JPH0481641B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はノズルフラツパ機構に関し、一層詳細
には、電気信号を流体圧信号、特に、空気圧信号
に変換する電気信号−空気圧変換装置において、
その変換要素としてのノズルフラツパをバイモル
フ型電歪素子（圧電素子）で構成すると共に、低
電圧の電気信号も可及的に正確に空気圧信号に変
換することの出来る、好適には電気信号−空気圧
変換装置に組み込むことが可能なノズルフラツパ
機構に関する。

［発明の背景］ 従来、電気信号を空気圧に変換する装置として
は、トルクモータが広範に採用されてきた。すな
わち、このトルクモータによれば、モータを構成
するコイルに電流を供給し、この電流値に対応す
る回転力を変位量に変えることによりノイズフラ
ツパ、パイロツト弁等を介して空気圧信号に変換
している。このようなトルクモータを使つて電気
−空気式変換器等の制御機器を構成する場合、ト
ルクモータによつて発生する力が少しでも大きい
方が機械的振動等の影響に対しても強くなり、ま
た、性能的にも安定した製品が得られる。

ところが、最近、制御機器の小型軽量化が要求
されるようになつてきたため、前記トルクモータ
を如何に小型に製作するかが重要な課題になつて
いる。然しながら、トルクモータを小型化すれば
する程、一般的に電流値に対応して発生する力も
小さくなり、この結果、前述した機械的振動等に
対して弱くなり、制御機器の使用条件如何によつ
ては、トルクモータを使用すること自体、技術的
に不可能となる。

そこで、本発明者は電歪素子に着目し、この電
歪素子を利用することによつて、電気信号を空気
圧信号に変換する電気信号−空気圧変換ユニツト
を発明し、特願昭第59−88178号、同第60−23094
号として特許出願を行つている。

すなわち、これらの発明では電歪素子を薄い板
状の矩形型とし、一端を支点として固定すると共
に、他端を自由端として使用するバイモルフ型を
利用している。この場合、前記のように構成され
る電歪素子の一端を固定した状態で電極に電圧を
加えると、その自由端側が僅かに変化する。従つ
て、電歪素子そのものでノズルフラツパを構成し
ておけば、電圧の変化を容易にノズル背圧、すな
わち、空気圧信号に変換することが出来る。

ところで、前記のように構成されるノズルフラ
ツパの電歪素子の固定方法としては、以下のもの
を揚げることが出来る。すなわち、第１図に示す
ように、ノズルフラツパ機構２を構成するベース
４に、このベース４に対して柱体状の第１の固定
板６ａを配設し、この第１固定板６ａに電歪素子
８を載置する。そして、前記第１固定板６ａに穿
設された螺孔に同様な柱体状の第２の固定板６ｂ
を介して一対の締付ビス１０，１０によつて電歪
素子８の一端部を緊締固着する。一方、前記ベー
ス４にはノズル１２を固設し、このノズル１２の
先端部を電歪素子８に近接するよう臨ませてい
る。すなわち、電歪素子８の他端部は自由端とし
て何ら拘束されるものではない。

この場合、第１と第２の固定板６ａ，６ｂは
夫々絶縁部材で構成し、あるいは導体で形成して
もよい。導体で形成した場合には電歪素子８の電
極に接する部分に絶縁シートを介装する必要があ
る。なお、図中、参照符号１４は通電作用下に電
歪素子８が湾曲してノズル１２に接触し、電歪素
子８自体が損傷することのないように設けられて
いるセラミツク等からなる補助プレートを示す。

