JPH0484280A - 高精度ピーク認定法 - Google Patents
高精度ピーク認定法Info
- Publication number
- JPH0484280A JPH0484280A JP2200279A JP20027990A JPH0484280A JP H0484280 A JPH0484280 A JP H0484280A JP 2200279 A JP2200279 A JP 2200279A JP 20027990 A JP20027990 A JP 20027990A JP H0484280 A JPH0484280 A JP H0484280A
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- Japan
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- value
- differential
- point
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- Measurement Of Radiation (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、ＥＰＭＡ等によって得られるスペクトルデー
タからスペクトルピークを高精度（高信頼性）で認定す
る方法に関する。
タからスペクトルピークを高精度（高信頼性）で認定す
る方法に関する。
ＥＰＭＡ等で得られるスペクトルには、測定試料からの
特性Ｘ線から得られる検出信号以外に、ノイズや周辺か
ら入射する他のＸ線からの検出信号が含まれており、ま
た、特性Ｘ線からの信号でも、ランダムに入射するため
に、統計的なゆらぎがあって、充分な積分時間をかけな
ければ、滑らかな曲線のスペクトルデータにはならない
。通常は、ピークが判定できる程度の積分時間で測定を
行うために、得られるスペクトルは、ギザギザ状となっ
ている。そこでスペクトルデータは、先ずスムージング
処理がなされギザギザのない理想的な曲線状とした後に
、バックグランドから突出した部分をスペクトルピーク
と認定していた。
特性Ｘ線から得られる検出信号以外に、ノイズや周辺か
ら入射する他のＸ線からの検出信号が含まれており、ま
た、特性Ｘ線からの信号でも、ランダムに入射するため
に、統計的なゆらぎがあって、充分な積分時間をかけな
ければ、滑らかな曲線のスペクトルデータにはならない
。通常は、ピークが判定できる程度の積分時間で測定を
行うために、得られるスペクトルは、ギザギザ状となっ
ている。そこでスペクトルデータは、先ずスムージング
処理がなされギザギザのない理想的な曲線状とした後に
、バックグランドから突出した部分をスペクトルピーク
と認定していた。
上述した従来例は、単にスムージングされたスベクトル
データで突出している部分を、ピークと認定するだけな
ので、偶然存在したノイズのピークを眞のピークと誤認
したり、逆に、ピークと認定するための選別レベル以下
の眞のピークを見逃すと云うことがあって、信頼性が充
分でなかった本発明は、再度チエツクすることにより、
検出ピークの信頼性をより高めることを目的とする。
データで突出している部分を、ピークと認定するだけな
ので、偶然存在したノイズのピークを眞のピークと誤認
したり、逆に、ピークと認定するための選別レベル以下
の眞のピークを見逃すと云うことがあって、信頼性が充
分でなかった本発明は、再度チエツクすることにより、
検出ピークの信頼性をより高めることを目的とする。
Ｘ線分光分析等で得てスムージングされたスペクトルデ
ータを微分して、微分値が十から−に変わる地点く微分
変曲点）を検索し、その微分変曲点をピーク頂点として
取り合えず認定し、同ピーク頂点における検出信号強度
値を（ＰＫ）とし、同（ＰＫ）から半値幅を推定し、上
記ピーク頂点から両側に上記半値幅のｎ倍離れた地点の
検出信号強度値を、バックグランド値［（ＢＧ−）、（
ＢＧ＋）］とし、上記ピーク信号強度値（ＰＫ）が、 （Ｆ’Ｋ） −［ｋＸ Ｅ Ｇ−） 士、（ＢＧ
＋）Ｊ／２±＋ （Ｂ（、−） ＋ （ＢＧ＋） ）
／２］ ＞０を満足させる時、（ＰＫ）をピーク値とし
て認定するようにした。
ータを微分して、微分値が十から−に変わる地点く微分
変曲点）を検索し、その微分変曲点をピーク頂点として
取り合えず認定し、同ピーク頂点における検出信号強度
値を（ＰＫ）とし、同（ＰＫ）から半値幅を推定し、上
記ピーク頂点から両側に上記半値幅のｎ倍離れた地点の
検出信号強度値を、バックグランド値［（ＢＧ−）、（
