JPH048250U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH048250U JPH048250U JP4805090U JP4805090U JPH048250U JP H048250 U JPH048250 U JP H048250U JP 4805090 U JP4805090 U JP 4805090U JP 4805090 U JP4805090 U JP 4805090U JP H048250 U JPH048250 U JP H048250U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- ion
- container
- vacuum
- roy
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の装置の正面図、第２図は本考
案の装置の側面図、第３図は異形状のイオン源の
取り付け方法を説明する図、第４図はイオン源を
１台あるいは２２台しか使用しない場合の、イオ
ン源の取り付け方法を説明する図、第５図は排気
装置を示す図である。 １……イオン源取り付け部、２……排気部、３
……電源部、４……操作部、５……表示板、６…
…イオン源、７……電線、８……フランジ、９…
…異形状イオン源、１０……変換用フランジ、１
１……カバー、１２……容器、１３……バルブ、
１４……排気ポンプ、１５……補助ポンプ、１６
……真空ゲージ、１７……バルブ、１８……端子
。
案の装置の側面図、第３図は異形状のイオン源の
取り付け方法を説明する図、第４図はイオン源を
１台あるいは２２台しか使用しない場合の、イオ
ン源の取り付け方法を説明する図、第５図は排気
装置を示す図である。 １……イオン源取り付け部、２……排気部、３
……電源部、４……操作部、５……表示板、６…
…イオン源、７……電線、８……フランジ、９…
…異形状イオン源、１０……変換用フランジ、１
１……カバー、１２……容器、１３……バルブ、
１４……排気ポンプ、１５……補助ポンプ、１６
……真空ゲージ、１７……バルブ、１８……端子
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 イ イオン注入機用イオン源を収納する容器をも
つ。 ロ イに示す容器を真空に排気できる。 ハ イオン注入機用イオン源を加熱できる。 以上のように構成された装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4805090U JPH048250U (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4805090U JPH048250U (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048250U true JPH048250U (ja) | 1992-01-24 |
Family
ID=31564524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4805090U Pending JPH048250U (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048250U (ja) |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP4805090U patent/JPH048250U/ja active Pending