JPH0487754U - - Google Patents

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JPH0487754U
JPH0487754U JP12641890U JP12641890U JPH0487754U JP H0487754 U JPH0487754 U JP H0487754U JP 12641890 U JP12641890 U JP 12641890U JP 12641890 U JP12641890 U JP 12641890U JP H0487754 U JPH0487754 U JP H0487754U
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cleaning liquid
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cleaning
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の側面断面図、第２
図および第３図は本実施例の正面図および斜視図
、第４図及び第５図は従来例の側面断面図である
。 １……基板、２……液槽、３……洗浄液、４…
…搬送ローラ、５……ジエツトノズルユニツト、
６……高圧水、７……ジエツトノズル、８……キ
ヤビテーシヨン、９……軸受け部、１０……ロツ
ド、１１……駆動装置、１２……洗浄液槽ユニツ
ト、１３……洗浄部、１４，１５……ノズルユニ
ツト支持部、１６……エアノズルユニツト、１７
……ジエツトノズルユニツト、１８……ジエツト
ノズル、１９……空気、２０……エアノズル、２
１…連結部、２２……支持台、２３……樹脂ロー
ラ、２４……レール台、２５……ロツド、２６…
…駆動装置、２７……クランプ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 洗浄液槽内を搬送する基板に高圧水を噴射して
    基板を洗浄する基板洗浄装置において、 前記洗浄液槽の前後に配設される基板の搬送手
    段と、 前記洗浄液槽内に設置される高圧水ノズルと、 前記洗浄液槽を搬送手段の搬送方向と直交する
    方向に往復動させるように洗浄液槽に取付けられ
    た駆動手段と、 を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
JP12641890U 1990-11-30 1990-11-30 基板洗浄装置 Expired - Lifetime JPH081013Y2 (ja)

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JP12641890U JPH081013Y2 (ja) 1990-11-30 1990-11-30 基板洗浄装置

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JPH0487754U true JPH0487754U (ja) 1992-07-30
JPH081013Y2 JPH081013Y2 (ja) 1996-01-17

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012114228A (ja) * 2010-11-24 2012-06-14 Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 ウェーハの洗浄方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012114228A (ja) * 2010-11-24 2012-06-14 Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 ウェーハの洗浄方法

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JPH081013Y2 (ja) 1996-01-17

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