けられた膨突子３４をレ
バー１３に連結し、昇降リング３２の上下動に応動して
レバー１３が回動するように構成されている。従って、
第１のカム１８の回転に伴う第１のローラ２０の変位は
、変位伝達手段すなわち第１のアーム２２、第１の受は
リング３０．内軸５を介してノズル７に伝達されてこの
ノズル７が上下動し、また第２のカム１９の回転に伴う
第２のローラ２１の変位は、変位伝達手段すなわち第２
のアーム２３、第２の受はリング３１、圧縮コイルばね
３３、昇降リング３２、レバー１３を介して爪部材９に
伝達されてこの爪部材９が前後方向及び左右方向に移動
するようになっている。 また、第１の受はリング３０の上フランジ３０ａの上端
部にベルトガイド３５を設け、このベルトガイド３５に
ベルト３６を通し、このベルト３６を介して内軸５の上
下移動量を検出し、間接的にノズル７の位置を検出する
上下位置検出器３７を有している。さらに、真空状態を
検出する真空検出器３８が、真空発生装置Ａに設けられ
ている。 そして、有無検出器］０．上下位置検出器３７゜真空検
出器３８からの各検出信号を基に、電子部品の吸着姿勢
の良否、ノズル状態の良否等を判定する判定手段３９及
び各種情報を入力記憶する記憶手段４０がマイクロコン
ピュータなどで構成された制御装置内に設けられている
。 このように構成されたものにおいては、以下のように電
子部品の吸着姿勢の良否、ノズル状態の良否等が判定さ
れる。 まず、電子部品の吸着状態の良否判定について、第３図
及び第４図を用いて説明する。 予め初期状態の第１のモータ１４の回転角度とこの角度
に対応したノズル７の位置を上下位置検出器３７を介し
て記憶手段４０に記憶させる。このとき、第１のモータ
１４の回転角度とノズル７の上下位置を一致させている
。次に、有無検出器１０によりノズル７に電子部品が吸
着されているか否かを検出する。そして、電子部品がノ
ズル７に吸着されていることを検出した場合、記憶手段
４０に記憶された電子部品を正常に吸着したときのノズ
ル７の基準位置（ａ）のデータを呼び出す。 さらに、実際に電子部品を吸着したノズル７の位置（ｂ
）を上下位置検出器３７により検出する。 その後、呼び出されたノズル７の基準位置（ａ）のデー
タとノズル７の位置（ｂ）の検出値とを比較し、両者が
一致したときはノズル７に電子部品が正常に吸着されて
いると判定し、一致しないときは正常に吸着されていな
いと判定する。なお、この判定においては、両者の差に
許容範囲をもたせ、その範囲内に両者の差があるときは
正常に吸着されているとしても良い。 次に、ノズル７の状態良否の判定について、第５図乃至
第８図を用いて説明する。 第５図及び第６図を用いて、ノズル７の先端磨耗による
状態良否判定について述べる。 まず、予め電子部品を吸着していない状態でノズル７の
先端に磨耗が生じていないときのノズル７の基準位置（
ａ）のデータを記憶手段４０に記憶させる。次に、有無
検出器１０によりノズル７に電子部品が吸着されていな
いことを確認する。 電子部品がノズル７に吸着されていない状態を確認した
ら、ノズル７の実基準位置（ｂ）を上下位置検出器３７
により検出する。その後、判定手段３９は記憶手段４０
に記憶されたノズル７の基準位置（ａ）のデータを呼び
出し、上下位置検出器３７からのノズル７の実基準位置
の検出値と比較し、両者の差Ｂを算出する。この差Ｂが
ノズル磨耗量である。そして、このノズル磨耗量Ｂを摩
耗量許容限度値りと比較し、ノズル磨耗量Ｂがこの許容
値限度以内にあれば、ノズル７の交換が不要であり、許
容値限度外であればノズル７を交換すると判定する。 次に、第７図及び第８図を用いて、ノズル７のつまり状
態の判定について述べる。 まず、有無検出器１０により電子部品がノズル７に吸着
されていないことを確認する。次に、真空検出器３８に
よりノズル７の真空度を検出する。 そして、判定手段３９は、有無検出器１０と真空検出器
３８とからの検出信号を基に、ノズル７に電子部品が吸
着されていないにもかかわらず、所定の真空度を検出し
た場合、ノズル７に形成された孔Ｈが何らかの原因でつ
まっていると判定する。 ［発明の効果］ 以上述べたように、本発明によれば以下の効果を奏する
。 （１）吸着手段の高さ位置情報を把握し、部品吸着後の
吸着手段の高さと比較することにより、電子部品の吸着