電歪素子８は第１図に示すような構成が採用さ
れている。すなわち、導電体からなるシム材１６
を矩形状に構成し、このシム材１６の上面と下面
とに接着剤を介して圧電セラミツクス部材１８
ａ，１８ｂを接着している。さらに、前記圧電セ
ラミツクス部材１８ａ，１８ｂを包被して薄膜状
の電極１９ａ，１９ｂが積層されている。図から
容易に諒解されるように、圧電セラミツクス部材
１８ａ，１８ｂは前記シム材１６の大部分の面積
を囲繞する。従つて、第２固定板６ｂを介して締
付ビス１０，１０で第１固定板６ａにこの電歪素
子８を固定しようとする時、電極１９ａ，圧電セ
ラミツクス部材１８ａ，シム材１６，圧電セラミ
ツクス部材１８ｂ，電極１９ｂの順で、この電歪
素子８は第１固定板６ａと第２固定板６ｂとの間
で挟持されるに至る。

そこで、このように固定された電歪素子８に直
流電圧を印加する。その結果、矢印に示すよう
に、圧電セラミツクス部材１８ｂは伸長しようと
し、一方、圧電セラミツクス部材１８ａは収縮し
ようとする。このため、電歪素子８の自由端側は
大きくノズル１２側へと湾曲し、当該ノズル１２
の口孔に近づく。結局、この電歪素子８の繞み量
は印加される電圧に比例するために、ノズルフラ
ツパ機構として好適な効果が得られる。

ところで、一般的には、電歪素子８に電圧を印
加しようとすると、この印加される電圧と自由端
側が変位する変位量との間では、第４図に示すよ
うな関係があることが知られている。すなわち、
印加電圧を０から徐々に増加させると、図におい
てａからｂへの曲線を描いて電歪素子８が変位す
る。次いで、ｂから徐々に電圧を下げると、ｂか
らｃへの曲線を描く。すなわち、必ずしもｂから
ａへの曲線を描くものではない。次いで、再度電
圧を印加すると、ｃからｂに至る曲線を描く。

換言すれば、電圧を印加した後、この電圧を下
げ、再びまた電圧を上げると、そこには、所謂、
ヒステレシス現象が現れてくる。この現象は、特
に、バイモルフ型電歪素子に顕著に見受けられ
る。しかも、同じ電圧を印加した場合においても
時間が経過することによつて、第３図のｂ，ｃの
曲線からb′，c′の曲線に示すように、自由端側の
変位量がシフトする現象が現れる。

この現象は電歪素子８に一定の電圧を印加した
まま長時間保持すると、第５図の実線で示す曲線
のように、電歪素子先端の変位量がその時間の経
過に従つて増大していく。この現象を一般的に電
歪素子におけるクリープ現象と称している。この
クリープ現象は圧電セラミツクスの材質、シム材
の板厚およびその材質、接着剤、電歪素子の固定
方法等に依存していると解されている。そして、
このクリープ現象の惹起を回避すべく種々の工夫
を出願人は試みたが、クリープ現象に基づく変位
量は10％及至10％に及ぶことが確認されている。
この現象は外部雰囲気温度が変化すると助長され
る傾向にある。

このような現象が惹起する原因として、勿論、
電歪素子自体が有している特性によるところが大
きいが、一方においては、シム材１６に圧電セラ
ミツクス部材１８ａ，１８ｂが接着剤を介して固
着されていると、あるいは、第１図及至第３図に
示すように、ベース４に螺孔を穿設し、一方、固
定板６ａ，６ｂに比較的大きな直径を有する孔部
を画成し、この孔部に締付ビス１０，１０を嵌合
すると共に、前記螺孔に臨入させて電歪素子８を
固定板６ａ，６ｂにより保持しようとする時、締
付ビス１０，１０の締付力如何によつては前記固
定板６ａ，６ｂがその両端部で湾曲して電歪素子
８の隅角部に圧接し、従つて、この締付効力が前
記シフト現象を助長するということも確認されて
いる。さらに、電歪素子８に対して可及的に低い
電圧、例えば、10V前後の電圧を印加して精密な
制御を試みようとする時、当該電歪素子８に発生
する変位量は非常に小さくなり、これによつてミ
クロンオーダの制御を行わなければならない必要
性も出てくるために、締付ビス１０，１０の締付
力を慎重に調整しなければならない。

