JPS63202097A - 部品装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、チップコンデンサやチップ抵抗のような小型
の部品を基板に装着する装置に関する。

〈口〉　従来の技術 と記の如き装置においては、真空吸着装置により部品の
ピックアンドプレースを行なうのが一般的である。そし
て、吸着した部品を、吸着姿勢判別とか、真空吸着装置
に対する位置ずれ量検出の目的を持って、視覚センサで
監視する技術も、良く知られるところになっている。前
者の例としては特開昭５９−１５５１９９号公報記載の
装置を、後者の例として特開昭５９−８４４９９号公報
ないし特開昭６０−２８２９８号公報記載の装置を、そ
れぞれ挙げることができる。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 特開昭５９−１５５１９９号公報記載の装置のように、
視覚センサが部品を横方向（水平方向）から監視するも
のにあっては、真空吸着装置の、特にノズル先端の高さ
と、視覚センサの高さの整合が問題になる。ノズル交換
等の理由でノズルの先端高さがそれまでと異なった場合
には、部品が正規の監視領域からはみ出し、思いもよら
ない判定結果あるいは測定結果をもたらしかねない。本
発明は、このような真空吸着装置の先端高さの変動に対
応できる装置を提供しようとするものである。

（ニ）問題点を解決するための手段 本発明では、真空吸着装置に吸着された部品を水平方向
から監視する視覚センサを、支持レベル可変な視覚セン
サ支持装置に支持させる。また真空吸着装置を支持する
移動装置に対する真空吸着装置の先端高さを測定する測
定装置と、この測定装置の測定データに基き視覚センサ
支持装置を制御する制御装置を設ける。

（ホ）作用 測定装置は個々の真空吸着装置につき、定期的に、また
は何らかの状態変化要因が発生する度に、その先端高さ
を測定する。その測定結果に基き制御装置が視覚センザ
支持装置に制御指令を発し、視覚センサの支持レベルを
、その真空吸着装置に対し適正であると認められる高さ
に調整する。

くべ）実施例 以下一実施例を図に基い工説明する。　＜１０＞は移動
装置であるが、その構造は第２図及び第４図により良く
理解されるだろう。移動装置（１０）はロータリーイン
デックステーブルの一種であり、一定方向に間歇回転を
行なう。移動装置（１０〉は上部回転体（１１）と下部
回転体（１２）を有し、これらはいずれも平面形状円形
で、垂直なインデックスシャフト（１３）に固定されて
いる。インデックスシャフト（１３）は図示しないイン
デックス装置から立ち上がり、移動装置（１０）の上に
差し掛けられた支持デツキ（１４）の軸受部（１５）に
上端を支えられている。インデックスシャフト（１３）
の内部には、図示しない真空源に連通ずる吸気路（１６
）が形設され−〔いる。

移動装置（１０）は８分の１回転、すなわち４５″′づ
つ歩道回転するものであり、周囲には、第２図に示すよ
うに、計８個所の作業ステーション（Ｉ＞・・・（■）
を配している。そして作業ステーションの数に合わせ、
下部回転体（１２）から、計８本のアーム（１７）が等
間隔で放射状に突出している。アーム（１７）は下部回
転体（１２）の周面に垂直に取り付けたスライダ（１８
）に支持され、垂直方向に移動可焼である。スライダ（
１８）は、上部回転体（１１）との間に張り渡した引張
フィルばね（１９）により、上部回転体（１１）にねじ
込んだストッパボルト（２０）（第１図に示す）に当た
るまで引き上げられている。スライダ（１８）は外向き
にローラ（２１）を突出させており、所定の作業ステー
ションで昇降体がローラ（２１〉を押し、スライダ（１
８）を降下させる。昇降体とそお動作機構については後
述する。

