JPH048728B2 - - Google Patents
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- JPH048728B2 JPH048728B2 JP6538181A JP6538181A JPH048728B2 JP H048728 B2 JPH048728 B2 JP H048728B2 JP 6538181 A JP6538181 A JP 6538181A JP 6538181 A JP6538181 A JP 6538181A JP H048728 B2 JPH048728 B2 JP H048728B2
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 64
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
- G01D5/2033—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils controlling the saturation of a magnetic circuit by means of a movable element, e.g. a magnet
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、位置検出や位置決めサーボ用のアナ
ログ検出信号を出力する磁気センサに関し、特
に、枠体形状の可飽和コアに巻装した一対の検出
コイルによつて検出信号を得るようにした磁気ヘ
ツドを用いた磁気センサに関する。
ログ検出信号を出力する磁気センサに関し、特
に、枠体形状の可飽和コアに巻装した一対の検出
コイルによつて検出信号を得るようにした磁気ヘ
ツドを用いた磁気センサに関する。
例えば実公昭48−10175号公報や特公昭48−
5512号公報、特公昭48−16855号公報などに開示
されているように、枠体形状の可飽和コアに一対
の検出コイルを巻装してなる磁気センサでは、交
流信号源を上記可飽和コアに巻装された一対の検
出コイルを介してダイオードによる平衡検波器を
接続することによつて、上記可飽和コアに印加さ
れる外部磁界の大きさに比例した検波出力が上記
平衡検波器に得られる。
5512号公報、特公昭48−16855号公報などに開示
されているように、枠体形状の可飽和コアに一対
の検出コイルを巻装してなる磁気センサでは、交
流信号源を上記可飽和コアに巻装された一対の検
出コイルを介してダイオードによる平衡検波器を
接続することによつて、上記可飽和コアに印加さ
れる外部磁界の大きさに比例した検波出力が上記
平衡検波器に得られる。
すなわち、この種の磁気センサでは、枠体形状
の可飽和コアに外部直流磁界が印加されると、上
記検出コイルが巻装されていない相対向する磁脚
部間に上記外部流磁界による磁位差を生じ、この
磁脚部間の磁位差に応じた磁束が上記一対の検出
コイルが巻装された相対向する磁脚部に同じ向き
に通ることにより、上記各磁脚部の飽和状態が変
化し、上記外部直流磁界の大きさに比例して上記
一対の検出コイルのインピーダンスが差動的に変
化する。従つて、上記可飽和コアに印加される外
部直流磁界の大きさに比例した検派出力が上記平
衡検波器に得られる。
の可飽和コアに外部直流磁界が印加されると、上
記検出コイルが巻装されていない相対向する磁脚
部間に上記外部流磁界による磁位差を生じ、この
磁脚部間の磁位差に応じた磁束が上記一対の検出
コイルが巻装された相対向する磁脚部に同じ向き
に通ることにより、上記各磁脚部の飽和状態が変
化し、上記外部直流磁界の大きさに比例して上記
一対の検出コイルのインピーダンスが差動的に変
化する。従つて、上記可飽和コアに印加される外
部直流磁界の大きさに比例した検派出力が上記平
衡検波器に得られる。
このように、枠体形状の可飽和コアに一対の検
出コイルを巻装してなる磁気センサでは、外部直
流磁界の印加に伴う各磁脚部の飽和状態の変化に
よる一対の検出コイルのインピーダンスの差動的
な変化として、上記外部直流磁界の大きさを検出
することができる。そして、上記検出コイルが巻
装されていない相対向する磁脚部間の磁位差は、
外部直流磁界の大きさに比例するもので、上記外
部直流磁界を発生する発磁体と磁気センサとの相
対位置により変化する。
出コイルを巻装してなる磁気センサでは、外部直
流磁界の印加に伴う各磁脚部の飽和状態の変化に
よる一対の検出コイルのインピーダンスの差動的