状態の良否を適確に判定できるので、部品が正しく位置
規制された部品のみを基板に実装するため安定性が増し
、装着ミスが少なくなる。 （２）吸着手段の先端の磨耗を検出し、管理することに
より目視による判断または、これを原因とした装着ミス
を事前に防止することができる。 （３）吸着手段のつまりを検出することにより、吸着手
段内径の変化による影響を排除し、部品取り込みを確実
に検知し部品の装着安定性を保つことができる。
基板上に搭載する電子部品実装装置に係り、特に吸着手
段の状態良否や電子部品の吸着状態の良否を判定する手
段を有する電子部品実装装置に関する。 （従来の技術） 従来の電子部品実装装置において吸着保持された電子部
品の吸着状態の良否判定は、吸着手段中心に対する電子
部品の位置ずれによって生じる吸着孔からのエア漏れを
真空度低下として真空センサにより検知し、その検知結
果を吸着状態の良否判定基準に適用する方法が用いられ
ていた。 （発明が解決しようとする課題） しかし、上記従来の電子部品の吸着状態の良否判定では
、第４図（ｂ）に示すような吸着手段（以下、ノズルと
いう）の吸着孔をふさぐ状態で電子部品を吸着保持した
場合、電子部品が正常に吸着されなくても吸着状態から
「良」と判定され、基板に搭載されてしまうので、電子
部品の実装位置ずれや吸着位置すれ等が発生していた。 また、従来の電子部品実装装置には、ノズルが部品供給
部から部品を取り出す時や基板上に部品を搭載する時に
部品表面に接触するためノズルの先端が徐々に磨耗し、
部品搭載ミスを起こすなどの問題があったがこの磨耗状
態は目視で判断されたり、部品装着ミスによるトライの
状況によって判断される場合が多く、人手に頼っていた
。 さらに、従来の電子部品実装装置の吸着状態の良否判定
では、第８図に示すような真空吸着時にノズルに半田、
接着剤などの粘着性物質やごみなどを吸い込みノズルつ
まりを起こす場合、真空度が高くなり、部品を保持して
いなくても吸着保持していると判断することがあり、装
着安定性に欠くため、ノズルの状態を常に管理する必要
があった。 そこで、発明の目的は、上記問題点を鑑みて、電子部品
を真空吸着により保持させる場合に、電子部品の吸着状
態の良否を適確に判定したり、リズルの磨耗量の検知、
ノズルのつまり等のノズル状態の適確に判定できる電子
部品実装装置を提供することにある。 ［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するために、［電子部品を真
空吸着保持する吸着手段と、この吸着手段及び前記電子
部品の有無を検出する有無検出手段と、前記吸着手段の
位置を検出する位置検出手段と、前記吸着手段の基準位
置を設定記憶する基準位置設定手段と、前記位置検出手
段からの検出信号と前記基準位置設定手段からの出力信
号とを比較演算する比較手段と、この比較手段からの出
力信号と前記有無検出手段からの検出信号とを基に、前
記吸着手段に真空吸着保持された前記電子部品の吸着状
態の良否及び前記吸着手段の状態の良否のうち少なくと
もどちらか一方を判断する判断手段とを具備した電子部
品実装装置」及び、 「少なくとも１つの吸着孔を有し、電子部品を真空吸着
保持する吸着手段と、この吸着手段及び前記電子部品の
有無を検出する有無検出手段と、前記吸着手段の真空状
態を検出する真空検出手段と、前記有無検出手段からの
検出信号と前記真空検出手段からの検出信号を基に、前
記吸着手段の吸着孔の状態を判定する判定手段とを具備
した電子部品実装装置」を提供する。 （作用） このように構成された電子部品実装装置は、予め設定記
憶された吸着手段の上下基準位置等の情報により、吸着
手段の基準位置と電子部品を真空吸着した吸着手段り実
検出位置とを比較し、両者が同−或いは両者の差が許容
範囲で、かつ吸着手段に電子部品が吸着されたことを検
出したとき電子部品が正常に吸着手段に吸着されたと判
定する。また、予め設定記憶された他の吸着手段の基準
位置情報により、第２の吸着手段の基準位置と吸着手段
の実検出位置とを比較し、両者の間に差が生じ、かつ吸
着手段に電子部品が吸着されていないことを検出したと
き、その差を吸着手段先端部の磨耗量として算出できる
。更に、電子部品が吸着されていないことを検出したと