アームク１７）が支持する部材、及びアーム（１７）自
身からなる構造体を、真空吸着装置（３０）と総称する
。真空吸着装置（３０）の詳細構造は次のようになって
いる。　（３１）はアーム（１７）の先端に支持された
タレットである。タレット（３１）は円筒形をしていて
、アーム（１７）の先端に外側から嵌合し、アーム（１
７）の軸線まわりに、すなわち水平軸まわりに、回転可
能である。クレット（３１）の、外向きの端面には従動
ギヤ（３２）が固設きれる。タレット（３１）の周面か
らは、主に太さの面で規格の異なる４種類のノズル（３
３）（３４）（３５）（３６）が９０°間隔で放射状に
突出している。各ノズルはいずれもタレット（３１）の
中心方向に退避可能であり、圧縮コイルばね（３７）に
より突出位置に押し出されている。アーム（１７）の中
心は吸気路（３８）となっている。この吸気路（３８）
は、ノズル（３３）（３４）（３５）（３６）の内、真
下に来たものとのみ、連通孔（３９）を介して連通する
。（４０）は吸気路＜３８）の端を泰ぐねし栓で、タレ
ット〈３１）の抜は止めとしての役割も果たす。

上部回転体（１１）はバルブ（５０〉を支持する。ハル
ブク５０）はアーム（１７〉と同数設けられており、吸
気路（３８）とホース（５１）で接続する。バルブ＜５
０）はホース（５２）により吸気路＜１６）に連結して
おり、吸気路（３８〉の吸引を０Ｎ−ＯＦＦ制御するも
のである。バルブ＜５０）の開閉操作は先端にローラを
有寸るレバー形アクデュエータ＜５３）によって行なう
。

すなわちアクチュエータ（５３）を押し下げた時がバＩ
レブ開、そうでない時が／＜ルブ閉である。アクチュエ
ータ（５３）の制御は、作業ステーション（ｆ）におい
てはエアシリンダ（５４）によって上下する押圧子（５
５）により、作業ステーション（Ｖ）及び（Ｖｆ）にお
いてエアシリンダ（５６）によって上下する押圧子（５
７）により、その間の作業ステーション（′ｌ）（ｍ）
（ＩＶ）においては軸受部（１５）に固定した抑圧板（
５８）により、それぞれ行なう。抑圧板＜５８）はエア
ー・リンダ（５４）（５６）の支持部材を兼ね、また押
圧子（５５）（５７）は降下した時その下面が抑圧板り
５８）の下面にほぼ連続する平面を構成するようになっ
ている。各バルブ（５０）がその属するアームク１７）
に対し遅れ位置に配されているので、押圧子（５５）＜
５７）もその属する作業ステーションより偏位した位置
にある。

作業ステーション（■）（以後部品供給ステーションと
呼ぶ）には部品供給装置（６０）を配置する６部品供給
装置（６０）は部品供給用キャリヤテープ（６１）を１
ピツチづつ送り、部品（６２）を１個づつ真空吸着手段
（３０）に供給する。キャリヤテープ＜６１）は、プラ
スチックシートを工ンボスカロエして部品（６２）を１
個づつ収納する凹所をつくり、その上をプラスチックの
カバーフィルム（６３）で覆ったものである。スプロケ
ット（６４）（爪は描いていない）に引かれて上下−一
対の案内板（６５）（６６）の間をくぐり抜けて来たキ
ャリヤテープ（６１）は、部品吸着位置の直前でカバー
フィルム（６３〉を剥がされて行く。部品供給装置（６
０〉はこのようなキ・ヤリャテーブク６１〉を第４図の
紙面と直角方向に多数並べており、全体を紙面と直角方
向に動かすことにより、必要とする部品を成紙したキャ
リヤテープ（６１）を選択できるようになっている。

作業ステーション（■）（以後部品装着ステーションと
呼ぶ）にはｖ、１図に示すように基板（７１〉を載せる
基板支持装置（７０）を配置する。基板支持装置（７０
＞はＸＹテーブルと一般に呼ばれるもので、Ｘ４ｔｈ電
動機り７２）とＹ動電動機（７３）により、図示しない
ボールねじ機構を介して、水平面内を２次元的に移動せ
しめられる。基板〈７１）には部品（６２〉を仮保持す
るための接着剤が所定個所に塗られている。

作業ステーション（■〉（以後ノズル選択ステー：／ヨ
〉・と呼ぷ）には第６、第８図に示すノズル選択装置（
８０〉を配置する。ノズル選択装ｆｉ！＜８０）は支持
デツキ（１４〉に支持部せたエレベータ（８１）を主た
る構成要素としている。エレベータ（８１）は垂直方向
に摺動するスライダ（８２）に取り付けられており、図
示しないカムの動きを伝えるレバー（８３）によって昇
降動作を与えられる。エレベータ（８１）の下部にはセ
レクタギヤ（８４）が、移動装置（１０）の回転中心を
向く形で水平に軸支されている。セレクタギヤ（８４）
はエレベータ（８１）に支持された電動機（８５〉にベ
ベルギヤ（８６）（８７）を介して連結し、エレベータ
（８１）が降下するとタレット（３１）の従動ギヤ（３
２）にかみ合い、従動ギヤ（３２〉に電動機（８５）の
回転を伝える。（８Ｂ）はエレベータ（８１）の降下の
下限を定めるストッパである。