しかも、締付ビス１０，１０が、前記のよう
に、２本存在する時、両者を均等に締め付けるこ
とは実質的に不可能であり、一方、締付力が不均
等であれば電歪素子に不均一な応力が印加され
る。

また、前記のような構成では、固定板で挟持さ
れる部位の圧電セラミツクス部材も電圧の印加に
よつて収縮し、これによつて内部応力が変化し、
これが前記シフト現象の原因となり、正確な制御
が困難となる。すなわち、電歪素子に直流電圧を
印加すると、電極と接する圧電セラミツクス部材
はその範囲で収縮する。従つて、圧電セラミツク
ス部材が固定板で締め付けられている場合には、
この伸縮効果は前記締付部位にも及び微小な応力
変化を惹起する。また、このことは固定板の締付
力に対し直交する方向で電歪素子が伸縮し、これ
が電歪素子の固定板に対する局所的な“すべり”
を生じ、前記クリープ現象の大きな要因となつて
いることが確認された。

本来、電歪素子を用いて電気信号を空気圧信号
に変換する目的は電気的に正確に且つ精緻に制御
することによつて所望の変換効果を得ることにあ
る。然しながら、前記のようなクリープ現象が存
在する場合には、例えば、電歪素子に印加される
制御電圧を一定にして一定のノズル背圧を得よう
としても、前記クリープ現象に起因してノズル背
圧が変化してしまうことになる。しかも、当該ク
リープ現象に基づく電歪素子の変位量が数10％に
及ぶ場合には、実質的にノズル背圧が利用した弁
体等の精密な制御が困難となつてしまう。

［発明の目的］ 本発明は前記の種々の不都合を克服するために
なされたものであつて、電歪素子のベースに固着
しようとする時、少なくとも当該電歪素子を構成
する電極を固定板との間に挟持する領域をなくし
若しくは可及的に少なくし、または保持部材で圧
電セラミツクス部材を直接保持し、従つて、締付
ビスによる締付力に影響されることのない、しか
も容易に精密に電気信号を空気圧信号に変換する
ことが可能なノズルフラツパ機構を提供すること
を目的とする。

［目的を達成するための手段］ 前記の目的を達成するために、本発明はノズル
の口孔に対して電歪素子または前記電歪素子に連
結される板部材を臨ませ、前記電歪素子に電圧を
印加することによりノズル背圧を一定にしあるい
は変化させるノズルフラツパ機構において、前記
電歪素子はシム材とこのシム材に積層される圧電
セラミツクス部材と前記圧電セラミツクス部材に
積層される薄膜状の電極とからなり、前記圧電セ
ラミツクス部材の面積に対し薄膜状の電極を狭い
面積とすると共に前記圧電セラミツクス部材の一
端部を直接固定保持することを特徴とする。

また、本発明はノズルの口孔に対して電歪素子
または前記電歪素子に連結される板部材を臨ま
せ、前記電歪素子に電圧を印加することによりノ
ズル背圧を一定にしあるいは変化させるノズルフ
ラツパ機構において、前記電歪素子はシム材とこ
のシム材に積層される圧電セラミツクス部材と前
記圧電セラミツクス部材に積層される薄膜状の電
極とからなり、前記電極を圧電セラミツクス部材
の面積よりも狭い面積とし且つ圧電セラミツクス
部材の一端部を直接半田付または接着剤で保持部
材に固定することを特徴とする。

［実施態様］ 次に、本発明に係るノズルフラツパ機構につい
てそれを組み込む電気信号−空気圧変換ユニツト
との関連において好適な実施態様を挙げ、添付の
図面を参照しながら以下詳細に説明する。

なお、第１図乃至第３図に示す構成要素と同一
の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細
な説明を省略する。