ＢＧ＋）］とし、上記ピーク信号強度値（ＰＫ）が、 （Ｆ’Ｋ） −［ｋＸ Ｅ Ｇ−） 士、（ＢＧ
＋）Ｊ／２±＋ （Ｂ（、−） ＋ （ＢＧ＋） ）
／２］ ＞０を満足させる時、（ＰＫ）をピーク値とし
て認定するようにした。
スペクトルデータをスムージング処理し、スムージング
処理したスペクトルデータを微分して、微分変曲点を検
索し、検索された微分変曲点に存在するピークが、検出
ピークであるがどうかを判定する。この判定は、スムー
ジングされたスペクトルのベースラインより、一定値（
選別レベル）以上突出していればピークと認定すると云
う方法でピークを検出するのではなく、微分信号の正負
反転によってピークを検出するので、微小なピークでも
見逃さない。他方、これではピークの過剰検出の恐れも
ある。そこで、本発明では、更に、次のピーク検定を行
い、２重検出でピークを確認しているのである。 成る物質に電子線を照射し、発生する放射線を検出器で
検出する放射線測定では、検出信号には統計変動誤差が
存在する。そして、この変動誤差は、直値に対して、ガ
ウス分布をなす、従って、放射線の測定値に対して、誤
差標準偏差σは、σ＝Ｆ１０
処理したスペクトルデータを微分して、微分変曲点を検
索し、検索された微分変曲点に存在するピークが、検出
ピークであるがどうかを判定する。この判定は、スムー
ジングされたスペクトルのベースラインより、一定値（
選別レベル）以上突出していればピークと認定すると云
う方法でピークを検出するのではなく、微分信号の正負
反転によってピークを検出するので、微小なピークでも
見逃さない。他方、これではピークの過剰検出の恐れも
ある。そこで、本発明では、更に、次のピーク検定を行
い、２重検出でピークを確認しているのである。 成る物質に電子線を照射し、発生する放射線を検出器で
検出する放射線測定では、検出信号には統計変動誤差が
存在する。そして、この変動誤差は、直値に対して、ガ
ウス分布をなす、従って、放射線の測定値に対して、誤
差標準偏差σは、σ＝Ｆ１０
【「玉−
となる。このことより、測定値から１．５σの範囲内を
とると約９割（８７％）の確からしさとなることから、
測定値の１．５σ範囲内がバックグランドの１．５σ範
囲内と交わらなくなった時に、測定値がバックグランド
と有為差があると判定されるので、以下の判定式で判定
行うことができる。 ［＜ＰＫ）−１，５ｆ−でゴ「ｘ−Ｔ］ −Ｅ （
（ＢＧ−） ＋（ＢＧ十ン）／２＋１．５ｘ、／７ｒ丁
丁＝Ｔ下で］丁マ「１−Σ１７二Σコ 〉Ｏ また、微小ピークの場合、ピーク強度尋バックグランド
強度となるので、 Ｊ（ＰＫ） 岬 ン Ｇ−十 ＢＧ＋））
／２であり、上式は、 （ＰＫ） −［３Ｘ −十 ＢＧ＋
）’７／２＋ ＋ （ＢＧ−）＋ （ＢＧ＋））／２］
＞０となり、実験等、経験的にこの式が最も判定精度
が高い。 上述したように、一応ピークと認定された点の検出信号
ＰＫが、その両側の適当に離れたバックグランド部分と
見られる位置の検出信号から内挿されたピーク位置での
バックグランドに、そのバックグランドの平方根のに倍
を加えた値より突出しているか否かを判定することで、
当初認定したピークが眞のピークか否がを再度チエツク
しているのである。 【実施例】 第１図〜第４図に本発明のデータ処理方法の一実施例を
示す、第１図は電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）
等で得られた未処理のスペクトルデータであるにの未処
理のスペクトルデータをスム−ジグ処理し、第２図に示
すようなスペクトルデータに変換する。このスペクトル
データを微分すると、第３図に示す微分曲線（増減関数
曲線）となる、ピーク頂上は増加から減少に変化する地
点であるから、微分曲線において十から−に変わる地点
く微分変曲点）にあると考えられる。 従って、微分曲線において、微分変曲点を検索し、その
微分変曲点における、検出信号強度値（ＰＫ）を調べて
記憶させると共に、第４図に示すように、ピーク点にお
ける検出信号強度（ＰＫ）に対応する半値幅を推定し、
ピーク頂点から尚早値幅の３倍離れた地点の検出信号強
度値を調べ、同強度値をバックグランド値［（ＢＧ−）
、（ＢＧ十）］とする、上記ピーク信号強度値（ＰＫ）
を（ＰＫ）−［３Ｘ （ＢＧ −＋ ＢＧ＋＞７／
２＋ ＋ （ＢＧ ＝） ＋ ＣＢＧ ＋＞
１ ／２ コ 〉０に代入して、不等式が成立した
場合、（ＰＫ）をピーク値として認定する。 バックグランドの測定位置について説明する。 通常のスペクトルピーク波形も、ガウス分布をなす、し
かし、強度の点においては、直値から１゜５σ離れた地
点でも、ピーク強度の３２％位の強度を有しており、３
σ離れた地点では、ピーク強度の１％位の強度となるの
で、ＥＰＭＡによるＸ線強度測定では、装置安定性、試
料の平滑性、清浄性等の問題を考慮して、通常、測定誤
差は１％以下を目標としている。このため、バックグン
ド位置は、間に他のピークが存在しない時、３σ離れた
地点を設定することで、ピークによる影響を殆ど除くこ
とができる。なお、半値幅は約１．２σである。
とると約９割（８７％）の確からしさとなることから、
測定値の１．５σ範囲内がバックグランドの１．５σ範
囲内と交わらなくなった時に、測定値がバックグランド
と有為差があると判定されるので、以下の判定式で判定
行うことができる。 ［＜ＰＫ）−１，５ｆ−でゴ「ｘ−Ｔ］ −Ｅ （
（ＢＧ−） ＋（ＢＧ十ン）／２＋１．５ｘ、／７ｒ丁
丁＝Ｔ下で］丁マ「１−Σ１７二Σコ 〉Ｏ また、微小ピークの場合、ピーク強度尋バックグランド
強度となるので、 Ｊ（ＰＫ） 岬 ン Ｇ−十 ＢＧ＋））
／２であり、上式は、 （ＰＫ） −［３Ｘ −十 ＢＧ＋
）’７／２＋ ＋ （ＢＧ−）＋ （ＢＧ＋））／２］
＞０となり、実験等、経験的にこの式が最も判定精度
が高い。 上述したように、一応ピークと認定された点の検出信号
ＰＫが、その両側の適当に離れたバックグランド部分と
見られる位置の検出信号から内挿されたピーク位置での
バックグランドに、そのバックグランドの平方根のに倍
を加えた値より突出しているか否かを判定することで、
当初認定したピークが眞のピークか否がを再度チエツク
しているのである。 【実施例】 第１図〜第４図に本発明のデータ処理方法の一実施例を
示す、第１図は電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）
等で得られた未処理のスペクトルデータであるにの未処
理のスペクトルデータをスム−ジグ処理し、第２図に示
すようなスペクトルデータに変換する。このスペクトル
データを微分すると、第３図に示す微分曲線（増減関数
曲線）となる、ピーク頂上は増加から減少に変化する地
点であるから、微分曲線において十から−に変わる地点
く微分変曲点）にあると考えられる。 従って、微分曲線において、微分変曲点を検索し、その
微分変曲点における、検出信号強度値（ＰＫ）を調べて
記憶させると共に、第４図に示すように、ピーク点にお
ける検出信号強度（ＰＫ）に対応する半値幅を推定し、
ピーク頂点から尚早値幅の３倍離れた地点の検出信号強
度値を調べ、同強度値をバックグランド値［（ＢＧ−）
、（ＢＧ十）］とする、上記ピーク信号強度値（ＰＫ）
を（ＰＫ）−［３Ｘ （ＢＧ −＋ ＢＧ＋＞７／
２＋ ＋ （ＢＧ ＝） ＋ ＣＢＧ ＋＞
１ ／２ コ 〉０に代入して、不等式が成立した
場合、（ＰＫ）をピーク値として認定する。 バックグランドの測定位置について説明する。 通常のスペクトルピーク波形も、ガウス分布をなす、し
かし、強度の点においては、直値から１゜５σ離れた地
点でも、ピーク強度の３２％位の強度を有しており、３
σ離れた地点では、ピーク強度の１％位の強度となるの
で、ＥＰＭＡによるＸ線強度測定では、装置安定性、試
料の平滑性、清浄性等の問題を考慮して、通常、測定誤
差は１％以下を目標としている。このため、バックグン
ド位置は、間に他のピークが存在しない時、３σ離れた
地点を設定することで、ピークによる影響を殆ど除くこ
とができる。なお、半値幅は約１．２σである。
本発明によれば、検出ピークの認定がより高精度になっ
た。
た。
第１図は本発明の一実施例の未処理のスペクトルデータ
、第２図は上記実施例のスムージング処理したスペクト
ルデータ、第３図は上記実施例の微分曲線（増減関数曲
線）、第４図は上記実施例のデータ処理説明図である。
、第２図は上記実施例のスムージング処理したスペクト
ルデータ、第３図は上記実施例の微分曲線（増減関数曲
線）、第４図は上記実施例のデータ処理説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｘ線分光分析等で得てスムージングされたスペクトルデ
ータを微分して、微分値が＋から−に変わる地点（微分
変曲点）を検索し、その微分変曲点をピーク頂点として
取り合えず認定し、同ピーク頂点における検出信号強度
値を（ＰＫ）とし、同（ＰＫ）から半値幅を推定し、上
記ピーク頂点から両側に上記半値幅のｎ倍離れた地点の
検出信号強度値を、バックグランド値［（ＢＧ−）、（
ＢＧ＋）］とし、上記ピーク信号強度値（ＰＫ）が、 ▲数式、化学式、表等があります▼ を満足させる時、（ＰＫ）をピーク値として認定するよ
うにしたことを特徴とする高精度ピーク認定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2200279A JPH07104956B2 (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | 高精度ピーク認定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2200279A JPH07104956B2 (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | 高精度ピーク認定法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0484280A true JPH0484280A (ja) | 1992-03-17 |
| JPH07104956B2 JPH07104956B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=16421675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2200279A Expired - Fee Related JPH07104956B2 (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | 高精度ピーク認定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104956B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010517015A (ja) * | 2007-01-17 | 2010-05-20 | イノベイティブ アメリカン テクノロジー， インコーポレイテッド | スペクトル解析のための高度パターン認識システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62103553A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-14 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法 |
| JPH01199276A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | Nec Corp | 検査装置 |
-
1990
- 1990-07-26 JP JP2200279A patent/JPH07104956B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62103553A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-14 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光器におけるピ−ク検出方法 |
| JPH01199276A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | Nec Corp | 検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010517015A (ja) * | 2007-01-17 | 2010-05-20 | イノベイティブ アメリカン テクノロジー， インコーポレイテッド | スペクトル解析のための高度パターン認識システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07104956B2 (ja) | 1995-11-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071113 Year of fee payment: 12 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081113 Year of fee payment: 13 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091113 Year of fee payment: 14 |
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