アーム（１７〉の上面にはロックピン（９０）を装着す
る。ロックピン（９０〉はアーム（１７〉に固定したホ
ルダ（９１）に、アーム（１７）の軸線と平行にスライ
ドできるよう保持され、タレット（３１〉の方へ圧縮コ
イルばね（９２）で押されている。タレット（３１）の
端面には、ロックピン（９０）の先端を受は入れる溝（
９３）を、ノズル（３３）（３４）（３５）（３６）の
背後に各１条づつ、計４条形設する。ロックピン（９０
）の後端にはＵ字形のレバー受（９４）と固定する。レ
バー受（９４）は支持デツキ（１４）に支持きれたベル
クランク形し／＜　−＜９５）の一端を受は入れる。レ
バーク９５〉の他端は工し・ベーク（８１）にコネクテ
ィングロッド（９６）で連結されている。

部品供給ステーション（Ｉ）、部品装着ステーション（
Ｖ）、及び作業ステーション（Ｉ）（ＩＶ＞（■）には
第４図に示すような昇降体＜１００）を置く。昇降体＜
１００）は支持デツキ（１４）の軸受部（１０１）に支
持されたロンド状部材で、下端にはスライダ（１８）の
ローラ（２１ンに対向する押圧ヘッド（１０２＞を固定
しており、図示しないカムにより上下せしめられる。

作業ステーション（■）（以後部品方向調整ステーショ
ンと呼ぶ）には部品方向調整装置（１１０）（第１図）
を配置Ｖる。部品方向調整装置（１１０）は、円盤状の
回転台（１１１）と、これに点対称的に支持きれた１対
の方向［ＩＩ４整爪（１１２）とを主な構成要素とする
０回転台＜１１１）は周囲に三角形断面のエツジ（１１
３）を有し、これを、図示しない支持構造体に取り付け
た複数個の支持ローラ（１１４）に係合させて、垂直軸
まわりに回転できるよう支持されている。　（１１５）
は回転台（１１１）を回転させるための電動機で、図示
しないベルト（タイミングベルト）により回転台（１１
１）に連結する。方向？Ｉ１４を爪（１１２）は回転台
（１１１）に対し求心方向及び遠心方向にスライド自在
となっており、常時は引張フィルばね（１１６）により
求心方向に引き寄せられている。方向調整酸（１１２）
からは先端にローラ（１１８）を有する脚ｆ！（１１７
）が垂下する。（１１９）は２個のローラ（１１８）の
間に割り込む截頭円錐形のカムで、図示しないカムによ
って上下せしめられ、上昇時、方向１１１ａ爪（１１２
，）の間隔を押し拡げる。

作業ステーション（ＩＶ　）（以後部品認識ステーショ
ンと呼ぶ）には部品認識装置（１２０）（第１図）を配
置する。部品認識装置（１２０）は、視覚センサ（１２
１）と、視覚センサ支持装置（１２２）とを主な構成要
素とする。視覚センサ支持装置（１２２）は回転台（１
１１）と同様のつくりの回転台（１２３）をベースとｔ
、、コレニエレベータ（１２４）を取り付けたものであ
る。回転台（１２３）は、図示しないベルト（タイミン
グベルト）を介して、電動機（１２５）により回転せし
められる。エレベータ（１２４）は、回転台（１２３）
に装着した電動機（１２６）がねじ軸（１２７＞を回転
させることにより、ねし作用で上下する。而して視覚セ
ンサ（１２１）は次のように構成される。すなわち第１
０図に示すように、２個のラインセンサ（１２８）（１
２９）をその配置方向が直交するように置き、これらの
ラインセンサ（１２８）（１２９）に向かい合う形で照
射ユニット＜１３０）、（１３１ンを配置して、四角な
枠組をつくる。ラインセンサ（１２８）（１２９）は、
受光窓（１３２）＜１３３）の内側に、多数の受光素子
を水平方向に並べて配置している。照射ユ：−ット（１
３０）（１３１）は受光窓（１３２）＜１３３）に向は
幅広の平行光を照射する。かかる平行光は、第１１図に
原理の概念を示すように、半導体レーザー（１３４）と
、凹レンズ（１３５）及び凸レンズ＜１３６）ア組み合
わせによって得られるものである。