本発明は、特に、電歪素子の形状に関連してな
されている。

先ず、第６図に示す第１の実施態様において
は、電歪素子３０を構成するシム材３２を矩形状
に形成している。この場合、シム材３２は、一般
的に、リン青銅やステンレス鋼等の金属で構成さ
れ、その両面に圧電セラミツクス部材３４ａ，３
４ｂが図示しない接着剤を挟んで固着される。こ
の場合、図から容易に諒解されるように、圧電セ
ラミツクス部材３４ａ，３４ｂとよりシム材３２
の一端部が若干外方へと延在している。

次に、圧電セラミツクス部材３４ａ，３４ｂの
外方に露呈する面部に薄膜状の電極３６ａ，３６
ｂを貼着する。第６図から諒解される通り、この
電極３６ａ，３６ｂは実質的に矩形状であり、そ
の短手方向の幅員は実質的に圧電セラミツクス部
材３４ａ，３４ｂのそれと同一である。なお、電
極３６ａ，３６ｂの中央部からは夫々極めて幅員
の狭いリード部位３８ａ，３８ｂを延在させ、圧
電セラミツクス部材３４ａ，３４ｂの端部で終端
させておく（第６図、第７図および第９図参照）。

以上のような構成からなるノズルフラツパ機構
は電極素子３０のリード部位３８ａ，３８ｂ側を
第１固定板６ａ上に載置し、前記電歪素子３０に
さらに第２固定板６ｂを上載し、締付ビス１０，
１０を固定板６ａに穿設された孔部に螺入しこれ
を挟持する。この時、容易に諒解されるように、
締付ビス１０，１０によつて締め付けられる部位
には実質的に電極３６ａ，３６ｂは存在してはお
らず、極めて幅狭な、例えば、幅が１mm程度で且
つ厚さが数μmのリード部位３８ａ，３８ｂが存
在しているに過ぎない。従つて、締付力を受ける
のはシム材３２並びに圧電セラミツクス部材３４
ａ，３４ｂおよびリード部位３８ａ，３８ｂのみ
となる。すなわち、電歪素子３０を固定板６ａ，
６ｂに固定するに際してさほどに慎重な締付力の
調整を必要とすることはない。

この結果、電気信号−空気圧変換ユニツトに組
み込まれた電歪素子３０に対して電圧を印加し、
電気信号を空気圧信号に変換しようとする時、ク
リープ現象が著しく減少するために精緻で安定し
た動作が得られる。特に、低電圧でこの電歪素子
３０を駆動しようとする場合、精密な制御を行う
ことが可能となる利点が得られる。

次に、本発明に係る電歪素子３０を組み込む電
気信号−空気圧信号変換器について概略的に説明
する。

第１１図に示すように、圧電セラミツクス部材
３４ａ，３４ｂに貼着された電極３６ａ，３６ｂ
は夫々電気的に接続してコントローラ５０の一方
の端子に接続する。シム材３２にはコントローラ
５０の他方の端子を電気的に接続しておく。ノズ
ル１２にはパイロツト弁５２を接続し、このパイ
ロツト弁５２の出力側を分岐して空気圧信号−電
気信号変換素子５４に連結している。前記空気圧
信号−電気信号変換素子５４の出力側はコントロ
ーラ５０に導入される。なお、このコントローラ
５０には制御信号Ｓが導入される。

従つて、この制御信号Ｓがコントローラ５０に
導入されると、このコントローラ５０から圧電セ
ラミツクス部材３４ａ，３４ｂ上の電極３６ａ，
３６ｂとシム材３２との間に所定の電圧が印加さ
れ、この電歪素子３０の自由端がその電圧に比例
して撓む。この結果、ノズル１２から導出される
空気のノズル背圧が変化し、これはパイロツト弁
５２に導入される。このパイロツト弁５２の出力
信号が所定の機器に導入されて、当該機器の制御
を行う。

一方、前記パイロツト弁５２の出力信号は空気
圧信号−電気信号変換素子５４に導入され、これ
がコントローラ５０に対してのフイードバツク信
号として活用される。

さらに、第１２図に電気信号−空気圧信号変換
機構を採用するポジシヨナーの実施態様を示す。

なお、前記電気信号−空気圧信号変換機構に用
いた構成要素と、同一の構成要素には同一の参照
符号を付してその説明を省略する。

そこで、この実施態様においては、パイロツト
弁５２の出力側をコントロールバルブ６０に導入
し、このコントロールバルブ６０を制御すると共
に、このコントロールバルブ６０の出力側を分岐
してその変位量を電気信号に変換するセンサに導
入している。例えば、このセンサとしてはポテン
シヨメータが好適に用いられる。そこで、このポ
テンシヨメータ６２の出力側はコントローラ５０
にフイードバツク信号として移送される。従つ
て、パイロツト弁５２に出力される信号がコント
ロールバルブ６０を変位させ、その変位量に応じ
たセンサ出力がコントローラ５０をフイードバツ
ク制御することになる。

さらに、第１３図に本発明の別の実施態様を示
す。この実施態様は電歪素子３０に指向してなさ
れている。すなわち、この電歪素子３０では電極
３６ａ，３６ｂのリード部位３８ａ，３８ｂが圧
電セラミツクス部材３４ａ，３４ｂの長手方向中
心線に対してその端部側への偏位している。従つ
て、シム材３２と電極３６ａ，３６ｂに対して接
続されるリード線をそれらの端部隅角部にまとめ
て延在させることが出来る。このため、当該リー
ド線が電歪素子３０の近傍に配置された他の付属
品、機器の妨げとなることはない。

第１４図並びに第１５図に本発明のさらに別の
実施態様を示す。この実施態様は、特に、リード
部位３８ａ，３８ｂを設けることなく、圧電セラ
ミツクス部材３４ａ，３４ｂとシム材３２のみを
第１固定板６ａと第２固定板６ｂとで挟持する構
成を採用している。すなわち、電極３６ａ，３６
ｂをシム材３２上の圧電セラミツクス部材３４
ａ，３４ｂよりも短尺に形成し、当該圧電セラミ
ツクス部材３４ａ，３４ｂを挟持する固定板６
ａ，６ｂ側の電極３６ａ，３６ｂの隅角部に電圧
を印加するためのリード線を接続するように構成
している。

電極３６ａ，３６ｂが固定板６ａ，６ｂに挟持
されることなく、一方、圧電セラミツクス部材３
４ａ，３４ｂは前記固定板６ａ，６ｂに挟持され
るものであるため、剛性が確保される一方、クリ
ープ現象の発生を可及的に減少させることが可能
である。

このような観点からすれば、リード部位３８
ａ，３８ｂが存在していたにせよ、これらのリー
ド部位３８ａ，３８ｂの固定板６ａ，６ｂに対す
る挟持を回避させれば実質的にクリープ減少によ
る不都合から免れる。これに関連して別の実施様
態を第１６図乃至第１９図に示す。

先ず、第１６図の実施様態では圧電セラミツク
ス部材３４ａ，３４ｂの面上から膨出するリード
部位３８ａ，３８ｂの厚さ並びに長さに対応して
第１固定板６ａ，第２固定板６ｂに夫々溝部４０
ａ，４０ｂを刻設している。

従つて、これらの固定板６ａ，６ｂによつて電
歪素子３０の端部を挟持しても前記リード部位３
８ａ，３８ｂは挟圧されることなく、従つて、ク
リープ現象から回避可能である。

第１７図の実施様態ではリード部位３８ａ，３
８ｂ自体を圧電セラミツクス部材３４ａ，３４ｂ
に刻設された溝部４２ａ，４２ｂ間に配設してい
る。このため、圧電セラミツクス部材３４ａ，３
４ｂの表面から前記リード部位が膨出する状態と
はなつていない。従つて、固定板６ａ，６ｂによ
つて電歪素子を保持してもこのリード部位３８
ａ，３８ｂが挟持されることはない。従つて、第
１５図に示す実施態様と同一の効果が得られる。

第１９図に示す実施態様ではリード部位３８
ａ，３８ｂの厚さ並びに長さに対応して二組の矩
形状のスペーサ４４ａ，４４ｂを圧電セラミツク
ス部材３４ａ，３４ｂに貼着している。これらの
スペーサ４４ａ，４４ｂは、この場合、固定板６
ａ，６ｂに夫々固着することも可能である。

以上のような構成においても直接固定板６ａ，
６ｂがリード部位３８ａ，３８ｂに圧接すること
がないため、クリープ現象からの弊害を可及的に
回避可能である。

なお、前記の実施態様ではいずれも固定板６
ａ，６ｂを用いて電歪素子３０の圧電セラミツク
ス部材３４ａ，３４ｂを挟持する構成を開示して
いる。圧電セラミツクス部材３４ａ，３４ｂを挟
持することにより剛性を確保するためである。

然しながら、他の方法によつて剛性が確保可能
であれば、前記圧電セラミツクス部材３４ａ，３
４ｂを挟持しなくてもよい。この観点に立脚した
実施態様を第２０図に示す。

この実施態様では、図示しないビスによつて締
着すべく比較的厚みのあるＴ字状の保持部材４６
を用意し、この保持部材４６に圧電セラミツクス
部材３４ａを半田付あるいは接着剤によつて固着
している。電極３６ａ，３６ｂは、図から容易に
諒解される通り、半田付あるいは接着剤部分４８
まで延在してはいない。

このように、圧電セラミツクス部材３４ａ，３
４ｂを保持部材４６に貼着する構成とすることに
より、取付工程が簡素化し位置調整も容易とな
る。

［発明の効果］ 本発明によれば、以上のように、電歪素子を構
成する電極に対して実質的に固定板で挟持するこ
となく電極に印加される電圧で圧電セラミツクス
部材が伸縮する可能性のある部位を固定板により
締付力から解放している。従つて、特に、固定板
による締付力に影響されることのない、すなわ
ち、クリープ現象を可及的に小さくすることが可
能となるノズルフラツパ機構を得ることが出来
る。特に、このノズルフラツパ機構によれば、よ
り精緻にそのノズル背圧を制御することが出来る
という顕著な効果が得られる。

