JPH0483557A - 光硬化性樹脂皮膜の形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、スピンコーティングによって光硬化性樹脂の
厚さが均一な皮膜を被コーティング材面に、特に表面が
凹凸面に形成されている被コーティング材面に光硬化性
樹脂皮膜を均一な厚さに形成する方法に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来、光硬化性樹脂を基材にスピンコーティングする場
合は、基材が回転される前、あるいは回転中に光硬化性
樹脂を基材上に滴下して基材面に前記光硬化性樹脂の原
液を塗布したのち、前記基材の回転を終了停止してから
前記基材のコーティング面に光を照射することにより光
硬化性樹脂の硬化を行い皮膜を形成していた。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、第４図に示すように被コーティング材の
表面が凹凸面に形成されている場合、基材の回転が減速
し始めてから光硬化性樹脂の原液の硬化が完全に終了し
て光硬化性樹脂皮膜が形成されるまでの間に、前記光硬
化性樹脂４の原液が凸部から凹部へ流れ込んでしまい、
第４図に示すように凹部がほぼ埋められた状態になり被
コーティング材の表面形状に沿った皮膜が形成できない
という欠点があった。

本発明は上述した問題点を解決するためになされたもの
であって、基材の凹凸に沿った均一な光硬化性樹脂皮膜
の形成が可能なスピンコーティング皮膜形成方法を提供
することを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、被コーティング材の面上にスピンコーティン
グによって光硬化性樹脂皮膜を形成する工程において、
前記光硬化性樹脂皮膜を形成するための原液を回転中の
前記被コーティング材面上に塗布したのち、前記被コー
ティング材が回転中に光照射を行い、前記光硬化性樹脂
皮膜の光硬化を行うことを特徴とする光硬化性樹脂皮膜
の形成方法を要旨とするものである。

［作用］ 光硬化性樹脂皮膜を形成するための原液を回転中の被コ
ーティング材面上に塗布した後、被コーティング材が回
転中に光照射を行なうために、均一な膜厚を保持したま
まの状態で光硬化が進み、基材に凹凸があっても凹凸に
沿った均一な光硬化樹脂皮膜を形成することができる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例について図面を参照して詳細に
説明する。第１図において、被コーティング材としての
ポリスチレン製の板１には深さ１００μｍ、幅１００μ
ｍの溝６が形成されている。

このポリスチレン板１をスピンコーター（商品名：ミカ
サスビンナーＩＨ−ＤＳ型）の回転軸２に固定し、回転
させながら反応開始剤（商品名：工ＲＵＧＡＣＵＲＥ−
９０７）を１％添加した光硬化性樹脂（商品名：アロニ
ックスＭ−３１０、東亜合成化学製）４を、上記溝６が
形成されている板１の被コーティング面７上にスポイト
３で滴下する。回転は８０００　ｒｐｍで１分３０秒行
うが、回転開始直後に反応開始剤を添加した光硬化性樹
脂の原液の滴下を開始し、最初の３０秒が経過したのち
、被コーティング面上に紫外線の照射を開始し、１分間
照射して光硬化性樹脂の硬化を行ったのち、スピンコー
ターの回転を停止する。

このような工程によってスピンコーティングを行った結
果、ポリスチレン板１の被コーティング面７上に、溝６
にもほぼ均一の厚さに光硬化性樹脂皮膜５が形成された
（第２図）。

［発明の効果］ 以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、光硬化性樹脂の原液が被コーティング材が回転中に塗
布され、しかも回転中に光照射によって硬化されるので
、被コーティング面が凹凸面に形成されていても、従来
のスピンコーティングのように樹脂原液が凹部に貯まっ
てがら光照射により硬化することが防止できるので、凹
凸の形状に沿ってほぼ均一の厚さを有する光硬化性樹脂
皮膜を形成することが可能である。

また、本発明は迷光のない光導波路の成形工程に実施す
ることができる。その実施例について第３図で説明する
。

まず、第３図（ａ）に示す溝形状を有し不透明材料によ
り形成された基材１１の溝部１２を有する面に光硬化性
樹脂被膜を形成するための原液例えば上記アロニックス
Ｍ−３１０をスピンコーティングし、回転中に光照射を
行ない光硬化を行なって、薄く均一な膜厚の低屈折率の
透光性材料層１３を形成し［第３図（ｂ）］、次に基材
１１の溝部に高屈折率の透光性材料（光硬化性樹脂）　
１４例えばアロニックスＭ−２１０を注入した後、光を
照射して、透光性材料１４を硬化させ、コアを形成させ
る［第３図（Ｃ）１゜次いで、コア材の形成された基材
１１のコア側の平面に低屈折率の透光性材料１５をスプ
レーコート法、スピンコード法等の方法により塗布する
［第３図（ｄ月。透光性材料１３とは同一の材料かまた
は近似した屈折率を有する材料である。

このようにして得られる光導波路では低屈折率の透光性
材料１３．１５がクラッドとして、高屈折率の透光性材
料１４がコアとして働き、かつ、クラッドの幅をコア材
の幅に比べて十分に小さくすることができ、しかも、コ
アとコアの間を不透明材料で仕切ることができるのでク
ラッド部を伝搬する迷光を無視できるほど小さ（抑える
ことが可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光硬化性樹脂皮膜の形成方法を示す説
明図、第２図は本発明の方法で光硬化性樹脂皮膜を形成
した場合の断面図、第３図（ａ）。 （ｂ）　、　（ｃ）　、　（ｄ）は本発明の方法を適用
して光導波路を形成する工程を示す断面図、第４図は従
来の方法でスピンコーティングした場合の断面図である
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被コーティング材の面上にスピンコーティングに
   よって光硬化性樹脂皮膜を形成する工程において、前記
   光硬化性樹脂皮膜を形成するための原液を回転中の前記
   被コーティング材面上に塗布したのち、前記被コーティ
   ング材が回転中に光照射を行い、前記光硬化性樹脂皮膜
   の光硬化を行うことを特徴とする光硬化性樹脂皮膜の形
   成方法。
2. （２）前記被コーティング材の被コーティング面が凹凸
   面であることを特徴とする請求項１記載の方法。