作業ステーション（■）（以後真空吸着装置高き測定ス
テーションと呼ぶ）には真空吸着装置（３ｏ）の先端、
すなわちノズル（３３）（３４）（３５）（３６）のう
ち下を向いているものの先端の高さを測定する測定装置
（１４０）（第１図）を配置する。これは、ラインセン
サ（１２ｇ）と同様のラインセンサ（１４１＞を、受光
素子が垂直に並ぶように置き、間隔を置いて、照射ユニ
ット（１３０）と同様の照射ユニット（１４２）を向か
い合わせたものである。

（１５０）（第１図）は、各種データの演算処理を含め
、装置全体の制御を司る制御装置、（１６０）（第１５
区）は作業ステーション（ＶＩ）に配置した部品回収箱
である。

部品供給装置＜６０）、部品方向調整装置（１１０）、
部品認識装置（１２０）、基板支持装置（７０）、及び
測定装置（１４０＞の平面的配置関係を示すと第３図の
ようになる。但しこの図は、あくまでも配置関係を説明
するためのものであって、図示の各要素の相互寸法比率
にはとりたてて意味はない。

Ｌ記装置は次のように動作する。第１図は部品供給ステ
ーション〈Ｉ〉、部品方向調整ステーション（ＩＩ）、
部品認識ステーション（ＩＶ）、部品装着ステーション
（Ｖ）、ならびに真空吸着装置高き測定ステーション（
■）において真空吸着装置（３０）に加えられる操作の
状況を示す。部品供給ステーション（Ｉ）に到着した真
空吸着装置（３０）は、図のケースでは、ノズル（３３
）を下に向けた状態で停止する。到着時点では押圧子（
５５）は上昇位置にあり、真空吸着装置（３０）は吸引
力を発生していない。ここで、昇降体（１００）が降下
してスライダ（１８）を押し下げ、ノズル（３３）を部
品＜６２）に押し付ける。この時エアシリンダ（５４）
が制御装置（１５０）からの制御信号によって押圧子（
５５）を降下きせ、バルブ〈５０）は開となり、ノズル
（３３〉は部品（６２）を吸着側る。部品（６２）を吸
着した真空吸着装置（３０）は昇降体（１００）の上昇
と共に上昇し、移動装ｆｆｔ（１０）の間歇回転により
、部品供給ステーション（Ｉ）から部品方向調整ステー
ション（ＩＩ）へと運ばれて行く。

移動中、バルブ（５０）のアクチュエータ（５３）は押
圧板（５８）に押きれ続けており、部品（６２）の吸着
は中断することがない。

部品づ５向調整ステーション（Ｉ［）では、１対の方向
調整爪（１１２）が、カム（１１９）により相互の間隔
を押し拡げられた状態で待機している。このステー′／
−３ンに真空吸着装置（３０）が到着し、昇降体（１０
０）により部品（６２）が方向調整爪ｍ２＞の間に入り
込むところまで降下せしめられると、カム（１１９）が
下がって方向ｉｔ爪（１１２）同士が接近し、部品（６
２）の所定の２辺を挾みつける。キルリヤテープ（６１
）の部品収納用凹所にはゆとりがあるので、真空吸着装
！（３０）に吸着される時の部品（６２）の角度は、一
定範囲のばらつきを有しているが、そのばらつきはこの
時点で矯正される。但し矯正するのは角度だけであって
、ノズル（３３〉の中心と部品り６２）の中心との位置
ずれを矯正することまでは考えていない。このようにし
て吸着角度のばらつきを矯正した後、制御装置（１５０
）からの制御侶号に基きｔ動機＜１１５＞が回転台（１
１１）を回転許せて（あるいけ回転させずして）、その
部品に対する基板上における指定配置角度に部品（６２
〉の向きを合わせる。この場合、当然のことながら、部
品装着ステーション（Ｖ）に到着した時点での部品（６
２）の角度が指定配置角度に一致するよう、方向ｉｕを
行なう、方向調整完了後、カム（１１９）が上昇して方
向調整爪（１１２）を部品（６２）から離脱移せ、真空
吸着装置（３０）は上昇する０部品（６２）が方向調整
爪（１１２）の間から脱は出して行った後、カム（１１
９）が降下してローラ（１１８）から離れ、電動機（１
１５）は回転台（１１１）を待機位置の角度に復婦させ
、カム（１１９）が再び上昇して、次の部品（６２）に
備えるべく方向調整爪（１１２）を押し開く。

