JPH0481802A - 干渉膜形成用網目フィルタの製造方法及び干渉膜形成装置 - Google Patents
干渉膜形成用網目フィルタの製造方法及び干渉膜形成装置Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、平面あるいは球面を有する光学部品に均一
な蒸着物質の分布を施す蒸着方法および蒸着用光学治具
に関するものである。
な蒸着物質の分布を施す蒸着方法および蒸着用光学治具
に関するものである。
最近、カラーテレビジョン受像機はその普及に伴って様
々な形態に展開している。 大型画面を有する受像機も
その一つであって、大型のブラウン管にカラー画像を再
生するものあるいは小型のブラウン管上の再生像を光学
系によってスクリーンに拡大投影するものなど商品とし
て種々のものが開発されている。 カラーテレビジョン
受像機には通常光、緑および青の色成分光を各々分担す
る３本の受像管を用意され、その各々の受像管にはいわ
ゆる電子管に対してガラス製の凸面を備えた光学ガラス
にダイクロイック膜と呼ばれる光学薄膜、光導電膜およ
びＡＩ膜を積層配置したものが取す付けられている。
これらの積層膜は、いずれも電気的あるいは光学的に均
質であることが要求され、特に凸面上に形成されるダイ
クロイック膜は、その凸面形状のどの部分においても光
学的に同一のスペクトラル特性を有していることが必要
である。 しかしながらこのような凸面形状のガラスに
光学的に均質にダイクロイック膜を付着形成するのには
、大きな問題点がある。 すなわち、必要な光学薄膜を
形成する蒸着物質を保持するほぼ点状の蒸着源から萎発
させられる蒸着物質の蒸着装置内での分布が位置的ある
いは面積的に非均−であることから生じ、るダイクロイ
ック膜の光学的透過特性あるいは反射特性の非均一性で
ある。
々な形態に展開している。 大型画面を有する受像機も
その一つであって、大型のブラウン管にカラー画像を再
生するものあるいは小型のブラウン管上の再生像を光学
系によってスクリーンに拡大投影するものなど商品とし
て種々のものが開発されている。 カラーテレビジョン
受像機には通常光、緑および青の色成分光を各々分担す
る３本の受像管を用意され、その各々の受像管にはいわ
ゆる電子管に対してガラス製の凸面を備えた光学ガラス
にダイクロイック膜と呼ばれる光学薄膜、光導電膜およ
びＡＩ膜を積層配置したものが取す付けられている。
これらの積層膜は、いずれも電気的あるいは光学的に均
質であることが要求され、特に凸面上に形成されるダイ
クロイック膜は、その凸面形状のどの部分においても光
学的に同一のスペクトラル特性を有していることが必要
である。 しかしながらこのような凸面形状のガラスに
光学的に均質にダイクロイック膜を付着形成するのには
、大きな問題点がある。 すなわち、必要な光学薄膜を
形成する蒸着物質を保持するほぼ点状の蒸着源から萎発
させられる蒸着物質の蒸着装置内での分布が位置的ある
いは面積的に非均−であることから生じ、るダイクロイ
ック膜の光学的透過特性あるいは反射特性の非均一性で
ある。
これを解決するために選択的に蒸着密度を変化させる方
法が種々考えられている。 例えば均一性を得るために
蒸着源と蒸着面との間に蒸着装置のいわゆるドームとは
別個に蒸着密度配分用のフィルタを配置するもの、遊星
歯車機構の原理を用いた蒸着密度を制御するものなどが
それである。
法が種々考えられている。 例えば均一性を得るために
蒸着源と蒸着面との間に蒸着装置のいわゆるドームとは
別個に蒸着密度配分用のフィルタを配置するもの、遊星
歯車機構の原理を用いた蒸着密度を制御するものなどが
それである。
しかしながら、いずれのやり方も機構が複雑でコスト高
になるにもかかわらず効果が少なく、製造適性の高い蒸
着方法あるいは蒸着用の治具は未だ提案されていない。
になるにもかかわらず効果が少なく、製造適性の高い蒸
着方法あるいは蒸着用の治具は未だ提案されていない。
この発明はこのような従来技術の欠点を鑑みてなされた
ものであって、簡単な構成でコスト適性も製造適性も究
めて高い蒸着方法および蒸着用の治具を提供することを
課題とするものである。
ものであって、簡単な構成でコスト適性も製造適性も究
めて高い蒸着方法および蒸着用の治具を提供することを
課題とするものである。
この発明はこのような課題の解決を行うために球面ある
いは平面を備える光学部品を真空蒸着装置内に配置し、
蒸着源と光学部品との間に位置的に密度の変化する網目
状のフィルタからなる光学治具を取り付け、蒸着を行う
ようにする方法を取るものである。
いは平面を備える光学部品を真空蒸着装置内に配置し、
蒸着源と光学部品との間に位置的に密度の変化する網目
状のフィルタからなる光学治具を取り付け、蒸着を行う
ようにする方法を取るものである。
またこの方法を実施するために球面あるいは平面を備え
る光学部品と、必要な光学薄膜を形成する蒸着物質を保
持する蒸着源と、および、この蒸着源から所定の距離を
置いて配置され光学部品を保持する装置とを配置した蒸
着装置に、この光学部品保持装置に隣接して蒸着源から
の蒸着物質の付着分布を制御する位置的に密度の変化す
る網目状のフィルタからなる光学治具を取り付けた蒸着
用光学治具を用いる。 さらにこの方法を実施するに当
たって網目状のフィルタの密度を蒸着装置内での蒸着物
質の分布密度と相補的関係を生じるような分布に形成す
ることによってさらに精度の高い蒸着を行うことができ
るようになる。