な変化として、上記外部直流磁界の大きさを検出
することができる。そして、上記検出コイルが巻
装されていない相対向する磁脚部間の磁位差は、
外部直流磁界の大きさに比例するもので、上記外
部直流磁界を発生する発磁体と磁気センサとの相
対位置により変化する。
この種の磁気センサは、例えば第1図に示すよ
うに信号用発磁体1と磁気ヘツド2とを相対移動
自在に設け、各種工作機械等における定点検出や
位置決めサーボ制御用の信号を得るようにした所
謂マグネセンサやマグネスイツチとして従来より
知られている。第1図において、信号用発磁体1
は、磁気ヘツド2との相対移動方向(図中矢印X
方向)に一致した方向の磁化が施された永久磁石
である。また、磁気ヘツド2は、枠体形状の可飽
和コア3の相対向する磁脚部に一対の検出コイル
4が巻装されて成り、上記相対移動方向(矢印X
方向)に対して垂直な平面(Y−Z平面)に可飽
和コア3が位置されている。そして、この磁気ヘ
ツ2は、発磁体1による磁界のZ軸方向の磁位差
についてY−Z平面を利用して検出し、上記信号
用発磁体1との相対位置に応じた第2図に示す如
きの検出信号を出力する。
うに信号用発磁体1と磁気ヘツド2とを相対移動
自在に設け、各種工作機械等における定点検出や
位置決めサーボ制御用の信号を得るようにした所
謂マグネセンサやマグネスイツチとして従来より
知られている。第1図において、信号用発磁体1
は、磁気ヘツド2との相対移動方向(図中矢印X
方向)に一致した方向の磁化が施された永久磁石
である。また、磁気ヘツド2は、枠体形状の可飽
和コア3の相対向する磁脚部に一対の検出コイル
4が巻装されて成り、上記相対移動方向(矢印X
方向)に対して垂直な平面(Y−Z平面)に可飽
和コア3が位置されている。そして、この磁気ヘ
ツ2は、発磁体1による磁界のZ軸方向の磁位差
についてY−Z平面を利用して検出し、上記信号
用発磁体1との相対位置に応じた第2図に示す如
きの検出信号を出力する。
また、従来より位置決めサーボ制御等を行う場
合には、上述の第1図に示した如き構成のマグネ
センサによるアナログ検出信号をサーボ信号とし
て用いるとともに、第3図に示すように発磁体5
の着磁面と磁気ヘツド6の可飽和コア7とを平行
に配置したゲート用マグネセンサから第4図に示
すようなゲート信号を得て、該ゲート信号による
動作範囲L内で上記サーボ信号にてサーボ制御を
行なうようにして、上記マグネセンサによるアナ
ログ検出信号の直線性の良好な範囲内にサーボの
安定点を位置させるようにしている。
合には、上述の第1図に示した如き構成のマグネ
センサによるアナログ検出信号をサーボ信号とし
て用いるとともに、第3図に示すように発磁体5
の着磁面と磁気ヘツド6の可飽和コア7とを平行
に配置したゲート用マグネセンサから第4図に示
すようなゲート信号を得て、該ゲート信号による
動作範囲L内で上記サーボ信号にてサーボ制御を
行なうようにして、上記マグネセンサによるアナ
ログ検出信号の直線性の良好な範囲内にサーボの
安定点を位置させるようにしている。
ところで、上述の如き各構成の従来のマグネセ
ンサにおいては、発磁体1,5による磁界のX−
Y平面の磁位差に着目した検出を行つているの
で、磁気ヘツド2,6を形成する可飽和コア3,
7の横巾Wよりも広いトラツク巾Tの発磁体1,
5を用いなければならず、マグネセンサ全体の形
状が大型化せざるを得ない。特に、上述の如き2
個のマグネセンサによつてゲート信号とアナログ
サーボ信号とを得るようにする場合には、その取
付け位置等の制約があることから小型化を図るこ
とが望まれている。
ンサにおいては、発磁体1,5による磁界のX−
Y平面の磁位差に着目した検出を行つているの
で、磁気ヘツド2,6を形成する可飽和コア3,
7の横巾Wよりも広いトラツク巾Tの発磁体1,
5を用いなければならず、マグネセンサ全体の形
状が大型化せざるを得ない。特に、上述の如き2
個のマグネセンサによつてゲート信号とアナログ
サーボ信号とを得るようにする場合には、その取
付け位置等の制約があることから小型化を図るこ
とが望まれている。
本発明は、上述の如き従来例における問題点に
鑑み、位置決めサーボ制御等の行なうのに使用さ
れる磁気センサの小型化を可能にすることを目的
とし、トラツク巾の狭い発磁体によつて区間信号
を得ることができるようにした磁気センサを提供
するものである。
鑑み、位置決めサーボ制御等の行なうのに使用さ
れる磁気センサの小型化を可能にすることを目的
とし、トラツク巾の狭い発磁体によつて区間信号
を得ることができるようにした磁気センサを提供