部品方向調整ステーション（ＩＩ）を離れた真空吸着装
置（３０）は、作業ステーション（１）を経て部品認識
ステーション（ＩＶ）に到着し、昇降体＜１００）によ
り一定高さまで降下せしめられる。この場合、昇降体（
１００）の昇降ストロークが定まっているから一定と言
うのであって、真空吸着装置（３０）の先端たるノズル
端において高さが一定になるようにするということでは
ない、真空吸着装ｆｆ（３０）の降下により、部品＜６
２）は視覚センサ（１２１＞の部品認識領域のただ中に
突入する。部品認識領域、すなわち照射ユニ・ｌト（１
３０）がラインセンサ（１２８）に向け、照射ユニッ１
−（１３１）がラインセンサ（１２９）に向け、各々平
行光を照射している領域に入り込んだ部品（６２）は、
第１２図に示すように、ラインセンサ（１２８）（１２
９）に自己のシルエット〈平行斜線で示す）を投じる。

視覚センサ（１２１）に対する、すなわちラインセンサ
（１２８）（１２９）に対するノズルの平面的位置関係
は一定不変のこととされているから、ラインセンサ（１
２８）（１２９）でシルエットの位置を計測すれば、ノ
ズル（３３）に対する部品（６２）の位置ずれ且を計測
できることになる。計測データは制御装置（１５０）に
云えられる。なお、部品（６２）のＸ、　Ｙ２方向の位
置ずれ量を正確に知るためには、部品（６２）の直交す
る２辺の延在方向と、ラインセンサ（１２８）（１２９
）の配置方向とが、一致している、言葉を変えれば平行
であることが望ましい。このため、視覚センサ（１２１
）は予め部品（６２）の向きに自己の向きを一致させて
待機している。すなわち、部品方向調整ステーション（
Ｉｆ）で部品（６２）の角度をどのように設定したかに
より、それに応じた方向制御指令が制御装置（１５０）
から電動機（１２５）に与えられ、Ｔ動１！（１２５）
は視覚センサ支持装置０２２）を所定角度回転させる。

視覚センサ（１２１）の方向変更範囲は９０°あれば十
分で、特にそれ以上大きくとる必要はない、このように
して、ラインセンサ（１２８）（１２９）を部品（６２
）の辺と平行に置いた状態で計測した結果は制御装置（
１５０）に伝えられ、これに基き制御装置（１５０）は
、基板支持装置（７０）の移動１をどのように補正した
ら良いかを演算する。計測完了後、真空吸着装置（３０
）は上昇し、視覚センサ（１２１）は、次に到来する部
品（６２）に備えてそれに応わしい方向を向く。

真空吸着装！（ａＯ）が部品装着ステーション（Ｖ）に
到着した時点では、基板支持装置（７０）は既に基板（
７１）を、部品（６２）を装着すべき個所をノズル（・
３３）の真下に位置づけて、待機している。もちろんこ
の場合、制御装ＷＬ（１５０）からＸ軸重動機〈７２）
及びＹ軸重動機（７３）に与える指令には部品〈６２）
の位置ずれデータを織り込み済みで、基板支持装置（７
０）は位置ずれに見合う分だけ補正された位置に停止し
ている。ここで昇降体（１００）が真空吸着装ｆｔ（３
０）を降下させ、部品（６２）を、基板（７１）の所定
位置に、所定角度で押し付ける。押圧子（５７）は、真
空吸着装置（３０）が部品装着ステーション（Ｖ）に到
着する時点では降下位置にあ−）て部品（６２）の吸着
を維持させているが、部品（６２）が基板（７１）上の
接着剤に押し付けられた時点で第１図のように上昇し、
ノズル（３３）の吸引を断つ。従ってこの後真空吸着装
置（３０）が上昇する折には、部品（６２）は接着剤の
粘着力で基板（７１）の表面に残留するものである。

