JPH0481962U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0481962U JPH0481962U JP12533490U JP12533490U JPH0481962U JP H0481962 U JPH0481962 U JP H0481962U JP 12533490 U JP12533490 U JP 12533490U JP 12533490 U JP12533490 U JP 12533490U JP H0481962 U JPH0481962 U JP H0481962U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- forming apparatus
- film forming
- vacuum film
- substrate holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す真空成膜装
置の平面構成図、第２図は、その基板反転構造を
示す部分拡大平面図、第３図は、従来の真空成膜
装置の平面構成図、第４図は、その基板反転構造
を示す部分拡大平面図である。 尚、図中１は真空チヤンバー、２は治具台車、
３は基板ホルダー、４ａ，４ｂは基板、５は排気
ポンプ、６はモータ、７はターゲツト、８は回転
軸、９はストツパーである。
置の平面構成図、第２図は、その基板反転構造を
示す部分拡大平面図、第３図は、従来の真空成膜
装置の平面構成図、第４図は、その基板反転構造
を示す部分拡大平面図である。 尚、図中１は真空チヤンバー、２は治具台車、
３は基板ホルダー、４ａ，４ｂは基板、５は排気
ポンプ、６はモータ、７はターゲツト、８は回転
軸、９はストツパーである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 回転可能な円筒形治具台車の端面円周上に１８
０度反転可能な基板ホルダーを設け、同基板ホル
ダーの表裏両面に基板を固定するようにした真空
成膜装置において、 前記基板ホルダーの反転用回転軸をホルダーの
一端部側に設け、同ホルダーを治具台車の内側か
ら反転させるようにしたことを特徴とする真空成
膜装置の基板反転構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12533490U JPH0740521Y2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 真空成膜装置の基板反転構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12533490U JPH0740521Y2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 真空成膜装置の基板反転構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481962U true JPH0481962U (ja) | 1992-07-16 |
| JPH0740521Y2 JPH0740521Y2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=31872935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12533490U Expired - Lifetime JPH0740521Y2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 真空成膜装置の基板反転構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740521Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100653468B1 (ko) * | 2000-05-31 | 2006-12-04 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정 모듈의 반전 장치 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP12533490U patent/JPH0740521Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0740521Y2 (ja) | 1995-09-20 |
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