するものである。
以下、本発明について一実施例を示す図面に従
い詳細に説明する。
い詳細に説明する。
本発明に係る磁気センサは、例えば第5図に示
す実施例のように、相対移動自在に設けた発磁体
10と磁気ヘツド20とから構成される。この実
施例において、発磁体10は、一方向に着磁に施
こされた永久磁石から成り、その磁化方向が磁気
ヘツド20との相対移動方向に一致した状態で、
上記磁化方向をX軸とするX−Y平面上に配置さ
れている。また、磁気ヘツド20は、X軸とY軸
とに直交する方向をZ軸とするX−Z平面上に配
置された枠体平形状の第1の可飽和コア21と、
該可飽和コア21に対して平行に配置された枠体
平形状の第2の可飽和コア22とを備え、位置検
出用の一対の検出コイル23が上記第1の可飽和
コア21の相対向するZ軸方向の各磁脚21aに
巻装され、またゲート検出用の一対の検出コイル
24が上記第2の可飽和コア22の相対向するX
軸方向の各磁脚部22aに巻装れた構造を有して
いる。
す実施例のように、相対移動自在に設けた発磁体
10と磁気ヘツド20とから構成される。この実
施例において、発磁体10は、一方向に着磁に施
こされた永久磁石から成り、その磁化方向が磁気
ヘツド20との相対移動方向に一致した状態で、
上記磁化方向をX軸とするX−Y平面上に配置さ
れている。また、磁気ヘツド20は、X軸とY軸
とに直交する方向をZ軸とするX−Z平面上に配
置された枠体平形状の第1の可飽和コア21と、
該可飽和コア21に対して平行に配置された枠体
平形状の第2の可飽和コア22とを備え、位置検
出用の一対の検出コイル23が上記第1の可飽和
コア21の相対向するZ軸方向の各磁脚21aに
巻装され、またゲート検出用の一対の検出コイル
24が上記第2の可飽和コア22の相対向するX
軸方向の各磁脚部22aに巻装れた構造を有して
いる。
上記発磁体10は、第5図中に模式的に示して
あるように、X軸方向成分HxとZ軸成分Hzから
成る磁束を発生し、上記磁気ヘツド20に対して
X軸方向に相対移動するようになつている。上記
発磁体10が発生する磁束は、該発磁体10の中
央部ではX軸方向成分Hxが最大でZ軸方向成分
Hzが最小になつており、上記中央部分からずれ
るに従つて上記X軸方向成分Hxは減少しZ軸方
向成分Hzは増加して、X軸方向のエツジ部分近
傍においてX軸方向成分Hxが最小でZ軸方向成
分Hzが最大になつている。
あるように、X軸方向成分HxとZ軸成分Hzから
成る磁束を発生し、上記磁気ヘツド20に対して
X軸方向に相対移動するようになつている。上記
発磁体10が発生する磁束は、該発磁体10の中
央部ではX軸方向成分Hxが最大でZ軸方向成分
Hzが最小になつており、上記中央部分からずれ
るに従つて上記X軸方向成分Hxは減少しZ軸方
向成分Hzは増加して、X軸方向のエツジ部分近
傍においてX軸方向成分Hxが最小でZ軸方向成
分Hzが最大になつている。
上記第1の可飽和コア21のZ軸方向の磁脚部
21aには、上記発磁体10と上記磁気ヘツド2
0と相対位置(A,B……E)に応じて、上記発
磁体10からの磁束が第6図に模式的に示すよう
に流れる。そして、上記磁脚部21aに巻装され
ている上記位置検出用の検出コイル23は、上記
磁束の大きさに応じてインダクタンスが変化し、
第5図中に模式的に示した上記発磁体10が発生
する磁束のZ軸方向成分Hzの磁位差を検出する。
また、上記第2の可飽和コア22のX軸方向の磁
脚部22aには、上記発磁体10と上記磁気ヘツ
ド20との相対位置(A,B……E)に応じて、
上記発磁体10からの磁束が第7図に模式的に示
すように流れる。そして、上記磁脚部22aに巻
装されている上記ゲート検出用の検出コイル24
は、上記磁束の大きさに応じてインダクタンスが
変化し、第5図中に模式的に示す上記発磁体10
が発生する磁束のX軸方向成分Hzの磁位差を検
出する。
21aには、上記発磁体10と上記磁気ヘツド2
0と相対位置(A,B……E)に応じて、上記発
磁体10からの磁束が第6図に模式的に示すよう
に流れる。そして、上記磁脚部21aに巻装され
ている上記位置検出用の検出コイル23は、上記
磁束の大きさに応じてインダクタンスが変化し、
第5図中に模式的に示した上記発磁体10が発生
する磁束のZ軸方向成分Hzの磁位差を検出する。
また、上記第2の可飽和コア22のX軸方向の磁
脚部22aには、上記発磁体10と上記磁気ヘツ
ド20との相対位置(A,B……E)に応じて、
上記発磁体10からの磁束が第7図に模式的に示
すように流れる。そして、上記磁脚部22aに巻