部品装着ステーション（Ｖ）を離れた真空吸着装ｅ（３
０）は作業ステーション（ＶＩ）を経てノズル選択ステ
ーション（■）に至る。ノズル選択ステーション（■〉
に真空吸着装置（３０）が到着した時点では、セレクタ
ギヤ（８４）は第６図に示すように従動ギヤ（３２）の
上方にあり、レバー（９５〉の先端はレバー受（９４〉
の中に入り込んでいる。ロックピン（９０）は第７図の
ように溝り９３）に係合しており、タレット（３１〉を
しっかりと固定している。ここで、使用するノズルを（
３３）から他のものに変える必要が生じたときは、第８
図のようにエレベータ（８１〉が降下し、セレクタギＴ
＜８４＞を従動ギヤ（３２）にかみ合わせる。エレベー
タ（８１）の下降によりレバーク９５）も回動し、ロッ
クピン（９０）を圧縮コイルばね（９２）に抗しスライ
ドさせる。これによりロソクピ〕ノ（９０〉は溝（９３
）から抜は出し、タレット（３１）は回転可能となる。

この状態で電動機（８５）を駆動し、タレット（３１）
を所有角度回転させる。タレット（３１〉の角度変更を
終えた後エレベータ（８１）を上昇させると、レバー（
９５）が旧位置に復帰してロックピン（９０）が再び溝
（９３）に係合し、タレット（３１〉をロックするもの
である。

ノズル選択ステーンヨン（■）を離れた真空吸着装置＜
３０）は最後の作業ステーションである真空吸着装置高
き測定ステーション（■）に到着する。ここで真空吸看
ｊｆ；装置（３０〉は、昇降体（１００）により、一定
ストローク分だけ降下せしめられる。下向きになってい
るノズルは、これにより照射ユニット（１４２）とライ
ンセンサ（１４１）の間に入り込み、ラインセンサ（１
４１）によって先端の高啓を測定される。測定データは
制御装置（１５０）に伝えられ、これに基き制御装置（
１５０）は、部品認識ステーション（ＩＶ）において視
覚センサ（１２１）がこのノズルを迎え入れる際、視覚
センサ（１２１＞の支持レベルを、ノズルの先端の高さ
に合わせて、丁度このノズルに吸着きれた部品（６２）
の、その生部く計測に関し最も重要な意味を持つ部分）
をラインセンサ（１２８）（１２９）が水平力向から監
視することになるよう、ｙ４ｔする。この場合、部品（
６２）の形状データも考慮対象となる。これは、電動ａ
（１２６）に指令を与えてエレベータ（１２４）を上下
させることにより達成される。このようにするのは、タ
レットク３１）の中心から７′ズル先端までの距離を一
定の小さな公差内に保つことは、ノズル先端つぶれ等の
理由で新造ノズルに交換したり、あるいは別種の部品に
対応するため別種、ノズルに交換する場合、非常に困難
だからである。

さて真空吸着装置（３０）は、部品供給装置（６０）か
ら部品（６２）を吸い上げる駅であるが、時として、キ
ャリヤテープ（６１）の送り運動のため部品り６２）が
はね上がる等の理由により、部品（６２）の、木来吸い
１寸けるべきでない側面を吸い付けてしまうことがある
。このように異常姿勢で吸着された部品（６２〉は、装
着に到らせることなく排除しなければならない。部品（
６２〉の姿勢が正常であるか異常であるかは視覚センサ
（１２１）の計測データから判定する。第１２図のよう
にラインセンサ＜１２８）＜１２９）に部品（６２）の
シルエットを投影すると、シルエットの位置と長さが計
測データとして得られることになる。この長さデータに
基き、制御装置（１５０）で部品（６２）の周囲方向長
き量（水平方向のもの）を求めることができる。第１３
図に示す正常姿勢の場合と、第１４図に示す異常姿勢の
場合とでは、得られる結果に顕著な差が生じるから、こ
れをもって容易に正常・異常を判定できる。正常姿勢の
場合の周囲方向長さと異常姿勢の場合の周囲方向長さの
差が小さい、すなわち立方体に近い形状の部品というの
は殆んど例を見ないから、この判定手法は有効である。

