JPH0189452U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0189452U JPH0189452U JP18512687U JP18512687U JPH0189452U JP H0189452 U JPH0189452 U JP H0189452U JP 18512687 U JP18512687 U JP 18512687U JP 18512687 U JP18512687 U JP 18512687U JP H0189452 U JPH0189452 U JP H0189452U
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- JP
- Japan
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- evacuated chamber
- dust suction
- high voltage
- evacuating
- vacuum
- Prior art date
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- Granted
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Description
第１図は本考案の一実施例の概略構成図、第２
図は高電圧吸塵筒を説明するための図である。 １：被排気室、２：排気管、３：排気ポンプ、
４：排気バルブ、５：リーク管、６：リークバル
ブ、７：高電圧吸塵筒、８：シリカゲル容器、９
：絶縁部材、１０：保護容器、１１：リークスイ
ツチ、１２：高電圧電源、１３：高圧導入端子。
図は高電圧吸塵筒を説明するための図である。 １：被排気室、２：排気管、３：排気ポンプ、
４：排気バルブ、５：リーク管、６：リークバル
ブ、７：高電圧吸塵筒、８：シリカゲル容器、９
：絶縁部材、１０：保護容器、１１：リークスイ
ツチ、１２：高電圧電源、１３：高圧導入端子。
Claims (1)
- 被排気室と、該被排気室を真空に排気するため
の排気ポンプとを備えた装置において、前記被排
気室の大気導入経路に高電圧吸塵手段を設けたこ
とを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987185126U JPH0610610Y2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987185126U JPH0610610Y2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0189452U true JPH0189452U (ja) | 1989-06-13 |
| JPH0610610Y2 JPH0610610Y2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=31476454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987185126U Expired - Lifetime JPH0610610Y2 (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610610Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5853829A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム露光装置 |
| JPS611485A (ja) * | 1984-06-13 | 1986-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビ−ム溶接装置 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP1987185126U patent/JPH0610610Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5853829A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム露光装置 |
| JPS611485A (ja) * | 1984-06-13 | 1986-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビ−ム溶接装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610610Y2 (ja) | 1994-03-16 |