装されている上記ゲート検出用の検出コイル24
は、上記磁束の大きさに応じてインダクタンスが
変化し、第5図中に模式的に示す上記発磁体10
が発生する磁束のX軸方向成分Hzの磁位差を検
出する。
このような構造の磁気ヘツド20と発磁体10
とを相対移動自在に設けて成る磁気センサの実施
例では、発磁体10の横巾TすなわちY軸方向の
長さ(トラツク巾)が、磁気ヘツド20の各可飽
和コア21,22の厚みtと各検出コイル23,
24の巻径φによつて定まるので、極めて小さく
できる。しかも、各可飽和コア21,22を平行
に設けてあるので、磁気ヘツド20の図示しない
ケース内に収納設置するのにも簡単な構造で良
く、磁気ヘツド20の製造が極めて容易である。
さらに、上記磁気ヘツド20は、ケース内に各可
飽和コア21,22を収納して一体的な構造とし
た場合でも各可飽和コア21,22を平行に配置
したことにより、発磁体10の検出面11Aに対
する間隔(所謂クリアランスC)を十分に小さく
することができるので、各検出コイル23,24
による検出感度が低下することもない。
とを相対移動自在に設けて成る磁気センサの実施
例では、発磁体10の横巾TすなわちY軸方向の
長さ(トラツク巾)が、磁気ヘツド20の各可飽
和コア21,22の厚みtと各検出コイル23,
24の巻径φによつて定まるので、極めて小さく
できる。しかも、各可飽和コア21,22を平行
に設けてあるので、磁気ヘツド20の図示しない
ケース内に収納設置するのにも簡単な構造で良
く、磁気ヘツド20の製造が極めて容易である。
さらに、上記磁気ヘツド20は、ケース内に各可
飽和コア21,22を収納して一体的な構造とし
た場合でも各可飽和コア21,22を平行に配置
したことにより、発磁体10の検出面11Aに対
する間隔(所謂クリアランスC)を十分に小さく
することができるので、各検出コイル23,24
による検出感度が低下することもない。
ここで、上述の如き実施例について、第8図に
示すような半径がR=40mmの回転軸30の外周面
に上記発磁体10をその磁化方向(X軸方向)と
該回転軸30の回転方向とを一致させた状態に取
り付け、上記発磁体10の表面に垂直は方向をZ
軸としたX−Z平面上に上記磁気ヘツド20を構
成している各可飽和コア21,22を配置し、上
記発磁体10と上記磁気ヘツド20との間のクリ
アランスC(C=1mm〜10mm)として各検出コイ
ル23,24からの検出信号を実測した結果、上
位発磁体10ア発生する磁束のZ軸方向成分Hz
の磁位差を検出する検出コイル23からは第9図
中に実線にて示すような位置検出信号が得られ、
また、上記が発生する磁束のX軸方向成分Hxの
磁位差を検出する検出コイル24からは第9図中
に破線にて示すようなゲート検出信号が得られ
た。なお、上記第9図の各角度位置(A,B……
E)は、上述の第6図および第7図に示した発磁
体10と磁気ヘツド20との各相対位置(A,B
……E)に対応している。また、第1の可飽和コ
ア21に巻装した位置検出用の検出コイル23か
らは、R=60mmとした場合に第10図に示すよう
な特性が得られた。なお、上述の第1図に示した
構造の従来の位置検出用の磁気センサでは、R=
60mmとした場合に第11図に示すような特性であ
つた。
示すような半径がR=40mmの回転軸30の外周面
に上記発磁体10をその磁化方向(X軸方向)と
該回転軸30の回転方向とを一致させた状態に取
り付け、上記発磁体10の表面に垂直は方向をZ
軸としたX−Z平面上に上記磁気ヘツド20を構
成している各可飽和コア21,22を配置し、上
記発磁体10と上記磁気ヘツド20との間のクリ
アランスC(C=1mm〜10mm)として各検出コイ
ル23,24からの検出信号を実測した結果、上
位発磁体10ア発生する磁束のZ軸方向成分Hz
の磁位差を検出する検出コイル23からは第9図
中に実線にて示すような位置検出信号が得られ、
また、上記が発生する磁束のX軸方向成分Hxの
磁位差を検出する検出コイル24からは第9図中
に破線にて示すようなゲート検出信号が得られ
た。なお、上記第9図の各角度位置(A,B……
E)は、上述の第6図および第7図に示した発磁
体10と磁気ヘツド20との各相対位置(A,B
……E)に対応している。また、第1の可飽和コ
ア21に巻装した位置検出用の検出コイル23か
らは、R=60mmとした場合に第10図に示すよう
な特性が得られた。なお、上述の第1図に示した
構造の従来の位置検出用の磁気センサでは、R=
60mmとした場合に第11図に示すような特性であ
つた。
また、本発明に係る磁気センサでは、信号検出
用の可飽和コア21を上述の如くX−Z平面に配
置することによりトラツク巾Tを極めて小さくで
きるので第12図に示すように、ゲート検出用の
検出コイル24A,24Bを巻装した2枚の可飽
和コア22A,22Bで上記位置検出用の可飽和
コア21を挟むようなサンドイツチ構造にしても
良い。なお、この第12図に示した実施例では、
励磁用の磁界が互いに逆向きに作用するように各
ゲート用の検出コイル24A,24Bに電流を流
す。このような構造にすれば、各ゲート用の検出
コイル24A,24Bをともに発磁体10に対し
て等距離に位置させた状態で接近させてゲート検
出感度を向上することができる。
用の可飽和コア21を上述の如くX−Z平面に配
置することによりトラツク巾Tを極めて小さくで
きるので第12図に示すように、ゲート検出用の
検出コイル24A,24Bを巻装した2枚の可飽
和コア22A,22Bで上記位置検出用の可飽和
コア21を挟むようなサンドイツチ構造にしても
良い。なお、この第12図に示した実施例では、
励磁用の磁界が互いに逆向きに作用するように各
ゲート用の検出コイル24A,24Bに電流を流
す。このような構造にすれば、各ゲート用の検出
コイル24A,24Bをともに発磁体10に対し
て等距離に位置させた状態で接近させてゲート検
出感度を向上することができる。
上述の実施例の説明から明らかなように、本発
明によれば、一方向の着磁が施こされ且つその磁
化方向をX軸としたX−Y平面上に配置された発
磁体と、X軸とY軸とに直交する方向をZ軸とし
たX−Z平面上に配置した枠体平形状の可飽和コ
アの相対向するX軸方向の各磁脚部に一対の区間
検出用の検出コイルを巻装して成る磁気ヘツドと
を備え、上記発磁体と磁気ヘツドとをX軸方向に
相対移動自在に設けたことを特徴とするので、Y
軸方向の巾すなわちトラツク巾を極めて小さくし
た状態で所望の区間信号の得られる磁気センサを
提供することできる。また、本発明によれば、位
置検出用の検出コイルを巻装した可飽和コアとゲ
ート検出用の検出コイルを巻装した可飽和コアと
を並設して共用の発磁体から検出信号を得る場合
でもトラツク巾に薄型の磁気センサを実現するこ
とが可能になる。
明によれば、一方向の着磁が施こされ且つその磁
化方向をX軸としたX−Y平面上に配置された発
磁体と、X軸とY軸とに直交する方向をZ軸とし
たX−Z平面上に配置した枠体平形状の可飽和コ
アの相対向するX軸方向の各磁脚部に一対の区間
検出用の検出コイルを巻装して成る磁気ヘツドと
を備え、上記発磁体と磁気ヘツドとをX軸方向に
相対移動自在に設けたことを特徴とするので、Y
軸方向の巾すなわちトラツク巾を極めて小さくし
た状態で所望の区間信号の得られる磁気センサを
提供することできる。また、本発明によれば、位
置検出用の検出コイルを巻装した可飽和コアとゲ
ート検出用の検出コイルを巻装した可飽和コアと
を並設して共用の発磁体から検出信号を得る場合
でもトラツク巾に薄型の磁気センサを実現するこ
とが可能になる。
第1図ないし第4図は磁気センサの従来例を示
すもので、第1図は位置検出用の磁気センサの構
造を示す斜視図であり、第2図はこの磁気センサ
の出力特性を示す特性線図である。また第3図は
ゲート検出用の磁気センサの構造を示す斜視図で
あり、第4図はこの磁気センサの出力特性を示す
特性線図である。第5図は本発明に係る磁気セン
サの一実施例を示す要部斜視図である。第6図は
上記実施例において発磁体から磁気ヘツドの第1
の可飽和コアに流れる磁束の状態を示す模式図で
あり、第7図は同じく第2の可飽和コアに流れる
磁束の状態を示す模式図である。第8図は上記実
施例により回転検出を行なつてその動作特性を実
測するために用いられた機構を示す模式的な外観
斜視図である。第9図は上記実施例で回転検出を
行つて得られた位置検出信号およびゲート検出信
号の出力特性の実測結果を示す特性線図である。
第10図は上記第6図に示した機構における回転
軸の半径Rを60mmとした場合に上記実施例によつ
て得られた位置検出信号の出力特性の実測結果を
示す特性線図である。第11図は上記第1図に示
した従来の磁気センサによる位置検出信号の出力
特性の実測結果を示す特性線図である。第12図
は本発明に係る磁気センサの他の実施例を示す要
部斜視図である。 10……発磁体、20……磁気ヘツド、21,
22,22A,22B……可飽和コア、21a,
22a……磁脚部、23……位置検出用の検出コ
イル、24,24A,24B……ゲート検出用の
検出コイル。