部品姿勢が異常であるとの演算結果を得た場合には、制
御装置（１５０）は、その部品（６２）を装着対象から
除外する。すなわち、部品装着ステージ５ンに配置きれ
た昇降体（１００）の駆動機構と、エアシリンダ（５６
）とに指令を発し、真空吸着装置（３０）が部品装着ス
テーション（Ｖ）に到着しても、これを降下させず、ま
た部品（６２）の吸着を終了させもしない、第１５図に
示すように、この真空吸着装置ｆ（３０）が作業ステー
ション（ＶＩ）に移ってしまうまで、押圧子（５７）は
降下状態を保つ。入れ替りに部品装着ステーション（Ｖ
）に到着した真空吸着装ｇＬ（３０）に対し通常の装着
操作が加えられ、押圧子（５７）が上昇して基板（７１
）に付着した部品（６２）に対する吸着を解除した時点
で、作業ステーション（ＶＩ）においても部品装着が解
除され、異常姿勢の部品（６２〉は部品回収箱（１６０
）に投棄される。装着し損ねた分の部品（６２）につい
ては、直ちに装着プログラムが変更され、部品〈６２）
を投棄した真空吸着装置１ｉ（３０）によって、あるい
は他の真空吸着装置（３０）によってでも良いが、同種
の部品（６２）を指定個所に装着し直す回復措置がとら
れる。

（ト）発明の効果 本発明では、真空吸着装置に吸着きれた部品を水平方向
から監視する視覚センサを備えたものにおい工、真空吸
着装置の先端高さを測定装置で測定し、そのデータに基
き視覚センサ支持レベルを変えるようにしたから、監視
範囲の幅が」二下方向に関して狭い、例えば水平配置の
ラインセンサのようなものを視覚センサとして用いる場
合であっても、真空吸着装置の先端の高さの変化にかか
わらず監視対象を見失うことがなく、良くその任務を果
たさせることができる。

【図面の簡単な説明】

図は１本発明の一実施例を示し、第１図は主な作業ステ
ーションにおける工程の推移を示す説明用展開図、第２
図は移動装置の平面図、第３図は主要構成要素の平面的
配置関係を示す説明図、第４区及び第５図は各々別の作
業ステーションにおける、部分的には断面しないで残し
た垂直断面図、第６図はノズル選択装置の側面図、第７
図は第６図に関連した真空吸着装置の平面図、第８図は
第６Ｎと同様ノズル選択装置の側面図にして異なる動作
状態のもの、第９図は第８図に関連した真空吸着装置の
平面図、第１Ｏ図は視覚センサの斜視図、第１１図は視
覚センサの照射ユニットの概要説明図、第１２図、第１
３図、第１４図は視覚センサの計測状況説間図、第１５
図は部品装着ステーションとその後続ステーシボ〉・に
おける特殊状況下での動作を示す説明用展開図である。 ＜１＞・・・部品供給ステーション、（６０）・・・部
品供給装置、（Ｖ）・・・部品装着ステーション、（７
０）・・・基板支持装置、（６２）・・・部品、（７１
〉・・・基板、（３０）・・・真空吸着装置、（１０）
・・・移動装置、＜１２１）・・・視覚センサ、（１２
２）・・・視覚センサ支持袋！、（１４０＞・・・測定
装置、（１５０）・・・制御装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）次の構成要素を備えた部品装着装置。 （ａ）部品供給ステーションに配置した部品供給装置 （ｂ）部品装着ステーションに配置した基板支持装置 （ｃ）前記部品供給装置がら前記基板支持装置上の基板
   へ、部品のピックアンドプレース作業を行なうべく用意
   された真空吸着装置 （ｄ）前記真空吸着装置を、作業ステーションから作業
   ステーションへと移動させる移動装置 （ｅ）前記真空吸着手段に吸着された部品を水平方向か
   ら監視する視覚センサ （ｆ）方向視覚センサを支持レベル可変に支持する視覚
   センサ支持装置 （ｇ）前記移動装置に対する真空吸着装置先端高さを測
   定する測定装置 （ｈ）前記測定装置の測定データに基き、前記視覚セン
   サ支持装置の視覚センサ支持レベルを真空吸着装置先端
   高さに合わせて変更させる制御装置。