る光学部品と、必要な光学薄膜を形成する蒸着物質を保
持する蒸着源と、および、この蒸着源から所定の距離を
置いて配置され光学部品を保持する装置とを配置した蒸
着装置に、この光学部品保持装置に隣接して蒸着源から
の蒸着物質の付着分布を制御する位置的に密度の変化す
る網目状のフィルタからなる光学治具を取り付けた蒸着
用光学治具を用いる。 さらにこの方法を実施するに当
たって網目状のフィルタの密度を蒸着装置内での蒸着物
質の分布密度と相補的関係を生じるような分布に形成す
ることによってさらに精度の高い蒸着を行うことができ
るようになる。
以下添付図面に示す実施例に従ってこの発明の詳細な説
明する。
明する。
第１図は、蒸着を施すべき光学部品と、光学治具とが、
蒸着装置のドーム内に組合せられて配置された状態を示
す。 図において、１は光学部品、２は光学部品の凸面
状の蒸着面、３は光学部品ｌを保持する治具である。
この保持治具３には網目状フィルタ取り付は金具４が連
結固定され、網目状フィルタ５が蒸着面２に対して一定
の間隔を置いて配置される。
蒸着装置のドーム内に組合せられて配置された状態を示
す。 図において、１は光学部品、２は光学部品の凸面
状の蒸着面、３は光学部品ｌを保持する治具である。
この保持治具３には網目状フィルタ取り付は金具４が連
結固定され、網目状フィルタ５が蒸着面２に対して一定
の間隔を置いて配置される。
第２図は網目状フィルタ３の平面図であって、図示のよ
うに中心おいて密で周辺において粗となるような網目構
造を有している。 このようなフィルタは例えば鉄系の
合金を写真腐食することによって比較的簡単に準備する
ことができる。
うに中心おいて密で周辺において粗となるような網目構
造を有している。 このようなフィルタは例えば鉄系の
合金を写真腐食することによって比較的簡単に準備する
ことができる。
以上のような組立体は第３図に示すようにドーム６に取
り付けられ、このドーム６はさらに真空蒸着装置の１着
槽７内に取り付けられる。 蒸着槽７は周知の構成であ
るので図示を省略しであるが、この蒸着装置が装備して
いる排気機構、加熱機構およびドーム６の回転駆動機構
を用いて、圧力、温度およびドーム回転数を必要な一定
条件に設定し、蒸着源８から光学部品ｌに要求される光
学特性を与える干渉膜を形成する蒸着材料が定められた
蒸着温度により蒸着を行うものである。
り付けられ、このドーム６はさらに真空蒸着装置の１着
槽７内に取り付けられる。 蒸着槽７は周知の構成であ
るので図示を省略しであるが、この蒸着装置が装備して
いる排気機構、加熱機構およびドーム６の回転駆動機構
を用いて、圧力、温度およびドーム回転数を必要な一定
条件に設定し、蒸着源８から光学部品ｌに要求される光
学特性を与える干渉膜を形成する蒸着材料が定められた
蒸着温度により蒸着を行うものである。
このような構成によって蒸着が実施されるとき、上述し
たような構成の網目フィルタ５の働きで、蒸着面２に付
着する膜厚は網目の密度に応じて変化する、すなわち、
網目の密度と相捕的な関係を有する厚さに付着する。
たような構成の網目フィルタ５の働きで、蒸着面２に付
着する膜厚は網目の密度に応じて変化する、すなわち、
網目の密度と相捕的な関係を有する厚さに付着する。
網目フィルタ５は次のようにして製作される。
まず網目フィルタを使用しない状態で干渉膜を形成し、
第４図に示す位置ｌＯ〜１５の分光透過率を測定する。
第４図に示す位置ｌＯ〜１５の分光透過率を測定する。
第５図が測定結果である。 この測定結果から各位置
の一定の透過率を有する波長域を探すと第６図のように
なる。 中央１０が最も長波長であり、周辺位置に向か
って短波長になる。。
の一定の透過率を有する波長域を探すと第６図のように
なる。 中央１０が最も長波長であり、周辺位置に向か
って短波長になる。。
これは中央に向かって膜厚が漸次厚くなっていることを
意味している。 これを均一にするにハ膜ニー′：′−
も薄い位置を基準として膜厚の厚くなる位置にむかって
膜の付着が漸次薄くなるようにこの網目フィルタの密度
を変えて行くことである。
意味している。 これを均一にするにハ膜ニー′：′−
も薄い位置を基準として膜厚の厚くなる位置にむかって
膜の付着が漸次薄くなるようにこの網目フィルタの密度
を変えて行くことである。
これを勘案して、各位置に対応する蒸着面の面積と網口
フィルタの対応部分の面積との比を変化させて（第７図
、フィルタ率と定義する）、このようなフィルタ率の分
布密度を有する網目フィルタを製作することによって、
上述したように蒸着すれば所望の均一な蒸着物質の分布
を有する光学部品を得ることが可能になる。
フィルタの対応部分の面積との比を変化させて（第７図
、フィルタ率と定義する）、このようなフィルタ率の分
布密度を有する網目フィルタを製作することによって、
上述したように蒸着すれば所望の均一な蒸着物質の分布
を有する光学部品を得ることが可能になる。
第８図が、第７図のフィルタ率により設計した網目フィ
ルタである。 第９図がこのフィルタによって得られた
蒸着膜の第６図に相当する位置と一定透過率を有する波
長域とを示す図である。
ルタである。 第９図がこのフィルタによって得られた
蒸着膜の第６図に相当する位置と一定透過率を有する波
長域とを示す図である。
以上詳しく述べたようにこの発明によれば、蒸着源と蒸
着面との間に位置的に密度の変化する網目状のフィルタ
からなる光学治具を取り付は蒸着を行うようにしたので
、蒸着装置内での蒸着物質の分布が位置的あるいは面積
的に非均−であることから生じる蒸着膜の光学的な透過
特性あるいは反射特性の非均一性を完全に解消した蒸着
膜を製作することができ、低コストで製造適性の高い蒸
方法あるいは蒸着用の治具の提供が可能となる。
着面との間に位置的に密度の変化する網目状のフィルタ
からなる光学治具を取り付は蒸着を行うようにしたので
、蒸着装置内での蒸着物質の分布が位置的あるいは面積
的に非均−であることから生じる蒸着膜の光学的な透過
特性あるいは反射特性の非均一性を完全に解消した蒸着
膜を製作することができ、低コストで製造適性の高い蒸
方法あるいは蒸着用の治具の提供が可能となる。
第１図はこの発明の方法および装置に用いる蒸着装置内
に配置される蒸着用の治具と、光学部品との組立体の断
面図、第２図は網目フィルタの平面図、第３図は蒸着膜
にのドームの概略の側面図、第４図は光学部品の測定点
を示す平面図、第５図は分光透過率の測定結果を示す図
、第６図は各測定位置における一定透過率を示す波長域
を示す図、第７図はフィルタ率を示す図、第８図はこの
発明による方法を実施するための網目フィルタの平面図
、および、第９図はフィルタ率を変化させたときに得ら
れる第５図に対応する波長域を位置との関係で示す図で
ある。 ｌ・・光学部品、２・・蒸着面、３・・保持
治具、４・・網目状フィルタ取り付は金具、５・・網目
状フィルタ５．６・・ドーム、７・・蒸着槽、８・・蒸
着源、１０〜１５・・光学部品上の測定点。 ７０００鵠ｍ （鰹略） ＋ｈ＝ｅ〜冊） 手続補正書、方式、 平成２年１１月 口 特許庁長官 植松 敏 殿平成。年１、月。７日差１
１、事件の表示 平成２年特許願第１９６０６２号 ２、発明の名称 蒸着方法および蒸着用光学治具 ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、補正命令の日付 平成２年１０月１５０ 平成２年１０月３０口（発送日） ６゜ 補正の内容
に配置される蒸着用の治具と、光学部品との組立体の断
面図、第２図は網目フィルタの平面図、第３図は蒸着膜
にのドームの概略の側面図、第４図は光学部品の測定点
を示す平面図、第５図は分光透過率の測定結果を示す図
、第６図は各測定位置における一定透過率を示す波長域
を示す図、第７図はフィルタ率を示す図、第８図はこの
発明による方法を実施するための網目フィルタの平面図
、および、第９図はフィルタ率を変化させたときに得ら
れる第５図に対応する波長域を位置との関係で示す図で
ある。 ｌ・・光学部品、２・・蒸着面、３・・保持
治具、４・・網目状フィルタ取り付は金具、５・・網目
状フィルタ５．６・・ドーム、７・・蒸着槽、８・・蒸
着源、１０〜１５・・光学部品上の測定点。 ７０００鵠ｍ （鰹略） ＋ｈ＝ｅ〜冊） 手続補正書、方式、 平成２年１１月 口 特許庁長官 植松 敏 殿平成。年１、月。７日差１
１、事件の表示 平成２年特許願第１９６０６２号 ２、発明の名称 蒸着方法および蒸着用光学治具 ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、補正命令の日付 平成２年１０月１５０ 平成２年１０月３０口（発送日） ６゜ 補正の内容
Claims (4)
- （１）．球面あるいは平面を備える光学部品を真空蒸着
装置内に配置し、蒸着源と光学部品との間に位置的に密
度の変化する網目状のフィルタからなる光学治具を取り
付け、蒸着を行うようにした蒸着方法。 - （２）．球面あるいは平面を備える光学部品と、必要な
光学薄膜を形成する蒸着物質を保持する蒸着源と、およ
び、この蒸着源から所定の距離を置いて配置され光学部
品を保持する装置とを配置した蒸着装置において、この
光学部品保持装置に隣接して蒸着源からの蒸着物質の付
着分布を制御する密度の変化する網目状のフィルタから
なる光学治具を取り付けた蒸着用光学治具。 - （３）．網目状のフィルタの密度を蒸着装置内での蒸着
物質の分布密度と相補的関係を生じるような分布に形成
することによって光学部品の前記面上に蒸着物質が光学
的に均一付着するように前記密度を変化させて特許請求
の範囲第２項に記載の蒸着用光学治具。 - （４）．前記網目を金属のフォトエッチングにより作成
した特許請求の範囲第３項に記載の蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19606290A JP3259914B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 干渉膜形成用網目フィルタの製造方法及び干渉膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19606290A JP3259914B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 干渉膜形成用網目フィルタの製造方法及び干渉膜形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481802A true JPH0481802A (ja) | 1992-03-16 |
| JP3259914B2 JP3259914B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=16351567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19606290A Expired - Fee Related JP3259914B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 干渉膜形成用網目フィルタの製造方法及び干渉膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3259914B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998052074A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Composant optique en plastique pourvu d'une pellicule empechant la reflexion et mecanisme servant a uniformiser l'epaisseur de cette pellicule |
| WO1998052075A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Mecanisme servant a rendre hydrophobes deux cotes simultanement |
| US6264751B1 (en) * | 1998-05-18 | 2001-07-24 | Hoya Corporation | Mechanism for performing water repellency processing on both sides simultaneously |
| JP2015136868A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 所定構造を有するフレキシブル電子デバイスに適用される基板及びその作製方法 |
| WO2015158048A1 (zh) * | 2014-04-17 | 2015-10-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空蒸镀设备 |
| CN116641035A (zh) * | 2023-07-26 | 2023-08-25 | 南京诺源医疗器械有限公司 | 一种用于腹腔镜光学件的镀膜方法 |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP19606290A patent/JP3259914B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998052074A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Composant optique en plastique pourvu d'une pellicule empechant la reflexion et mecanisme servant a uniformiser l'epaisseur de cette pellicule |
| WO1998052075A1 (fr) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Hoya Kabushiki Kaisha | Mecanisme servant a rendre hydrophobes deux cotes simultanement |
| US6250758B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-06-26 | Hoya Corporation | Plastic optical devices having antireflection film and mechanism for equalizing thickness of antireflection film |
| US6264751B1 (en) * | 1998-05-18 | 2001-07-24 | Hoya Corporation | Mechanism for performing water repellency processing on both sides simultaneously |
| JP2015136868A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 所定構造を有するフレキシブル電子デバイスに適用される基板及びその作製方法 |
| WO2015158048A1 (zh) * | 2014-04-17 | 2015-10-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空蒸镀设备 |
| CN116641035A (zh) * | 2023-07-26 | 2023-08-25 | 南京诺源医疗器械有限公司 | 一种用于腹腔镜光学件的镀膜方法 |
| CN116641035B (zh) * | 2023-07-26 | 2023-10-13 | 南京诺源医疗器械有限公司 | 一种用于腹腔镜光学件的镀膜方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3259914B2 (ja) | 2002-02-25 |
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