以上、本発明について好適な実施態様を挙げて
説明したが、本発明はこの実施態様に限定される
ものではなく、また、バイモルフ型電歪素子を複
数個積層した積層電歪素子についても採用可能で
あり、あるいは電歪素子の自由端側に板部材を固
着し、これをノズルに臨ませる構成のものに対し
ても利用可能である等、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲において種々の改良並びに設計の変更が可
能なことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術に係る電歪素子を用いたノズ
ルフラツパ機構の一部縦断説明図、第２図は第１
図に示すノズルフラツパ機構の平面図、第３図は
第１図に示すノズルフラツパ機構の正面図、第４
図は従来のバイモルフ型電歪素子を用いてノズル
フラツパ機構を構成した場合の電歪素子に印加さ
れる電圧とその変位量との関係を示すグラフ、第
５図は従来のバイモルフ型電歪素子に対して電圧
を長時間にわたり印加した際のクリープ現象を表
す特性図、第６図は本発明に係るノズルフラツパ
機構に組み込まれる電歪素子の斜視説明図、第７
図は第６図の電歪素子の平面図、第８図は第７図
の電歪素子のＡ−Ａ線断面図、第９図は第７図の
電歪素子のＢ−Ｂ線断面図、第１０図は第６図の
電歪素子の正面図、第１１図は本発明に係る電歪
素子を組み込む電気信号−空気圧変換器の概略説
明図、第１２図は第１１図に示す電気信号−空気
圧変換器を組み込むポジシヨナの概略説明図、第
１３図は本発明に係る電歪素子の他の実施態様の
斜視説明図、第１４図は第１３図の電歪素子の平
面図、第１５図は第１３図は電歪素子の一部省略
縦断説明図、第１６図は本発明に係る電歪素子と
それを組み込む固定板の斜視説明図、第１７図は
本発明に係る電歪素子の他の実施態様の斜視説明
図、第１８図は第１７図の電歪素子の縦断説明
図、第１９図は本発明に係る電歪素子を組み込む
固定板の他の実施態様を示す斜視説明図、第２０
図は本発明に係る電歪素子の他の実施態様の斜視
説明図である。 １０……締付ビス、３０……電歪素子、３２…
…シム材、３４ａ，３４ｂ……圧電セラミツクス
部材、３８ａ，３８ｂ……リード部位、４４ａ，
４４ｂ……スペーサ、５０……コントローラ、５
２……パイロツト弁、５４……空気圧信号−電気
信号変換素子、６０……コントロールバルブ、６
２……ポテンシヨメータ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ノズルの口孔に対して電歪素子または前記電
   歪素子に連結される板部材を臨ませ、前記電歪素
   子に電圧を印加することによりノズル背圧を一定
   にしあるいは変化させるノズルフラツパ機構にお
   いて、前記電歪素子はシム材とこのシム材に積層
   される圧電セラミツクス部材と前記圧電セラミツ
   クス部材に積層される薄膜状の電極とからなり、
   前記圧電セラミツクス部材の面積に対し薄膜状の
   電極を狭い面積とすると共に前記圧電セラミツク
   ス部材の一端部を直接固定保持することを特徴と
   するノズルフラツパ機構。 ２ 請求項１記載の機構において、圧電セラミツ
   クス部材の一端部は固定板によつて保持すること
   を特徴とするノズルフラツパ機構。 ３ 請求項１または２記載の装置において、圧電
   セラミツクス部材よりも狭面積の電極から幅狭の
   リード部位を延在させ、前記圧電セラミツクス部
   材の端部で終端させてなることを特徴とするノズ
   ルフラツパ機構。 ４ 請求３項記載の機構において、幅狭のリード
   部位は圧電セラミツクス部材の長手方向中央部で
   終端することを特徴とするノズルフラツパ機構。 ５ 請求項３記載の機構において、幅狭のリード
   部位は圧電セラミツクス部材の長手方向端部隅角
   部で終端することを特徴とするノズルフラツパ機
   構。 ６ 請求項３乃至５のいずれかに記載の機構にお
   いて、固定板に電極のリード部位が嵌合する溝部
   を設けることを特徴とするノズルフラツパ機構。 ７ 請求項２乃至５のいずれかに記載の機構にお
   いて、電極のリード部位は圧電セラミツクス部材
   の端部まで延在する溝部に嵌合してなることを特
   徴とするノズルフラツパ機構。 ８ 請求項２乃至５のいずれかに記載の機構にお
   いて、挟持される圧電セラミツクスと固定板との
   間にスペーサを配設することを特徴とするノズル
   フラツパ機構。 ９ 請求項１記載の機構において、電歪素子はシ
   ム材と圧電セラミツクス部材と電極とを積層し、
   さらにこの積層体を多数個層状に並列して構成す
   ることを特徴とするノズルフラツパ機構。 １０ ノズルの口孔に対して電歪素子または前記
   電歪素子に連結される板部材を臨ませ、前記電歪
   素子に電圧を印加することによりノズル背圧を一
   定にしあるいは変化させるノズルフラツパ機構に
   おいて、前記電歪素子はシム材とこのシム材に積
   層される圧電セラミツクス部材と前記圧電セラミ
   ツクス部材に積層される薄膜状の電極とからな
   り、前記電極を圧電セラミツクス部材の面積より
   も狭い面積とし且つ圧電セラミツクス部材の一端
   部を直接半田付または接着剤で保持部材に固定す
   ることを特徴とするノズルフラツパ機構。