すもので、第1図は位置検出用の磁気センサの構
造を示す斜視図であり、第2図はこの磁気センサ
の出力特性を示す特性線図である。また第3図は
ゲート検出用の磁気センサの構造を示す斜視図で
あり、第4図はこの磁気センサの出力特性を示す
特性線図である。第5図は本発明に係る磁気セン
サの一実施例を示す要部斜視図である。第6図は
上記実施例において発磁体から磁気ヘツドの第1
の可飽和コアに流れる磁束の状態を示す模式図で
あり、第7図は同じく第2の可飽和コアに流れる
磁束の状態を示す模式図である。第8図は上記実
施例により回転検出を行なつてその動作特性を実
測するために用いられた機構を示す模式的な外観
斜視図である。第9図は上記実施例で回転検出を
行つて得られた位置検出信号およびゲート検出信
号の出力特性の実測結果を示す特性線図である。
第10図は上記第6図に示した機構における回転
軸の半径Rを60mmとした場合に上記実施例によつ
て得られた位置検出信号の出力特性の実測結果を
示す特性線図である。第11図は上記第1図に示
した従来の磁気センサによる位置検出信号の出力
特性の実測結果を示す特性線図である。第12図
は本発明に係る磁気センサの他の実施例を示す要
部斜視図である。 10……発磁体、20……磁気ヘツド、21,
22,22A,22B……可飽和コア、21a,
22a……磁脚部、23……位置検出用の検出コ
イル、24,24A,24B……ゲート検出用の
検出コイル。
Claims (1)
- 1 一方向の着磁が施こされ且つその磁化方向を
X軸としたX−Y平面上に配置された発磁体と、
X軸とY軸とに直交する方向をZ軸としたX−Z
平面上に配置した枠体平板状の可飽和コアの相対
向するX軸方向の各磁脚部に一対の区間検出用の
検出コイルを巻装して成る磁気ヘツドを備え、上
記発磁体と磁気ヘツドとをX軸方向に相対移動自
在に設けて成る磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6538181A JPS57179709A (en) | 1981-04-30 | 1981-04-30 | Magnetic sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6538181A JPS57179709A (en) | 1981-04-30 | 1981-04-30 | Magnetic sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57179709A JPS57179709A (en) | 1982-11-05 |
| JPH048728B2 true JPH048728B2 (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=13285338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6538181A Granted JPS57179709A (en) | 1981-04-30 | 1981-04-30 | Magnetic sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57179709A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998033041A1 (en) * | 1997-01-28 | 1998-07-30 | Sony Precision Technology Inc. | Magnetic displacement detector and carburetor opening detector |
| JP5630660B2 (ja) * | 2011-07-22 | 2014-11-26 | 村田機械株式会社 | 磁気式変位センサと変位検出方法 |
| WO2021140724A1 (ja) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | 株式会社村田製作所 | 位置検出装置 |
-
1981
- 1981-04-30 JP JP6538181A patent/JPS57179709A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57179709A (en) | 1982-11-05 |
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