JPH0480055U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0480055U JPH0480055U JP12561690U JP12561690U JPH0480055U JP H0480055 U JPH0480055 U JP H0480055U JP 12561690 U JP12561690 U JP 12561690U JP 12561690 U JP12561690 U JP 12561690U JP H0480055 U JPH0480055 U JP H0480055U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hic
- sensor
- semiconductor pressure
- trimming
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である半導体圧力
センサのナンバー記入方法を示す正面図、第２図
は従来の半導体圧力センサのナンバー記入方法を
示す正面図である。 図において、１はセンサ部、２はナンバーシー
ル、３はＨＩＣ部、４はオーバーガラス、５はセ
ンサに対応させたナンバーを示す。なお、図中、
同一符号は同一、または相当部分を示す。
センサのナンバー記入方法を示す正面図、第２図
は従来の半導体圧力センサのナンバー記入方法を
示す正面図である。 図において、１はセンサ部、２はナンバーシー
ル、３はＨＩＣ部、４はオーバーガラス、５はセ
ンサに対応させたナンバーを示す。なお、図中、
同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- センサ部とＨＩＣ部からなる半導体圧力センサ
において、前記センサ部のナンバーに対応したナ
ンバーを前記ＨＩＣの厚膜基板のオーバーガラス
部分にレーザートリマーのトリミングにより記入
することを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12561690U JPH0480055U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12561690U JPH0480055U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0480055U true JPH0480055U (ja) | 1992-07-13 |
Family
ID=31873208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12561690U Pending JPH0480055U (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0480055U (ja) |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP12561690U patent/JPH0480055U/ja active Pending
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