JPH0482312A - 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 - Google Patents
圧電部品の容量調整方法及び圧電部品Info
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- JPH0482312A JPH0482312A JP19579990A JP19579990A JPH0482312A JP H0482312 A JPH0482312 A JP H0482312A JP 19579990 A JP19579990 A JP 19579990A JP 19579990 A JP19579990 A JP 19579990A JP H0482312 A JPH0482312 A JP H0482312A
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- piezoelectric component
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 58
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本願発明は容量を一体的に有する容量付加型の圧電部品
の容量調整方法及びその方法により容量調整を施した圧
電部品に関する。
の容量調整方法及びその方法により容量調整を施した圧
電部品に関する。
［従来の技術〕
従来の容量付加型の圧電部品としては、例えば第３図及
び第４図にその斜視図及び断面図を示すような３１ｉ１
子型圧電部品がある。
び第４図にその斜視図及び断面図を示すような３１ｉ１
子型圧電部品がある。
この従来の圧電部品においては、第５図に示すように、
圧電基板１の両面に振動電極２ａ、２ｂ及びこれと導通
する引出し電極１０ａ、１０ｂを設けて圧電素子３を形
成している。そして、この圧電素子３を間に挾んで上部
及び下部封止基板４ａ、４ｂを積層し、その両ｔ！ＩＡ
ｒｐＪに、上部封止基板４ａの上面から下部封止基板４
ｂの下面にわたって外部電極５ａ、５ｂを形成している
。上記封止基板４ａ、４ｂは誘電体からなっており、そ
の内面には、第６図に示すように、振動空間を形成する
ための円形の凹部１１と外部電極５ａ、５ｂと引出し＠
極１０ａ、１０ｂの接触面積を増大し接続強度を大きく
するための半円形四部１２が形成されている。外部電極
５ａ、５ｂの間の封止基板４ａ、４ｂの表面には、外部
電極５ａ、５ｂとの間に所定の容量を形成するセンタ電
極６が形成されている。このように構成された圧電部品
は第７図に示すような等価回路を有しており、発振子Ａ
と容量Ｃ，，Ｃ，が一体的に構成された容量付加型の発
振子を構成している。
圧電基板１の両面に振動電極２ａ、２ｂ及びこれと導通
する引出し電極１０ａ、１０ｂを設けて圧電素子３を形
成している。そして、この圧電素子３を間に挾んで上部
及び下部封止基板４ａ、４ｂを積層し、その両ｔ！ＩＡ
ｒｐＪに、上部封止基板４ａの上面から下部封止基板４
ｂの下面にわたって外部電極５ａ、５ｂを形成している
。上記封止基板４ａ、４ｂは誘電体からなっており、そ
の内面には、第６図に示すように、振動空間を形成する
ための円形の凹部１１と外部電極５ａ、５ｂと引出し＠
極１０ａ、１０ｂの接触面積を増大し接続強度を大きく
するための半円形四部１２が形成されている。外部電極
５ａ、５ｂの間の封止基板４ａ、４ｂの表面には、外部
電極５ａ、５ｂとの間に所定の容量を形成するセンタ電
極６が形成されている。このように構成された圧電部品
は第７図に示すような等価回路を有しており、発振子Ａ
と容量Ｃ，，Ｃ，が一体的に構成された容量付加型の発
振子を構成している。
そして、上記３＃Ａ子型圧型圧電においては、容量ＣＩ
、Ｃ２は第４図に示すように形成されており、その容量
値は封止基板４ａ、４ｂの誘電率ε、厚みｔ、外部電極
５ａ、５ｂとセンタ電極６の間の距離〈ギャップ）Ｇな
どを適当に選択することにより調整されている。
、Ｃ２は第４図に示すように形成されており、その容量
値は封止基板４ａ、４ｂの誘電率ε、厚みｔ、外部電極
５ａ、５ｂとセンタ電極６の間の距離〈ギャップ）Ｇな
どを適当に選択することにより調整されている。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、封止基板４ａ及び４ｂの誘電率ε、厚みｔ、外
部電極５ａ、５ｂとセンタ電極６の間の距離Ｇなどの選
択範囲には、封止基板４ａ、４ｂの機械的強度あるいは
圧電部品としての寸法的な制約その池に起因する制約が
あり、所定の容量を得ることは必すしも容易ではなく、
場合によっては圧電部品として必要な特性を得ることが
できないという問題点がある。
部電極５ａ、５ｂとセンタ電極６の間の距離Ｇなどの選
択範囲には、封止基板４ａ、４ｂの機械的強度あるいは
圧電部品としての寸法的な制約その池に起因する制約が
あり、所定の容量を得ることは必すしも容易ではなく、