き真空状態を検出した場合、吸着手段の吸着孔の異常を
検知することができる。 （実施例） 本発明の一実施例を図面を用いて説明する。 第１図及び第２図に示すように、本実施例の電子部品実
装装置のヘッド部は、電子部品の供給部と基板との間を
移動する移動体１には、基枠２が固定されている。この
基枠２の側部に取付けられた軸受装置３には、外軸４が
回転可能に挿通支持されており、この外軸４に内軸５が
スプライン係合により上下動可能に挿通支持されている
。なお、外軸４はプーリ６に掛けられるベルトを介して
モータ（いずれも図示せず）により回転されるようにな
っており、その外軸４の回転は内軸５にスプライン係合
によって伝達される。 上記内軸５の下端部には、電子部品をいわゆる真空吸引
により吸着するノズル７が取付けられており、そのノズ
ル７は内輪５の上端部に取付けられる吸気装置としての
真空発生装置Ａに接続されるようになっている。また、
外軸４の下端部にはガイド盤８が取付けられており、そ
のガイド盤８の下面にはノズル７に吸着された電子部品
の位置決めを行うための位置決め部材たる４個の爪部材
９が前後方向及び左右方向に移動可能に支持され、また
、その外側には、ノズル７及びノズル７に真空吸着され
た電子部品Ｅを検出する有無検出器１０が設けられてい
る。これら爪部材９は、ガイド盤８の上部のレバー支え
１１に軸１２を介して支持されたレバー１３に連結され
、このレバー１３の回動により前後方向及び左右方向に
移動される。 一方、基枠２の後部には、減速機を内蔵した第１及び第
２のモータ１４及び１５が取付けられており、その回転
軸１４ａ、１５ａは基枠２の前部に配設された第１及び
第２のカム軸１６及び１７にカップリング１６ａ、１７
ａにより連結されている。そして、第１及び第２のカム
軸１６及び１７には、略円形をなす第１及び第２のカム
１８及び１９が偏心状態に取付けられている。この第１
及び第２のカム１８及び１９に接触する第１及び第２の
カムフォロアたる第１及び第２のローラ２０及び２１は
、第１及び第２のアーム２２及び２３に設けられている
。この第１及び第２のアーム２２及び２３は、基枠２の
上下両側に軸２４及び２５により回動可能に支持され、
引張りコイルばね２６及び２７により第１及び第２のロ
ーラ２０及び２１を第１及び第２のカム１８及び１９に
押し付ける方向に回動付勢されている。そして、第１及
び第２のアーム２２及び２３の一端部にはローラ２８及
び２９か設けられている。このうち第１のアーム２２の
ローラ２８は内軸５の上方部に取付けられた第１の受は
リング３０の上下両フランジ３０ａ及び３０ｂ間に配置
されている。また、第２のアーム２３のローラ２９は外
軸４の下方部に上下動可能に支持された第２の受はリン
グ３１の上下両フランジ３１ａ及び３１ｂ間に配置され
ている。この第２の受はリング３１の下方には、外軸４
に上下動可能に支持された昇降リング３２が配置されて
おり、この昇降リング３２と第２の受はリング３１との
間には、外軸４に挿入保持された圧縮コイルばね３３に
よって連結されている。 そして、昇降リング３２に取付けられた膨突子３４をレ
バー１３に連結し、昇降リング３２の上下動に応動して
レバー１３が回動するように構成されている。従って、
第１のカム１８の回転に伴う第１のローラ２０の変位は
、変位伝達手段すなわち第１のアーム２２、第１の受は
リング３０．内軸５を介してノズル７に伝達されてこの
ノズル７が上下動し、また第２のカム１９の回転に伴う
第２のローラ２１の変位は、変位伝達手段すなわち第２
のアーム２３、第２の受はリング３１、圧縮コイルばね
３３、昇降リング３２、レバー１３を介して爪部材９に
伝達されてこの爪部材９が前後方向及び左右方向に移動
するようになっている。 また、第１の受はリング３０の上フランジ３０ａの上端
部にベルトガイド３５を設け、このベルトガイド３５に
ベルト３６を通し、このベルト３６を介して内軸５の上
下移動量を検出し、間接的にノズル７の位置を検出する
上下位置検出器３７を有している。さらに、真空状態を
検出する真空検出器３８が、真空発生装置Ａに設けられ
ている。 そして、有無検出器］０．上下位置検出器３７゜真空検
出器３８からの各検出信号を基に、電子部品の吸着姿勢
の良否、ノズル状態の良否等を判定する判定手段３９及