場合によっては圧電部品として必要な特性を得ることが
できないという問題点がある。
本願発明は上記の問題点を解決するものであり、組み立
て後にも容易に容量を調整することか可能な圧電部品の
容量調整方法及び該容量調整方法により所定の容量に調
整された容量付加型の圧電部品を提供することを目的と
する。
て後にも容易に容量を調整することか可能な圧電部品の
容量調整方法及び該容量調整方法により所定の容量に調
整された容量付加型の圧電部品を提供することを目的と
する。
［課題を解決するための手段］
上記問題点を解決するなめに、本願発明の圧電部品の周
波数調整方法は、 圧電基板に振動電極を設けてなる圧電素子と、該圧電素
子を両面から挟持する上部及び下部封止基板と、前記封
止基板の両端部に上部封止基板の上面から下部封止基板
の下面にわなって形成された外部電極と、前記外部電極
の間の前記封止基板の表面に設けられ前記外部電極との
間に所定の容量を形成するセンタ電極とを備えた圧電部
品において、 前記外部電極とセンタ電極との間の前記封止基板の表面
に溝を形成することにより前記容量の大きさを調整する
ことを特徴とする。
波数調整方法は、 圧電基板に振動電極を設けてなる圧電素子と、該圧電素
子を両面から挟持する上部及び下部封止基板と、前記封
止基板の両端部に上部封止基板の上面から下部封止基板
の下面にわなって形成された外部電極と、前記外部電極
の間の前記封止基板の表面に設けられ前記外部電極との
間に所定の容量を形成するセンタ電極とを備えた圧電部
品において、 前記外部電極とセンタ電極との間の前記封止基板の表面
に溝を形成することにより前記容量の大きさを調整する
ことを特徴とする。
また、本願発明の圧電部品は、
圧電基板の両面に振動電極及び該振動電極から引出され
た引出し４Ｓ極を設けてなる圧電素子と、前記圧電素子
を両面から挟持する上部及び下部封止基板と、 前記封止基板の両端側に上部封止基板の上面がら下部封
止基板の下面にわたって形成された外部電極と、 前記外部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記
外部＄、極との間に所定の容量を形成するセンタ電極と
を備えるとともに、 前記外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に容
量調整用の溝を設けたことを特徴としている。
た引出し４Ｓ極を設けてなる圧電素子と、前記圧電素子
を両面から挟持する上部及び下部封止基板と、 前記封止基板の両端側に上部封止基板の上面がら下部封
止基板の下面にわたって形成された外部電極と、 前記外部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記
外部＄、極との間に所定の容量を形成するセンタ電極と
を備えるとともに、 前記外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に容
量調整用の溝を設けたことを特徴としている。
し作用］
本願発明の容量調整方法においては、外部電極とセンタ
電極との間の封止基板の表面に消が形成されることによ
り、外部電極とセンタ電極との間の封止基板（誘電体）
の形状か変化する。したかって、封止基板に所定の幅、
深さあるいは断面形状を有する上記溝を形成することに
より外部電極とセンタ電極との間に形成される容量の大
きさを調整することかできる。
電極との間の封止基板の表面に消が形成されることによ
り、外部電極とセンタ電極との間の封止基板（誘電体）
の形状か変化する。したかって、封止基板に所定の幅、
深さあるいは断面形状を有する上記溝を形成することに
より外部電極とセンタ電極との間に形成される容量の大
きさを調整することかできる。
また、本願発明の圧電部品にあっては、外部電極とセン
タ電極との間の封止基板の表面に設けられた容量調整用
の渭により、外部電極とセンタ電極との間に形成される
容量の大きさが所定の値に調整されている。
タ電極との間の封止基板の表面に設けられた容量調整用
の渭により、外部電極とセンタ電極との間に形成される
容量の大きさが所定の値に調整されている。
［実施例］
以下、本願発明の実施例を図に基づいて説明する。
第１図及び第２図は本願発明の一実施例にががる圧電部
品の裏面を示す斜視図及び正置した状態の断面図である
。この実施例において、封止基板４ａ、４ｂの内面の構
造、これらに挾持された圧電素子３などの内部構造は前
述の従来例と同様であるため、その説明を省略する。
品の裏面を示す斜視図及び正置した状態の断面図である
。この実施例において、封止基板４ａ、４ｂの内面の構
造、これらに挾持された圧電素子３などの内部構造は前
述の従来例と同様であるため、その説明を省略する。
第１図及び第２図に示すように、この圧電部品において
は、圧電素子３を挟持する上部及び下部封止基板４ａ、
４ｂの両端部には上部封止基板４ａの上面から下部封止
基板４ｂの下面にわたって形成された２つの外部電極５
ａ、５ｂか形成されている。外部電極５ａ、５ｂの間の
封止基板４ａ４ｂの表面にはこれら外部電極５ａ、５ｂ
との間に所定の容量を形成するセンタ電極６が圧電部品
の全周にわたって形成されている。
は、圧電素子３を挟持する上部及び下部封止基板４ａ、
４ｂの両端部には上部封止基板４ａの上面から下部封止
基板４ｂの下面にわたって形成された２つの外部電極５
ａ、５ｂか形成されている。外部電極５ａ、５ｂの間の
封止基板４ａ４ｂの表面にはこれら外部電極５ａ、５ｂ
との間に所定の容量を形成するセンタ電極６が圧電部品
の全周にわたって形成されている。
第１図及び第２図はすでに容量調整用の溝２０が形成さ
れた状態を示しているが、第３図及び第４図に示すよう
な容量調整前の圧電部品について容量調整を行うにあた
っては、例えば、タイサー等により、下部封止基板４ｂ
の、外部電＆５ａ５ｂとセンタ電［！６との間に容量調
整用の湧２０を形成することにより行う（第１図、第２
図）。
れた状態を示しているが、第３図及び第４図に示すよう
な容量調整前の圧電部品について容量調整を行うにあた
っては、例えば、タイサー等により、下部封止基板４ｂ
の、外部電＆５ａ５ｂとセンタ電［！６との間に容量調
整用の湧２０を形成することにより行う（第１図、第２
図）。
封止基板４ａ、４ｂに容量調整用の涌２０を形成するに
は上記のようにタイサーによる場合に限らす、カッタを
モータで駆動させるようにした切削機械等により切削加
工するようにしてもよく、その他種々の方法で涌２０を
形成することかできる。
は上記のようにタイサーによる場合に限らす、カッタを
モータで駆動させるようにした切削機械等により切削加
工するようにしてもよく、その他種々の方法で涌２０を
形成することかできる。
溝２０の幅、深さ、断面形状などは容量の調整幅などに
応じて適当に選択することかできる。
応じて適当に選択することかできる。
消２０の数についても容量の調整量によりその数を任意
に選択することか可能であり、一つあるいは複数の溝を
形成することにより所定の容量値に調整することができ
る。
に選択することか可能であり、一つあるいは複数の溝を
形成することにより所定の容量値に調整することができ
る。
また、下部封止基板４ｂのみではなく上部封止基板４ａ
にも渭２０を形成することにより、容量の調整幅を増大
させることができる。ただし、実装工程において用いる
チップマウンタが吸引ノズルを用いている場合には、圧
電部品の上面に溝を形成すると該清から空気か洩れて圧
電部品をチップマウンタにより保持できなくなるため、
上部封止基板４ａの表面に溝を形成することは好ましく
ない場合かある。
にも渭２０を形成することにより、容量の調整幅を増大
させることができる。ただし、実装工程において用いる
チップマウンタが吸引ノズルを用いている場合には、圧
電部品の上面に溝を形成すると該清から空気か洩れて圧
電部品をチップマウンタにより保持できなくなるため、
上部封止基板４ａの表面に溝を形成することは好ましく
ない場合かある。
上記の容量調整方法により行った容量調整の例を以下に
示す。
示す。
第１図及び第２図に示すような圧電部品において、その
寸法が幅Ｘ＝４．５ｎｎｎ、長さＹ＝５．８市であると
きに、誘電率ε＝１６００、厚み七０．７＋ｍ、外部電
極とセンタ電極の間の距離Ｇ１．２面とすると、容量Ｃ
１及びＣ２＝約３０ＰＦとなる。
寸法が幅Ｘ＝４．５ｎｎｎ、長さＹ＝５．８市であると
きに、誘電率ε＝１６００、厚み七０．７＋ｍ、外部電
極とセンタ電極の間の距離Ｇ１．２面とすると、容量Ｃ
１及びＣ２＝約３０ＰＦとなる。
この圧電部品の下部封止基板４ｂに、第１図及び第２図
に示すように、深さａ＝Ｏ１２而、幅ｂ＝０．８ｍ＋の
溝２０を２本形成すると、容量Ｃ。
に示すように、深さａ＝Ｏ１２而、幅ｂ＝０．８ｍ＋の
溝２０を２本形成すると、容量Ｃ。
Ｃ，＝約２０ｐＦとなった。
［発明の効果］
上述のように、本願発明の圧電部品の容量調整方法は、
外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に所定の
幅、深さあるいは断面形状を有する溝を形成して外部電
極とセンタ電極との間に形成される容量を調整するよう
に構成しているので、組み立て後に容量を調整して圧電
部品に所望の容量値を持たせることができる。
外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に所定の
幅、深さあるいは断面形状を有する溝を形成して外部電
極とセンタ電極との間に形成される容量を調整するよう
に構成しているので、組み立て後に容量を調整して圧電
部品に所望の容量値を持たせることができる。
また、本願発明の圧電部品は、外部電極とセンタ電極と
の間の封止基板の表面に溝を設けることにより容量調整
が行われており、安価で所定の容量が付加された圧電部
品として、フィルタ回路など種々の用途に用いることが
できる。
の間の封止基板の表面に溝を設けることにより容量調整
が行われており、安価で所定の容量が付加された圧電部
品として、フィルタ回路など種々の用途に用いることが