び各種情報を入力記憶する記憶手段４０がマイクロコン
ピュータなどで構成された制御装置内に設けられている
。 このように構成されたものにおいては、以下のように電
子部品の吸着姿勢の良否、ノズル状態の良否等が判定さ
れる。 まず、電子部品の吸着状態の良否判定について、第３図
及び第４図を用いて説明する。 予め初期状態の第１のモータ１４の回転角度とこの角度
に対応したノズル７の位置を上下位置検出器３７を介し
て記憶手段４０に記憶させる。このとき、第１のモータ
１４の回転角度とノズル７の上下位置を一致させている
。次に、有無検出器１０によりノズル７に電子部品が吸
着されているか否かを検出する。そして、電子部品がノ
ズル７に吸着されていることを検出した場合、記憶手段
４０に記憶された電子部品を正常に吸着したときのノズ
ル７の基準位置（ａ）のデータを呼び出す。 さらに、実際に電子部品を吸着したノズル７の位置（ｂ
）を上下位置検出器３７により検出する。 その後、呼び出されたノズル７の基準位置（ａ）のデー
タとノズル７の位置（ｂ）の検出値とを比較し、両者が
一致したときはノズル７に電子部品が正常に吸着されて
いると判定し、一致しないときは正常に吸着されていな
いと判定する。なお、この判定においては、両者の差に
許容範囲をもたせ、その範囲内に両者の差があるときは
正常に吸着されているとしても良い。 次に、ノズル７の状態良否の判定について、第５図乃至
第８図を用いて説明する。 第５図及び第６図を用いて、ノズル７の先端磨耗による
状態良否判定について述べる。 まず、予め電子部品を吸着していない状態でノズル７の
先端に磨耗が生じていないときのノズル７の基準位置（
ａ）のデータを記憶手段４０に記憶させる。次に、有無
検出器１０によりノズル７に電子部品が吸着されていな
いことを確認する。 電子部品がノズル７に吸着されていない状態を確認した
ら、ノズル７の実基準位置（ｂ）を上下位置検出器３７
により検出する。その後、判定手段３９は記憶手段４０
に記憶されたノズル７の基準位置（ａ）のデータを呼び
出し、上下位置検出器３７からのノズル７の実基準位置
の検出値と比較し、両者の差Ｂを算出する。この差Ｂが
ノズル磨耗量である。そして、このノズル磨耗量Ｂを摩
耗量許容限度値りと比較し、ノズル磨耗量Ｂがこの許容
値限度以内にあれば、ノズル７の交換が不要であり、許
容値限度外であればノズル７を交換すると判定する。 次に、第７図及び第８図を用いて、ノズル７のつまり状
態の判定について述べる。 まず、有無検出器１０により電子部品がノズル７に吸着
されていないことを確認する。次に、真空検出器３８に
よりノズル７の真空度を検出する。 そして、判定手段３９は、有無検出器１０と真空検出器
３８とからの検出信号を基に、ノズル７に電子部品が吸
着されていないにもかかわらず、所定の真空度を検出し
た場合、ノズル７に形成された孔Ｈが何らかの原因でつ
まっていると判定する。 ［発明の効果］ 以上述べたように、本発明によれば以下の効果を奏する
。 （１）吸着手段の高さ位置情報を把握し、部品吸着後の
吸着手段の高さと比較することにより、電子部品の吸着
状態の良否を適確に判定できるので、部品が正しく位置
規制された部品のみを基板に実装するため安定性が増し
、装着ミスが少なくなる。 （２）吸着手段の先端の磨耗を検出し、管理することに
より目視による判断または、これを原因とした装着ミス
を事前に防止することができる。 （３）吸着手段のつまりを検出することにより、吸着手
段内径の変化による影響を排除し、部品取り込みを確実
に検知し部品の装着安定性を保つことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は本発
明の一実施例を示す側面図、第３図及び第４図は本発明
の一実施例である電子部品の吸着状態の良否判定を示す
図、第５図及び第６図は本発明の一実施例であるノズル
の先端磨耗による状態良否判定を示す図、第７図及び第
８図は本発明の一実施例であるノズルのつまり状態の判
定を示す図である。 ７・・・ノズル、 １０・・・有無検出器。 ３７・・・上下位置検出器、 ３８・・・真空検出器
。 ３９・・・判定手段、 ４０・・・記憶手段代理人
弁理士 則 近 憲 佑 同 第 子 丸 健第 図 第８図 第２図 第Ｊ図 第７図 第 図 （α） （ｂ） 第４図 （α） ｔｂン 第６図 第８図 ヰ寺ｌ午庁長官 殿 平成 年 月 日 １、事件の表示 平成 ２年！を寺言午願第１４９９９号 ２゜ 発明の名称 電子部品実装装置 ３゜ 補正をする者 事件との間イ系 特ｊ′＋比願人 株式会社 東芝 ４゜ 代 理 人 平成 ３年 ７月３０日 く発ｊム日） ６゜ 補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄 ７、補正の内容 （１）明細書の図面の簡単な説明の欄をｇｌ１紙の通り
補正する。 以 上 別紙
明の一実施例を示す側面図、第３図及び第４図は本発明
の一実施例である電子部品の吸着状態の良否判定を示す
図、第５図及び第６図は本発明の一実施例であるノズル
の先端磨耗による状態良否判定を示す図、第７図及び第
８図は本発明の一実施例であるノズルのつまり状態の判
定を示す図である。 ７・・・ノズル、 １０・・・有無検出器。 ３７・・・上下位置検出器、 ３８・・・真空検出器
。 ３９・・・判定手段、 ４０・・・記憶手段代理人
弁理士 則 近 憲 佑 同 第 子 丸 健第 図 第８図 第２図 第Ｊ図 第７図 第 図 （α） （ｂ） 第４図 （α） ｔｂン 第６図 第８図 ヰ寺ｌ午庁長官 殿 平成 年 月 日 １、事件の表示 平成 ２年！を寺言午願第１４９９９号 ２゜ 発明の名称 電子部品実装装置 ３゜ 補正をする者 事件との間イ系 特ｊ′＋比願人 株式会社 東芝 ４゜ 代 理 人 平成 ３年 ７月３０日 く発ｊム日） ６゜ 補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄 ７、補正の内容 （１）明細書の図面の簡単な説明の欄をｇｌ１紙の通り
補正する。 以 上 別紙
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は本発
明の一実施例を示す側面図、第３図及び第４図は本発明
の一実施例である電子部品の吸着状態の良否判定を示す
図、第５図及び第６図は本発明の一実施例であるノズル
の先端磨耗による状態良否判定を示す図、第７図及び第
８図は本発明の一実施例であるノズルのつまり状態の判
定を示す図、第９図は本発明の一実施例であるノズルの
つまり状態の判定を示すフローチャートである。
明の一実施例を示す側面図、第３図及び第４図は本発明
の一実施例である電子部品の吸着状態の良否判定を示す
図、第５図及び第６図は本発明の一実施例であるノズル
の先端磨耗による状態良否判定を示す図、第７図及び第
８図は本発明の一実施例であるノズルのつまり状態の判
定を示す図、第９図は本発明の一実施例であるノズルの
つまり状態の判定を示すフローチャートである。
Claims (2)
- １．電子部品を真空吸着保持する吸着手段と、この吸着
手段及び前記電子部品の有無を検出する有無検出手段と
、前記吸着手段の位置を検出する位置検出手段と、前記
吸着手段の基準位置を設定記憶する基準位置設定手段と
、前記位置検出手段からの検出信号と前記基準位置設定
手段からの出力信号とを比較演算する比較手段と、この
比較手段からの出力信号と前記有無検出手段からの検出
信号とを基に、前記吸着手段に真空吸着保持された前記
電子部品の吸着状態の良否及び前記吸着手段の状態の良
否のうち少なくともどちらか一方を判断する判断手段と
を具備したことを特徴とする電子部品実装装置。 - ２．少なくとも１つの吸着孔を有し、電子部品を真空吸
着保持する吸着手段と、この吸着手段及び前記電子部品
の有無を検出する有無検出手段と、前記吸着手段の真空
状態を検出する真空検出手段と、前記有無検出手段から
の検出信号と前記真空検出手段からの検出信号を基に、
前記吸着手段の吸着孔の状態を判定する判定手段とを具
備したことを特徴とする電子部品実装装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014999A JP2790694B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 電子部品実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014999A JP2790694B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 電子部品実装装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04799A true JPH04799A (ja) | 1992-01-06 |
| JP2790694B2 JP2790694B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=11876620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014999A Expired - Fee Related JP2790694B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 電子部品実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2790694B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000156600A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品実装機 |
| JP2002280795A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装機 |
| DE102021111842A1 (de) | 2020-05-15 | 2021-11-18 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Brennstoffzellenstapel |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7198188B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2022-12-28 | シチズンファインデバイス株式会社 | ワーク保持装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63186499A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-02 | 株式会社日立製作所 | 電子部品装着装置における吸着ノズル摩耗の自動補正方法 |
| JPH01228735A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-12 | Yamagata Kashio Kk | 電子部品搭載機における部品吸着判定方法 |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP2014999A patent/JP2790694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63186499A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-02 | 株式会社日立製作所 | 電子部品装着装置における吸着ノズル摩耗の自動補正方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2000156600A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品実装機 |
| JP2002280795A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装機 |
| DE102021111842A1 (de) | 2020-05-15 | 2021-11-18 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Brennstoffzellenstapel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2790694B2 (ja) | 1998-08-27 |
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