できる。
第１図は本願発明の一実施例を示す斜視図、第２図はそ
の断面図、第３図は本願発明の方法で容量調整する前の
圧電部品すなわち従来の圧電部品を示す斜視図、第４図
はその断面図、第５図は圧電部品の圧電素子を示す図、
第６図は封止基板の内面を示す斜視図、第７図は従来の
圧電部品の等価回路示す図である。 図において同一符号は同一または相当部分を示す。 １・・・・・・圧電基板 ２ａ、２ｂ・・・・・・振動電極 ３・・・・・・圧電素子 ４ａ、４ｂ・・・・・・封止基板 ５ａ、５ｂ・・・・・・外部電極 ６・・・・・・センタ電極 ２０・・・・・・溝
の断面図、第３図は本願発明の方法で容量調整する前の
圧電部品すなわち従来の圧電部品を示す斜視図、第４図
はその断面図、第５図は圧電部品の圧電素子を示す図、
第６図は封止基板の内面を示す斜視図、第７図は従来の
圧電部品の等価回路示す図である。 図において同一符号は同一または相当部分を示す。 １・・・・・・圧電基板 ２ａ、２ｂ・・・・・・振動電極 ３・・・・・・圧電素子 ４ａ、４ｂ・・・・・・封止基板 ５ａ、５ｂ・・・・・・外部電極 ６・・・・・・センタ電極 ２０・・・・・・溝
Claims (2)
- （１）圧電基板に振動電極を設けてなる圧電素子と、該
圧電素子を両面から挾持する上部及び下部封止基板と、
前記封止基板の両端部に上部封止基板の上面から下部封
止基板の下面にわたって形成された外部電極と、前記外
部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記外部電
極との間に所定の容量を形成するセンタ電極とを備えた
圧電部品において、 前記外部電極とセンタ電極との間の前記封止基板の表面
に溝を形成することにより前記容量の大きさを調整する
ことを特徴とする圧電部品の容量調整方法。 - （２）圧電基板の両面に振動電極及び該振動電極から引
出された引出し電極を設けてなる圧電素子と、前記圧電
素子を両面から挟持する上部及び下部封止基板と、 前記封止基板の両端側に上部封止基板の上面から下部封
止基板の下面にわたって形成された外部電極と、 前記外部電極の間の前記封止基板の表面に設けられ前記
外部電極との間に所定の容量を形成するセンタ電極とを
備えるとともに、 前記外部電極とセンタ電極との間の封止基板の表面に容
量調整用の溝を設けたこと を特徴とする圧電部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19579990A JPH0779220B2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19579990A JPH0779220B2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0482312A true JPH0482312A (ja) | 1992-03-16 |
| JPH0779220B2 JPH0779220B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=16347172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19579990A Expired - Fee Related JPH0779220B2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 圧電部品の容量調整方法及び圧電部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779220B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7569977B2 (en) * | 2006-08-02 | 2009-08-04 | Cts Corporation | Laser capacitance trimmed piezoelectric element and method of making the same |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP19579990A patent/JPH0779220B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7569977B2 (en) * | 2006-08-02 | 2009-08-04 | Cts Corporation | Laser capacitance trimmed piezoelectric element and method of making the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0779220B2 (ja) | 1995-08-23 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |